Journal
/
Chimie
/
الفوقي نمو Perovskite سترونتيوم تيتانات على الجرمانيوم عن طريق ترسب طبقة الذري
Journal JoVE
Chimie
Un abonnement à JoVE est nécessaire pour voir ce contenu.  Connectez-vous ou commencez votre essai gratuit.
Journal JoVE Chimie
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

الفوقي نمو Perovskite سترونتيوم تيتانات على الجرمانيوم عن طريق ترسب طبقة الذري

12,119 Views

•

09:45 min

•

July 26, 2016

DOI:

10.3791/54268-v

DOI:
10.3791/54268-v

•

09:45 min
July 26, 2016

•

8 Views
, , ,
1McKetta Department of Chemical Engineering,The University of Texas at Austin

Summary

Automatically generated

تفاصيل هذا العمل إجراءات لنمو وتوصيف البلورية SrTiO 3 مباشرة على ركائز الجرمانيوم التي ترسب طبقة الذري. يوضح الإجراء قدرة على طريقة نمو كل كيميائية لدمج أكاسيد كتلة واحدة على أشباه الموصلات لأجهزة أشباه الموصلات أكسيد المعادن.

Explore More Videos

Epitaxial GrowthPerovskiteStrontium TitanateGermaniumAtomic Layer DepositionMicroelectronicsDielectricCrystalline OxidesInterface StatesManufacturingPrecursorsMolecular Beam EpitaxySubstrate CleaningUV Ozone CleaningVacuum System

Read Article

Cite this Article

Lin, E. L., Edmondson, B. I., Hu, S., Ekerdt, J. G. Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition. J. Vis. Exp. (113), e54268, doi:10.3791/54268 (2016).

Download .ris file

Copy

Share Video

.

Copy