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Fabrication de dispositifs d’ondes acoustiques de surface sur lithium niobate
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Chapitres
- 00:04Introduction
- 00:28SAW Device Fabrication Via Lift-Off Method
- 03:21SAW Device Fabrication Via Wet Etching Method
- 05:59Results: SAW Devices Generate Surface Acoustic Waves
- 07:18Conclusion
Deux techniques de fabrication, le décollage et la gravure humide, sont décrites dans la production de transducteurs d’électrodes internumériques sur un substrat piézoélectrique, le niobate de lithium, largement utilisé pour générer des ondes acoustiques de surface qui trouvent maintenant une large utilité dans les fluides micro à nanométriques. Les électrodes produites sont montrées pour induire efficacement les mégahertz commandent des ondes acoustiques de surface de Rayleigh.
