Journal
/
Química
/
Effekten av anodisering parametrar på aluminiumoxid dielektriska lagret av thin-film transistorer
JoVE Journal
Química
Author Produced
É necessária uma assinatura da JoVE para visualizar este conteúdo.  Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
JoVE Journal Química
The Effect of Anodization Parameters on the Aluminum Oxide Dielectric Layer of Thin-Film Transistors
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Effekten av anodisering parametrar på aluminiumoxid dielektriska lagret av thin-film transistorer

DOI:
10.3791/60798-v

•

12:32 min

•

May 24, 2020

•

, , , ,
1School of Technology and Sciences,São Paulo State University – UNESP, 2Scholl of Electronic Engineering,Bangor University, 3Institute of Geosciences and Exact Sciences,São Paulo State University – UNESP

Capítulos

  • 00:00Introduction
  • 02:48Preparation of the Electrolytic Solution
  • 03:55Substrate Cleaning
  • 05:24Al Gate Electrode Evaporation
  • 06:31Anodization of the Al Layer
  • 07:41ZnO Active Layer Deposition
  • 08:38Drain and Source Electrodes Deposition
  • 09:36TFT Electrical Characterization
  • 10:09Resultados
  • 11:22Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

Anodisering parametrar för tillväxt av aluminium-oxid dielektriska skiktet av zink-oxid tunnfilm transistorer (TFTs) varieras för att bestämma effekterna på den elektriska parametern svar. Analys av varians (ANOVA) tillämpas på en Plackett-Burman-design av experiment (DOE) för att bestämma de tillverkningsförhållanden som resulterar i optimerad enhetsprestanda.

Tags

Aluminum OxideAnodizationThin-film TransistorsDielectric LayerElectrolytic SolutionSubstrate CleaningAluminum Electrode DepositionAnodization ProcessElectrical CharacterizationPlackett-Burman Design Of Experiments

Article

Embed

ADICIONAR À PLAYLIST

Usage Statistics

Vídeos Relacionados

Foto Oxidativ Tillväxt av iridiumoxid Nanopartiklar på CdSe @ CdS nanostavar

Epitaxiell tillväxt av Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition

Effekten av gränsytisk kemisk bindning i TiO<sub> 2</sub> SiO<sub> 2</sub> Kompositioner på deras fotokatalytiska NOx-överföringsprestanda

Kemisk syntes av porösa Barium Titanate tunn Film och termisk stabilisering av ferroelektrisk fas av porositet-inducerad stam

Effekten av laddning och urladdning litium järn fosfat-grafit celler vid olika temperaturer på nedbrytning

Effekten av ultraviolett strålning på kemiska bad nedfall av Bis(thiourea) kadmium klorid kristaller och den efterföljande CdS införskaffa

Solvothermal syntes av MIL-96 och UiO-66-NH2 på atomlager deponeras metalloxid beläggningar på Fiber mattor

Beredning av Polyoxometalate-baserade foto-lyhörd membran för foto-aktivering av Manganese Oxide katalysatorer

Utvinning av Lignin med högt β-O-4 innehåll av Mild etanol utvinning och dess effekt på Depolymerization avkastningen

Elektrokemisk grov bearbetning av thin-film Platinum makro och Mikroelektroder

Read Article