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Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)
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Fabrication de systèmes microélectromécaniques en carbone 3D (C-MEMS)

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•

08:01 min

•

June 17, 2017

DOI:

10.3791/55649-v

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10.3791/55649-v

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08:01 min
June 17, 2017

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1School of Engineering and Sciences,Tecnologico de Monterrey, 2Department of Mechanical and Aerospace Engineering,University of California, 3BBB Inc

Summary

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Des microfibres de carbone vitreuses longues et creuses ont été fabriquées sur la base de la pyrolyse d'un produit naturel, les cheveux humains. Les deux étapes de fabrication des systèmes microélectromécaniques de carbone et des systèmes nanoélectromécaniques de carbone, ou C-MEMS et C-NEMS sont: (i) la photolithographie d'un précurseur de polymère riche en carbone et (ii) la pyrolyse du précurseur de polymère à motifs.

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Pramanick, B., Martinez-Chapa, S. O., Madou, M., Hwang, H. Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS). J. Vis. Exp. (124), e55649, doi:10.3791/55649 (2017).

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