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다층 미세 유체 장치의 제조를 위한 입체 인쇄 현미경 마스크 정렬 어댑터의 설계 및 개발
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Design and Development of a Three-Dimensionally Printed Microscope Mask Alignment Adapter for the Fabrication of Multilayer Microfluidic Devices
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다층 미세 유체 장치의 제조를 위한 입체 인쇄 현미경 마스크 정렬 어댑터의 설계 및 개발

DOI:
10.3791/61877-v

•

06:21 min

•

January 25, 2021

•

, , ,
1Department of Chemical Engineering,Texas Tech University

Chapitres

  • 00:04Introduction
  • 00:42Designing the Microscope Mask Alignment Adapter (MMAA)
  • 01:29Creation of Bilayer Master Mold Using the MMAA (photolithography) and Determination of the Alignment Error
  • 04:40Results: Design, Customization, and Characterization of the Master Molds Fabricated Using MMAA
  • 05:44Conclusion

Summary

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이 프로젝트를 통해 소규모 실험실에서는 정밀다층 미세 유체 장치를 제조하기 위한 사용하기 쉬운 플랫폼을 개발할 수 있습니다. 플랫폼은 <10 μm의 정렬 오차가 있는 다층 미세 유체 장치를 사용하여 3차원인쇄 현미경 마스크 정렬 어댑터로 구성됩니다.

Tags

3D PrintedMicroscope Mask Alignment AdapterMultilayerMicrofluidic DevicesMaster MoldWafer HolderUpright MicroscopeAlignment MarkersPhoto ResistSpin Coating

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