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전자 채널링 강화 마이크로 분석에 의한 결정재료의 기능적 도팬츠/점 결함의 정량적 원자사이트 분석

JoVE Journal
Química

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JoVE Journal Química

Quantitative Atomic-Site Analysis of Functional Dopants/Point Defects in Crystalline Materials by Electron-Channeling-Enhanced Microanalysis

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전자 채널링 강화 마이크로 분석에 의한 결정재료의 기능적 도팬츠/점 결함의 정량적 원자사이트 분석

DOI:

10.3791/62015-v

•

07:24 min

•

May 10, 2021

•

Masahiro Ohtsuka, Shunsuke Muto

¹Electron Nanoscopy Division, Advanced Measurement Technology Center, Institute of Materials & Systems for Sustainability,Nagoya University

Capítulos

00:04Introduction
00:59Transmission Electron Microscopy (TEM) Alignment for Beam-Rocking
02:36Incident Beam Collimation and Pivot Point Setup
03:47Electron-Channeling Pattern (ECP) Acquisition
04:30Energy-Dispersive X-Ray Analysis
05:10Results: Representative ECP and ICP Emission Imaging
06:46Conclusion

Summary

Tadução automática

소수 종, 광원, 산소 공실 및 기타 포인트/라인/평면도 결함으로부터 정보를 안정적으로 추출하는 사고 전자 빔 흔들림 조건하에서 전자 채널링 현상을 활용하여 불순물 및 화학 상태의 사이트 점유율을 추정하기 위한 정량적 미세 분석 방법의 일반적인 개요를 제공합니다.

Tags

Keywords: Quantitative Analysis Atomic-site Functional Dopants Point Defects Crystalline Materials Electron-channeling-enhanced Microanalysis Energy-dispersive X-ray Spectroscopy Electron Energy-loss Spectroscopy Lattice Defects Vacancies Interstitials Grain Boundaries Transmission Electron Microscopy STEM Optical Axis Alignment Beam Rocking Caustic Spot Condenser Aperture

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