Deposition of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

May 17, 2024
, , , , ,

Summary

Het manuscript beschrijft een protocol voor radiofrequente magnetronsputteren van Bi2Te3 en Sb2Te3 thermo-elektrische dunne films op glassubstraten, wat een betrouwbare afzettingsmethode vertegenwoordigt die een breed scala aan toepassingen biedt met het potentieel voor verdere ontwikkeling.