प्लाज़्मा-असिस्टेड आण्विक बीम इपिटैक्सी वृद्धि की वृद्धि मघ₃छ₂ तथा द द₃छ₂ पतली फिल्में

यह आलेख वर्णन करता है कि च्₃छ₂ तथा द द₃छ₂ की अधिअक्षीय फिल्मों की वृद्धि, प्जो पर प्जो उपस्थैत्य द्वारा प्यूज ण् 2 नाइट्रोजन स्रोत तथा प्रकाशिक वृद्धि निगरानी के रूप में छ₂ गैस के साथ आण्विक किरण पुस् तककास द्वारा किया गया है।