Journal
/
Química
/
הצמיחה epitaxial של perovskite סטרונציום Titanate על גרמניום באמצעות הפקדת אטומית Layer
JoVE Journal
Química
É necessária uma assinatura da JoVE para visualizar este conteúdo.  Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
JoVE Journal Química
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

הצמיחה epitaxial של perovskite סטרונציום Titanate על גרמניום באמצעות הפקדת אטומית Layer

DOI:
10.3791/54268-v

•

09:45 min

•

July 26, 2016

•

, , ,
1McKetta Department of Chemical Engineering,The University of Texas at Austin

Capítulos

  • 00:05Título
  • 01:20Cleaning the Germanium Substrate
  • 02:46Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
  • 04:30Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
  • 07:23Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
  • 08:41Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

עבודה זו מפרטת את הנהלים לצמיחה והאפיון של הגבישים SrTiO 3 ישירות על מצעי גרמניום ידי בתצהיר שכבה אטומי. ההליך ממחיש את היכולת של שיטת צמיחה כל-כימיות לשלב תחמוצות monolithically על מוליכים למחצה עבור התקני מוליכים למחצה, תחמוצת מתכת.

Tags

Epitaxial GrowthPerovskiteStrontium TitanateGermaniumAtomic Layer DepositionMicroelectronicsDielectricCrystalline OxidesInterface StatesManufacturingPrecursorsMolecular Beam EpitaxySubstrate CleaningUV Ozone CleaningVacuum System

Article

Embed

ADICIONAR À PLAYLIST

Usage Statistics

Vídeos Relacionados

תבניות מוגדרות אטומי לEpitaxial צמיחה של תחמוצת המורכבת Thin Films

כימית סינתזת תגובה של nanosize מונוסודיום Titanate

סינתזה והעברה של אוב Nanomembranes פולימר Microporous Conjugated שכבה אחר שכבה

איכות heterojunction משופר ב Cu<sub> 2</sub> O מבוסס תאים סולריים באמצעות אופטימיזציה של לחץ האטמוספרה אטומי שכבת מרחבים שהופקדה<br /> Zn<sub> 1-x</sub> Mg<sub> x</sub> O

הכנת Macroporous Epitaxial קוורץ סרטים על הסיליקון על ידי פתרון כימי הפקדת

השפעת שיטות ייצור perovskite היברידיות על יצירת סרט, מבנה אלקטרוני, ואת ביצוע תאים סולאריים

בתצהיר אדים תגובתי של סרט פולימרי מצומדת על מצעים שרירותי

הפקדת סופגים נקבובי על בד תומך

Solvothermal סינתזה של מיליון-96 ו UiO-66-NH2 בשכבה אטומי שהופקדו תחמוצת מתכת ציפוי על מחצלות סיבים

סינתזה של המצע מכורך Au Nanowires באמצעות מנגנון הצמיחה הפעילה משטח

Read Article