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Herstellung von transparenten leitenden Oxide durch Pulsed Laser Deposition Nano-engineered
JoVE Revista
Ingeniería
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Fabrication of Nano-engineered Transparent Conducting Oxides by Pulsed Laser Deposition
DOI:

10:27 min

February 27, 2013

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Capítulos

  • 00:05Título
  • 01:30Substrate Preparation
  • 02:01Laser Alignment and Selection of Laser Parameters
  • 03:33Target Alignment, Pre-ablation and Data Collection for Plasma Plume Length Determination
  • 04:51Calibration of the Film Thickness
  • 05:58Deposition of Compact AZO Films
  • 07:25Deposition of Hierarchically Structured AZO Films
  • 08:08Results: Compact and Forest-like AZO Films and Their Properties
  • 09:39Conclusion

Summary

Traducción Automática

Wir beschreiben die experimentelle Methode nanostrukturierte Oxid Dünnschichten durch Nanosekunde Pulsed Laser Deposition (PLD) abzuscheiden in Gegenwart von einem Hintergrund Gas. Mit dieser Methode Al-dotiertem ZnO (AZO) Filmen, von kompakt bis hierarchisch nano-Baum Wälder strukturiert werden können hinterlegt.

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