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電子チャネリング強化マイクロ分析による結晶材料における機能的ドーパント/点欠陥の定量的原子部位解析

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Química

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Quantitative Atomic-Site Analysis of Functional Dopants/Point Defects in Crystalline Materials by Electron-Channeling-Enhanced Microanalysis

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電子チャネリング強化マイクロ分析による結晶材料における機能的ドーパント/点欠陥の定量的原子部位解析

DOI:

10.3791/62015-v

•

07:24 min

•

May 10, 2021

•

Masahiro Ohtsuka, Shunsuke Muto

¹Electron Nanoscopy Division, Advanced Measurement Technology Center, Institute of Materials & Systems for Sustainability,Nagoya University

Capítulos

00:04Introduction
00:59Transmission Electron Microscopy (TEM) Alignment for Beam-Rocking
02:36Incident Beam Collimation and Pivot Point Setup
03:47Electron-Channeling Pattern (ECP) Acquisition
04:30Energy-Dispersive X-Ray Analysis
05:10Results: Representative ECP and ICP Emission Imaging
06:46Conclusion

Summary

Tadução automática

不純物の部位占有量を推定する定量的微分分析法の概要を、少数種、光元素、酸素空孔、その他の点線/平面欠陥から確実に抽出する電子ビーム揺動条件下での電子チャネリング現象を利用して提供します。

Tags

Keywords: Quantitative Analysis Atomic-site Functional Dopants Point Defects Crystalline Materials Electron-channeling-enhanced Microanalysis Energy-dispersive X-ray Spectroscopy Electron Energy-loss Spectroscopy Lattice Defects Vacancies Interstitials Grain Boundaries Transmission Electron Microscopy STEM Optical Axis Alignment Beam Rocking Caustic Spot Condenser Aperture

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