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Óxido de nióbio filmes depositados por sputtering reativa: efeito da taxa de fluxo de oxigênio
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Chimica
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Niobium Oxide Films Deposited by Reactive Sputtering: Effect of Oxygen Flow Rate

Óxido de nióbio filmes depositados por sputtering reativa: efeito da taxa de fluxo de oxigênio

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08:23 min

September 28, 2019

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08:23 min
September 28, 2019

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Aqui, nós apresentamos um protocolo para o depósito das películas do óxido do nióbio pelo sputtering reactivo com taxas de fluxo diferentes do oxigênio para o uso como uma camada do transporte do elétron em pilhas solares do perovskita.

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