Summary

Fabricação, Densificação e Replica Moldagem de Microestruturas de Nanotubos de Carbono 3D

Published: July 02, 2012
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Summary

Nós apresentamos métodos para a fabricação de microestruturas com padrões de nanotubos de carbono alinhados verticalmente (CNT), e sua utilização como moldes de mestre para a produção de microestruturas de polímero com a textura da superfície organizada em nanoescala. As florestas CNT são densificados por condensação de solvente na superfície do substrato, o que aumenta significativamente a sua densidade de embalagem e permite autodirigido formação de formas 3D.

Abstract

A introdução de novos materiais e processos para microfabricação tem, em grande parte, possibilitou muitos avanços importantes em microssistemas, lab-on-a-chip dispositivos, e suas aplicações. Em particular, as capacidades de baixo custo de fabricação de microestruturas poliméricas foram transformadas pelo advento da litografia macia e técnicas micromolding outros 1, 2, e isso levou uma revolução nas aplicações de microfabricação para engenharia biomédica e biologia. No entanto, ainda é um desafio para fabricar microestruturas bem definidas texturas de superfície em nanoescala, e para fabricar arbitrárias formas 3D na micro-escala. Robustez dos moldes mestras e manutenção da integridade da forma é especialmente importante para alcançar a replicação de alta fidelidade de estruturas complexas e preservar a sua textura de superfície nanoescala. A combinação de texturas e formas hierárquicas, heterogêneos, é um profundo desafio aos métodos de microfabricação existentes que largely dependem de cima para baixo ataque usando modelos de máscaras fixas. Por outro lado, a síntese de baixo para cima de nanoestruturas como nanotubos e nanofios podem oferecer novas capacidades de microfabricação, em particular, aproveitando o coletivo de auto-organização de nanoestruturas, e controle local de seu comportamento de crescimento com relação a padrões microfabricated .

Nosso objetivo é introduzir os nanotubos de carbono alinhados verticalmente (CNTS), que nos referimos como "florestas" da CNT, como um material de microfabricação novo. Nós apresentamos detalhes de um conjunto de métodos relacionados recentemente desenvolvidos pelo nosso grupo: fabricação de microestruturas CNT florestais por CVD térmico de filmes finos de catalisador lithographically padronizadas, auto-dirigido densificação elastocapillary de microestruturas da CNT, e moldagem de réplica de polímero microestruturas usando moldes mestres CNT compósitos . Em particular, o nosso trabalho mostra que a densificação autodirigido capilar ("capilar formando"), que é performed por condensação de um solvente sobre o substrato com microestruturas CNT, aumenta significativamente a densidade de empacotamento de CNT. Este processo permite a transformação dirigida de microestruturas verticais CNT em formas retas, inclinadas, e torcida, que têm fortes propriedades mecânicas superiores às dos polímeros de microfabricação típicas. Este por sua vez, permite a formação de moldes de nanocompósitos mestre CNT por capilar-driven infiltração de polímeros. As estruturas de réplica exibem a textura anisotrópica nanoescala dos CNTs alinhados, e podem ter paredes com sub-micron de espessura e razões de aspecto superiores a 50:1. Integração de microestruturas na fabricação CNT oferece nova oportunidade de explorar as propriedades elétricas e térmicas de nanotubos de carbono, e capacidades diferentes para química e bioquímica funcionalização 3.

Protocol

1. Padronização catalisador Adquirir uma (100) bolacha de silício com uma camada de dióxido de silício de espessura 3000A, com pelo menos um lado polido. Alternativamente, você pode adquirir uma placa de silício puro e crescer dióxido de silício 3000A na bolacha. Todo o processamento descrito abaixo é feito no lado polida da bolacha. Spincoat uma camada de HMDS em 500rpm de 4s, em seguida, em 3000rpm por 30s. HMDS promove a adesão entre a bolacha eo fotorresiste. Spincoat uma ca…

Discussion

Padronização litográfica e preparação do catalisador CNT substratos é simples e repetível, no entanto, atingir um crescimento CNT consistente exige uma atenção cuidadosa à forma como a altura ea densidade das florestas CNT sofrem o impacto da humidade ambiente e da condição do tubo de crescimento. Na nossa experiência, os padrões de dimensões superiores a 1000 uM 2 são menos sensíveis a pequenas flutuações nas condições de processamento. Além disso, a densidade das execuções padrões a…

Declarações

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Esta pesquisa foi financiada pelo programa Nanofabricação da National Science Foundation (CMMI-0927634). Davor Copic foi apoiado em parte pelo Programa de Bolsas de Mérito Rackham na Universidade de Michigan. Sameh Tawfick reconhece o apoio parcial do Fellowship Rackham predoctoral. Michael De Volder foi apoiado pelo Fundo Belga de Investigação Científica – Flandres (FWO). Microfabricação foi realizada no Centro de Nanofabricação Lurie (LNF), que é membro da Rede Nacional de Nanotecnologia Infra-estrutura, e microscopia eletrônica foi realizada no Electron Michigan Microbeam Analysis Laboratory (EMAL).

Materials

Name of the reagent Company Catalogue number Comments
4″ diameter <100> silicon wafers coated with SiO2 (300 nm) Silicon Quest Custom  
Positive photoresist MicroChem SPR 220-3.0  
Hexamethyldisilizane (HMDS) MicroChem    
Developer AZ Electronic Materials USA Corp. AZ 300 MIF  
Sputtering system Kurt J. Lesker Lab 18 Sputtering system for catalyst deposition
Thermo-Fisher Minimite Fisher Scientific TF55030A Tube furnace for CNT growth
Quartz tube Technical Glass Products Custom 22 mm ID × 25 mm OD 30″ length
Helium gas PurityPlus He (PrePurified 300)  
Hydrogen gas PurityPlus H2 (PrePurified 300) UHP
Ethylene gas PurityPlus C2H4 (PrePurified 300) UHP
Perforated aluminum sheet McMaster-Carr 9232T221 For holding sample above densification beaker
UV flood lamp Dymax Model 2000  
SU-8 2002 MicroChem SU-8 2002  
Polydimethylsiloxane (PDMS) Dow Corning Sylgard 184 Silicone Elastomer Kit  

Referências

  1. Xia, Y. N., Whitesides, G. M. Soft lithography. Annual Review of Materials Science. 28, 153-184 (1998).
  2. Xia, Y. Replica molding using polymeric materials: A practical step toward nanomanufacturing. Advanced Materials. 9, 147-149 (1997).
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Citar este artigo
Copic, D., Park, S. J., Tawfick, S., De Volder, M., Hart, A. J. Fabrication, Densification, and Replica Molding of 3D Carbon Nanotube Microstructures. J. Vis. Exp. (65), e3980, doi:10.3791/3980 (2012).

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