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Herstellung von makroporösen Epitaxial-Quarz-Films auf Silizium durch Chemical Solution Deposition
 
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Herstellung von makroporösen Epitaxial-Quarz-Films auf Silizium durch Chemical Solution Deposition

Article DOI: 10.3791/53543-v • 07:37 min • December 21st, 2015
December 21st, 2015 •
1, 2
1Institut des Nanotechnologies de Lyon, CNRS-École Centrale de Lyon, 2Institut de Ciència de Materials de Barcelona, Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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Chemie Ausgabe 106 Quarz epitaxiale Dünnfilme piezoelektrische Sol-Gel Weich Chemie Verdampfen induzierten Selbstorganisation Tauchbeschichten Entglasung
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