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Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi
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and Sb
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Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates
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Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi
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Te
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and Sb
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Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates
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Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi
2
Te
3
and Sb
2
Te
3
Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates
DOI:
10.3791/201298-v
•
03:39 min
•
May 17, 2024
•
Nurfarhana Ahmad Musri
,
Yoganash Putthisigamany
,
Puvaneswaran Chelvanathan
,
Norasikin Ahmad Ludin
,
Nadhrah Md Yatim
,
Ubaidah Syafiq
1
Solar Energy Research Institute (SERI)
,
Universiti Kebangsaan Malaysia
,
2
Faculty of Science and Technology
,
Universiti Sains Islam Malaysia
Tags
Radio Frequency Magnetron Sputtering
Bi2Te3
Sb2Te3
Thermoelectric Thin Films
Glass Substrates
Aluminum Shield
Magnetron Holder
Vacuum Chamber
Pressure Gauge
Cooler System
Argon Gas Flow
Rotation Speed
Automatic Matching Network Controller
Radio Frequency Power Supply
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