Summary

Herstellung von van der Waals Heterostrukturen mit präziser Rotationsausrichtung

Published: July 05, 2019
doi:

Summary

In dieser Arbeit beschreiben wir eine Technik, die verwendet wird, um neue Kristalle (van der Waals Heterostrukturen) zu erzeugen, indem ultradünne 2D-Materialien mit präziser Kontrolle über Position und relative Ausrichtung gestapelt werden.

Abstract

In dieser Arbeit beschreiben wir eine Technik zur Herstellung neuer Kristalle (van der Waals heterostructures) durch Stapeln von deutlichen ultradünnen 2D-Materialien. Wir demonstrieren nicht nur die seitliche Kontrolle, sondern vor allem auch die Kontrolle über die Winkelausrichtung benachbarter Schichten. Der Kern der Technik wird durch ein selbst gebautes Transfer-Setup dargestellt, das es dem Benutzer ermöglicht, die Position der einzelnen Kristalle, die an der Übertragung beteiligt sind, zu steuern. Dies wird mit Submikrometer-Präzision (translational) und Sub-Grad (Winkel) erreicht. Vor dem Stapeln werden die isolierten Kristalle individuell durch kundenspezifische Bewegungsstufen manipuliert, die über eine programmierte Softwareschnittstelle gesteuert werden. Da die gesamte Übertragungseinrichtung computergesteuert ist, kann der Anwender zudem aus der Ferne präzise Heterostrukturen erstellen, ohne direkt mit dem Transfer-Setup in Berührung zu kommen, und diese Technik als “freihändig” kennzeichnen. Neben der Präsentation des Transfer-Setups beschreiben wir auch zwei Techniken zur Vorbereitung der Kristalle, die anschließend gestapelt werden.

Introduction

Die Forschung auf dem aufkeimenden Gebiet zweidimensionaler (2D) Materialien begann, nachdem Die Forscher eine Technik entwickelt, die die Isolierung von Graphen1,2,3 (ein atomar flaches Blatt kohlenstoffatomischer) aus grafit. Graphen ist ein Mitglied einer größeren Klasse von geschichteten 2D-Materialien, auch als van der Waals-Materialien oder -Kristallen bezeichnet. Sie haben eine starke kovalente Intralayer-Bindung und eine schwache van der Waals-Interlayer-Kupplung. Daher kann die Technik zur Isolierung von Graphen aus Graphit auch auf andere 2D-Materialien angewendet werden, bei denen man die schwachen Zwischenschichtbindungen brechen und einzelne Schichten isolieren kann. Eine wichtige Entwicklung auf diesem Gebiet war die Demonstration, dass, so wie die van der Waals-Bindungen, die benachbarte Schichten zweidimensionaler Materialien zusammenhalten, zusammengebrochen werden können, sie auch wieder zusammengefügte werden können2,4. Daher können Kristalle aus 2D-Materialien durch das kontrollierte Stapeln von Schichten aus 2D-Materialien mit unterschiedlichen Eigenschaften erzeugt werden. Dies weckte großes Interesse, da Materialien, die zuvor in der Natur nicht vorhanden waren, mit dem Ziel geschaffen werden können, entweder ehemals unzugängliche physikalische Phänomene4,5,6,7 aufzudecken. ,8,9 oder die Entwicklung überlegener Geräte für Technologieanwendungen. Daher ist die präzise Kontrolle über das Stapeln von 2D-Materialien zu einem der Hauptziele im Forschungsbereich10,11,12geworden.

Insbesondere der Drehwinkel zwischen benachbarten Schichten in van der Waals Heterostrukturen erwies sich als wichtiger Parameter zur Steuerung der Materialeigenschaften13. Beispielsweise kann z. B. in einigen Winkeln die Einführung einer relativen Verdrehung zwischen benachbarten Schichten die beiden Schichten effektiv elektronisch entkoppeln. Dies wurde sowohl in Graphen14,15 sowie im Übergang Metall dichalcogenides16,17,18,19untersucht. In jüngerer Zeit wurde überraschend erweise wieder festgestellt, dass es auch den Zustand dieser Materialien verändern kann. Die Entdeckung, dass sich bilayer Graphen, das an einem “magischen Winkel” orientiert ist, bei niedrigen Temperaturen wie ein Mott-Isolator und sogar als Supraleiter verhält, wenn die Elektronendichte richtig abgestimmt ist, hat großes Interesse geweckt und die Bedeutung der Winkelkontrolle erkannt. bei der Herstellung von geschichteten van der Waals heterostructures13,20,21.

Motiviert durch die wissenschaftlichen Möglichkeiten, die sich durch die Idee eröffnet enden, die Eigenschaften neuartiger van der Waals-Materialien durch Anpassung der relativen Ausrichtung zwischen den Schichten zu optimieren, präsentieren wir ein selbstgebautes Instrument zusammen mit dem Verfahren, solche Strukturen zu schaffen. mit Winkelsteuerung.

Protocol

1. Instrumentierung für das Übertragungsverfahren Um den Übertragungsprozess zu visualisieren, verwenden Sie ein optisches Mikroskop, das unter Hellfeldbeleuchtung arbeiten kann. Da die typischen Größen der 2D-Kristalle 1–500 m2betragen, statten Sie das Mikroskop mit 5x, 50x und 100x langen Arbeitswegobjektiven aus. Das Mikroskop muss auch mit einer Kamera ausgestattet sein, die mit einem Computer verbunden ist (Abbildung 1a). Verwenden Sie separate Mani…

Representative Results

Zur Veranschaulichung der Ergebnisse und der Wirksamkeit unseres Verfahrens stellen wir eine Abfolge von winkelgesteuerten Stapeln von Rheniumdisulfid (ReS2) dünnen Kristallen vor. Um zu betonen, dass die beschriebene Methode auch auf atomar dünne Schichten angewendet werden kann, veranschaulichen wir auch die Konstruktion von zwei relativ verdrehten Monolayern aus Molybdändisulfid (MoS2). Um die Winkela…

Discussion

Die hier vorgestellte selbstgebaute Transfereinrichtung bietet eine Methode zum Bau neuartiger geschichteter Materialien mit seitlicher und rotierender Steuerung. Im Vergleich zu anderen Lösungen, die in der Literatur10,25beschrieben werden, benötigt unser System keine komplexe Infrastruktur, erreicht aber das Ziel der kontrollierten Ausrichtung von 2D-Kristallen.

Der wichtigste Schritt in der Prozedur ist das Ausrichten und Platzier…

Disclosures

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Die Autoren würdigen die Förderung durch die University of Ottawa und NSERC Discovery Grant RGPIN-2016-06717 und NSERC SPG QC2DM.

Materials

5X objective lens Nikon Metrology MUE12050 23.5 mm working distance and 0.15 numerical aperture
50X objective lens Nikon Metrology MUE21500 19 mm working distance and 0.4 numerical aperture
100X objective lens Nikon Metrology MUE21900 4.5 mm working distance and 0.8 numerical aperture
Acetone Sigma-Aldrich 270725 Purity ≥99.90%
Adhesive tape Ultron Systems, Inc.
Anisole MicroChem
Atomic force microscope Bruker Dimension Icon We typicall use the ScanAsyst mode
Bottom stage rotation manipulator Zaber Technologies X-RSW60A-PTB2 360° travel with step size of 4.091 μrad
Bottom stage X manipulator Zaber Technologies X-LSM025A-PTB2 25 mm travel with step size of 47.625 nm
Bottom stage Y manipulator Zaber Technologies X-LSM025A-PTB2 25 mm travel with step size of 47.625 nm
Bottom stage Z manipulator Zaber Technologies X-VSR40A-KX14A 40 mm travel with step size of 95.25 nm
Isopropanol Sigma-Aldrich 563935 Purity 99.999%
LabVIEW software National Instruments
Macor McMaster-Carr 8489K238
Microscope camera Zeiss 426555-0000-000 5 megapixel, 47 fps live frame rate, exposure time of 100 μs – 2 s, color camera
Molybdenum disulfide (MoS2) HQ Graphene
Optical breadboard Thorlabs, Inc. MB4545/M
Optical microscope Nikon Metrology LV150N
Oxygen plasma etcher Plasma Etch, Inc. PE-50
PDMS stamp Gel-Pak PF-20-X4
PMMA 950 A6 MichroChem Corp. M230006 0500L1GL
Polypropylene carbonate Sigma-Aldrich 389021-100g
PVA Partall #10 Composites Canada
Rhenium disulfide (ReS2) HQ Graphene
Si/SiO2 substrate Nova Electronics Materials HS39626-OX
Spin coater Laurell Technologies WS-650-23
Temperature controller Auber Instruments SYL-23X2-24 Controls the temperature of the bottom stage via a J type thermocouple
Top stage controller unit Mechonics CF.030.0003
Top stage X manipulator Mechonics MS.030.1800 18 mm travel with step size of 11 nm
Top stage Y manipulator Mechonics MS.030.1800 18 mm travel with step size of 11 nm
Top stage Z manipulator Mechonics MS.030.3000 30 mm travel with step size of 11 nm
Ultrasonic bath Elma Schmidbauer GmbH Elmasonic P 30 H

References

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Cite This Article
Boddison-Chouinard, J., Plumadore, R., Luican-Mayer, A. Fabricating van der Waals Heterostructures with Precise Rotational Alignment. J. Vis. Exp. (149), e59727, doi:10.3791/59727 (2019).

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