Summary

Skalierbare, lösungsverarbeitete Fertigungsstrategie für leistungsstarke, flexible, transparente Elektroden mit eingebettetem Metallgewebe

Published: June 23, 2017
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Summary

Dieses Protokoll beschreibt eine lösungsbasierte Fertigungsstrategie für hochleistungsfähige, flexible, transparente Elektroden mit voll eingebettetem, dickem Metallgewebe. Flexible transparente Elektroden, die durch dieses Verfahren hergestellt werden, zeigen unter den höchsten berichteten Leistungen, einschließlich des ultra-niedrigen Schichtwiderstandes, der hohen optischen Durchlässigkeit, der mechanischen Stabilität unter Biegung, der starken Substrathaftung, der Oberflächenglätte und der Umgebungsstabilität.

Abstract

Hier berichten die Autoren über die eingebettete Metall-Mesh-transparente Elektrode (EMTE), eine neue transparente Elektrode (TE) mit einem Metallgitter, das vollständig in einen Polymerfilm eingebettet ist. Dieses Papier stellt auch eine kostengünstige, vakuumfreie Herstellungsmethode für dieses neuartige TE dar; Der Ansatz kombiniert Lithographie, Galvanik und Aufdruck Transfer (LEIT) Verarbeitung. Die eingebettete Natur der EMTEs bietet viele Vorteile, wie hohe Oberflächenglätte, die für die Produktion von organischen elektronischen Geräten unerlässlich ist. Überlegene mechanische Stabilität beim Biegen; Günstige Beständigkeit gegen Chemikalien und Feuchtigkeit; Und starke Haftung mit Kunststofffolie. Die LEIT-Fertigung verfügt über einen Galvanisierungsprozess für die vakuumfreie Metallabscheidung und ist für die industrielle Massenproduktion günstig. Darüber hinaus ermöglicht LEIT die Herstellung von Metallgeweben mit einem hohen Aspektverhältnis ( dh Dicke zur Linienbreite), was seine elektrische Leitfähigkeit deutlich erhöht, ohne das optische tr zu verlierenAussendung Wir zeigen mehrere Prototypen von flexiblen EMTEs mit Blechwiderständen unter 1 Ω / qm und Durchlässigkeiten von mehr als 90%, was zu sehr hohen Leistungsgütern (FoM) – bis zu 1,5 x 10 4 – führt, die zu den besten Werten der Veröffentlichte Literatur.

Introduction

Weltweit werden Studien durchgeführt, um nach Ersatz für starre transparente leitfähige Oxide (TCOs) wie z. B. Indium-Zinn-Oxid und fluor-dotierte Zinnoxid (FTO) -Folien zu suchen, um flexible / dehnbare TEs zu fertigen, die in zukünftigen flexiblen / Dehnbare optoelektronische Geräte 1 . Dies erfordert neuartige Materialien mit neuen Herstellungsverfahren.

Nanomaterialien wie Graphen 2 , leitende Polymere 3 , 4 , Kohlenstoff-Nanoröhrchen 5 und zufällige Metall-Nanodraht-Netzwerke 6 , 7 , 8 , 9 , 10 , 11 wurden untersucht und ihre Fähigkeiten in flexiblen TEs unter Beweis gestellt Bestehende TCO-basierte TEs, Einschließlich der Filmfragilität 12 , der niedrigen Infrarotdurchlässigkeit 13 und der niedrigen Häufigkeit 14 . Auch bei diesem Potenzial ist es immer noch schwierig, eine hohe elektrische und optische Leitfähigkeit ohne Verschlechterung bei kontinuierlicher Biegung zu erreichen.

In diesem Rahmen entwickeln sich die üblichen Metallmaschen 15 , 16 , 17 , 18 , 19 , 20 als vielversprechender Kandidat und haben eine bemerkenswert hohe optische Transparenz und einen geringen Schichtwiderstand erreicht, die auf Anforderung abstimmbar sind. Allerdings wurde der umfangreiche Einsatz von Metallgewebe-TEs aufgrund zahlreicher Herausforderungen behindert. Zunächst beinhaltet die Herstellung oft die teure, vakuumbasierte Abscheidung von Metallen 16 , 17 , </sup> 18 , 21 . Zweitens kann die Dicke leicht einen elektrischen Kurzschluß 22 , 23 , 24 , 25 in Dünnfilm-organischen optoelektronischen Vorrichtungen verursachen. Drittens führt die schwache Adhäsion mit der Substratoberfläche zu einer schlechten Flexibilität 26 , 27 . Die oben erwähnten Einschränkungen haben eine Nachfrage nach neuartigen metallgewebten TE-Strukturen und skalierbaren Ansätzen für ihre Herstellung geschaffen.

In dieser Studie berichten wir über eine neuartige Struktur aus flexiblen TEs, die ein Metallgeflecht enthält, das vollständig in einen Polymerfilm eingebettet ist. Wir beschreiben auch einen innovativen, lösungsorientierten und kostengünstigen Herstellungsansatz, der Lithographie, Elektroabscheidung und Abdruckübertragung kombiniert. FoM-Werte bis zu 15k wurden bei Beispiel-EMTEs erreicht. Aufgrund der eingebetteten Natur vonEMTEs, bemerkenswerte chemische, mechanische und Umweltstabilität wurden beobachtet. Darüber hinaus kann die in dieser Arbeit verwendete lösungsverarbeitete Fertigungstechnik potentiell für die kostengünstige und hochdurchsatzbezogene Produktion der vorgeschlagenen EMTEs eingesetzt werden. Diese Fertigungstechnik ist skalierbar auf feinere Metallgitter-Linienbreiten, größere Flächen und eine Reihe von Metallen.

Protocol

ACHTUNG: Bitte beachten Sie die Elektronenstrahlsicherheit. Bitte tragen Sie die richtige Schutzbrille und Kleidung. Auch alle brennbaren Lösemittel und Lösungen sorgfältig behandeln. 1. Photolithographie-basierte Fertigung der EMTE Photolithographie zur Herstellung des Netzmusters Saubere FTO-Glas-Untergründe (3 cm x 3 cm) mit flüssigem Reinigungsmittel mit Wattestäbchen. Spülen Sie sie gründlich mit deionisiertem (DI) Wasser mit einem sauberen W…

Representative Results

Abbildung 1 zeigt das schematische und Fertigungs-Flussdiagramm der EMTE-Proben. Wie in Abbildung 1a dargestellt , besteht das EMTE aus einem Metallgitter, das vollständig in einen Polymerfilm eingebettet ist. Die obere Fläche des Netzes befindet sich auf dem gleichen Niveau wie das Substrat und zeigt eine allgemein glatte Plattform für die nachfolgende Geräteherstellung. Die Fertigungstechnik ist in Abb…

Discussion

Unser Herstellungsverfahren kann weiter modifiziert werden, um die Skalierbarkeit der Merkmalsgrößen und -bereiche der Probe und für die Verwendung verschiedener Materialien zu ermöglichen. Die erfolgreiche Fertigung von Kupfer-EMTEs mit Sub-Mikrometer-Linienbreiten ( Abb. 3a-3c ) mit EBL beweist, dass die EMTE-Struktur und die wichtigsten Schritte in der LEIT-Fertigung, einschließlich Galvanisierungs- und Aufdrucktransfer, zuverlässig auf einen Submikrometerbereich abgestuft werd…

Disclosures

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Diese Arbeit wurde teilweise vom General Research Fund des Forschungsstipendienrats der Sonderverwaltungsregion Hongkong (Auszeichnung Nr. 17246116), dem Young-Scholar-Programm der Nationalen Naturwissenschaftlichen Stiftung von China (61306123), dem Grundlagenforschungsprogramm, unterstützt, General-Programm von der Wissenschaft und Technologie Innovation Kommission der Stadt Shenzhen (JCYJ20140903112959959), und die wichtigsten Forschungs- und Entwicklungsprogramm von der Zhejiang Provincial Department of Science and Technology (2017C01058). Die Autoren danken Y.-T. Huang und SP Feng für ihre Hilfe bei den optischen Messungen.

Materials

Acetone Sigma-Aldrich W332615 Highly flammable
Isopropanol Sigma-Aldrich 190764 Highly flammable
FTO Glass Substrates South China Xiang S&T, China
Photoresist  Clariant, Switzerland 54611L11 AZ 1500 Positive tone resist (20cP)
UV Mask Aligner  Chinese Academy of Sciences, China URE-2000/35
Photoresist Developer  Clariant, Switzerland 184411 AZ 300 MIF Developer
Cu, Ag, Au, Ni, and Zn Electroplating solutions Caswell, USA Ready to use solutions (PLUG N' PLATE)
Keithley 2400 SourceMeter Keithley, USA 41J2103
COC Plastic Films TOPAS, Germany F13-19-1 Grade 8007 (Glass transition temperature: 78 °C)
Hydraulic Press  Specac Ltd., UK GS15011 With low tonnage kit ( 0-1 ton guage)
Temperature Controller  Specac Ltd., UK GS15515 Water cooled heated platens and controller
Chiller  Grant Instruments, UK T100-ST5
Polymethyl Methacrylate (PMMA) Sigma-Aldrich 200336
Anisole Sigma-Aldrich 96109 Highly flammable
EBL Setup Philips, Netherlands FEI XL30 Scanning electron microscope equipped with a JC Nabity pattern generator  
Isopropyl Ketone  Sigma-Aldrich 108-10-1
Silver Paste Ted Pella, Inc, USA 16031
UV–Vis Spectrometer  Perkin Elmer, USA L950

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Khan, A., Lee, S., Jang, T., Xiong, Z., Zhang, C., Tang, J., Guo, L. J., Li, W. Scalable Solution-processed Fabrication Strategy for High-performance, Flexible, Transparent Electrodes with Embedded Metal Mesh. J. Vis. Exp. (124), e56019, doi:10.3791/56019 (2017).

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