Journal
/
/
الفوقي نمو Perovskite سترونتيوم تيتانات على الجرمانيوم عن طريق ترسب طبقة الذري
JoVE Journal
Química
É necessária uma assinatura da JoVE para visualizar este conteúdo.  Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
JoVE Journal Química
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition

الفوقي نمو Perovskite سترونتيوم تيتانات على الجرمانيوم عن طريق ترسب طبقة الذري

DOI:

09:45 min

July 26, 2016

, , ,

Capítulos

  • 00:05Título
  • 01:20Cleaning the Germanium Substrate
  • 02:46Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
  • 04:30Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
  • 07:23Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
  • 08:41Conclusion

Summary

Tadução automática

تفاصيل هذا العمل إجراءات لنمو وتوصيف البلورية SrTiO 3 مباشرة على ركائز الجرمانيوم التي ترسب طبقة الذري. يوضح الإجراء قدرة على طريقة نمو كل كيميائية لدمج أكاسيد كتلة واحدة على أشباه الموصلات لأجهزة أشباه الموصلات أكسيد المعادن.

Vídeos Relacionados

Read Article