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3Dカーボンマイクロエレクトロメカニカルシステム（C-MEMS）の製作
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Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)
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3Dカーボンマイクロエレクトロメカニカルシステム（C-MEMS）の製作

11,953 Views

•

08:01 min

•

June 17, 2017

DOI:

10.3791/55649-v

DOI:
10.3791/55649-v

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08:01 min
June 17, 2017

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1School of Engineering and Sciences,Tecnologico de Monterrey, 2Department of Mechanical and Aerospace Engineering,University of California, 3BBB Inc

Summary

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天然の生成物であるヒトの毛髪の熱分解に基づいて、長くて中空のガラス状炭素マイクロファイバーが製造された。カーボンマイクロエレクトロメカニカルおよびカーボンナノエレクトロメカニカルシステム、またはC-MEMSおよびC-NEMSの2つの製造工程は、（i）炭素リッチなポリマー前駆体のフォトリソグラフィおよび（ii）パターン化ポリマー前駆体の熱分解である。

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Pramanick, B., Martinez-Chapa, S. O., Madou, M., Hwang, H. Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS). J. Vis. Exp. (124), e55649, doi:10.3791/55649 (2017).

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