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Fabrication et fonctionnement de Acoustofluidic Dispositifs de support en vrac ondes acoustiques permanents pour introducteur Mise au point des particules
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Fabrication and Operation of Acoustofluidic Devices Supporting Bulk Acoustic Standing Waves for Sheathless Focusing of Particles
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Fabrication et fonctionnement de Acoustofluidic Dispositifs de support en vrac ondes acoustiques permanents pour introducteur Mise au point des particules

DOI:
10.3791/53861-v

•

10:14 min

•

March 06, 2016

•

, , , ,
1NSF Research Triangle Materials Research Science and Engineering Center,Duke University, 2Department of Biomedical Engineering,Duke University, 3Department of Mechanical Engineering and Materials Science,Duke University

Capítulos

  • 00:05Título
  • 00:57Photolithography
  • 02:13Deep Reactive Ion Etching
  • 02:55Piranha Cleaning
  • 03:46Anodic Bonding
  • 05:41Finalizing the Acoustofluidic Device
  • 06:44Operating the Acoustofluidic Device
  • 08:01Results: Acoustofluidic Devices Support Bulk Acoustic Standing Waves
  • 09:03Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

dispositifs Acoustofluidic utilisent des ondes ultrasonores dans les canaux microfluidiques pour manipuler, se concentrer et d'isoler micro suspendu et entités nanoscopiques. Ce protocole décrit la fabrication et le fonctionnement d'un tel dispositif de support des ondes stationnaires acoustiques de volume pour se concentrer des particules dans une ligne de courant central sans l'aide de fluides de gaine.

Tags

Acoustofluidic DevicesBulk Acoustic Standing WavesSheathless Particle FocusingMicrofabricationPhotolithographyDeep Reactive Ion EtchingSilicon Wafer Processing

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