Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

该手稿描述了一种在玻璃基板上对Bi₂Te₃ 和Sb₂Te₃ 热电薄膜进行射频磁控溅射的协议，该协议代表了一种可靠的沉积方法，具有广泛的应用潜力，并具有进一步发展的潜力。