Summary

Изготовление нановысотных каналов, включающих поверхностную акустическую волну, активацию с помощью литиевого ниобата для акустических нанофлюидиков

Published: February 05, 2020
doi:

Summary

Мы демонстрируем изготовление нановысотных каналов с интеграцией поверхностных акустических волновых устройств активации на литиевый ниобат для акустической нанофлюитики с помощью фотолитографии подъема, нано-глубокого реактивного ионного травления и комнатно-температурной плазмы многослойная связь однокристаллического лития-ниобата, процесса, столь же полезного для склеивания ниобата лития с оксидами.

Abstract

Контролируемые наномасштабные манипуляции жидкостями, как известно, исключительно трудно из-за доминирования поверхностных и вязких сил. Мегагерц-заказ поверхностных акустических волн (SAW) устройства генерировать огромное ускорение на их поверхности, до 108 м /s2, в свою очередь, отвечает за многие из наблюдаемых эффектов, которые пришли к определению acoustofluidics: акустические потокового и акустических сил излучения. Эти эффекты были использованы для частиц, клеток и жидкости манипуляции на микромасштабе, хотя в последнее время SAW был использован для производства аналогичных явлений на наноуровне через совершенно другой набор механизмов. Контролируемые наномасштабные манипуляции жидкостью предлагает широкий спектр возможностей в ультрабыстрой жидкости насосной и биомакромолекулы динамики полезно для физического и биологического применения. Здесь мы демонстрируем изготовление каналов наномасштабного канала с помощью комнатно-температурного ниобата литиевого ниобата (LN), интегрированного с устройством SAW. Мы описываем весь экспериментальный процесс, включая изготовление канала нано-высоты с помощью сухого травления, плазменного склеивания на ниобате лития, соответствующей оптической установки для последующей визуализации и активации SAW. Мы показываем репрезентативные результаты для жидкости капиллярной начинки и жидкости слива в наномасштабном канале индуцированных SAW. Эта процедура предлагает практический протокол для изготовления наномасштабных каналов и интеграции с устройствами SAW, полезными для создания для будущих применений нанофлюидических жидкостей.

Introduction

Контролируемый перенос наноразмерной жидкости в наноканалах –нанофлюитике1— происходит на той же шкале длины, что и большинство биологических макромолекул, и является перспективным для биологического анализа и зондирования, медицинской диагностики и обработки материала. Различные проекты и моделирования были разработаны в нанофлюидитики для манипулирования жидкостей и частиц подвески на основе температурных градиентов2, Кулон перетаскивания3, поверхностные волны4, статические электрические поля5,6,7, и термофорис8 за последние пятнадцать лет. Недавно, SAW было показано9 для производства наномасштабной жидкости насосных и слива с достаточным акустическим давлением, чтобы преодолеть доминирование поверхностных и вязких сил, которые в противном случае предотвратить эффективный перенос жидкости в наноканалах. Ключевым преимуществом акустической потоковой передачи является его способность управлять полезным потоком в наноструктурах без беспокойства по поводу деталей химии жидкости или частицподвески, что делает устройства, которые используют этот метод сразу же полезным в биологическом анализе, зондировании и других физикохимических приложений.

Изготовление СОВМЕСТИМЫх нанофлюидических устройств для изготовления электродов-межцифрового преобразователя (IDT) на пьезоэлектрическом субстрате, литиевом ниобате10,для облегчения генерации SAW. Реактивное ионное травление (RIE) используется для формирования наномасштабной депрессии в отдельном куске LN, а склеивание LN-LN двух частей производит полезный наноканал. Процесс изготовления устройств SAW был представлен во многих публикациях, будь то с помощью нормальной или подъемной ультрафиолетовой фотолитографии наряду с металлическим распылением или осаждением испарения11. Для процесса LN RIE, чтобы вытравить канал в определенной форме, влияние на скорость etch и конечной шероховатости поверхности канала от выбора различных ориентаций LN, маски материалов, потока газа, и плазменной энергии были исследованы12,13,14,15,16. Активация поверхности плазмы была использована для значительного увеличения поверхностной энергии и, следовательно, повышения прочности склеивания оксидов, таких как LN17,18,19,20. Также возможно неоднородно связывать LN с другими оксидами, такими как SiO2 (стекло) с помощью двухступенчатого метода активации плазмы21. Комната-температура LN-LN связи, в частности, был исследован с помощью различных очистки и поверхностной активации лечения22.

Здесь мы подробно описываем процесс изготовления 40 МГц SAW-интегрированных наноканалов высотой 100 нм, часто называемых наноосвещенными каналами(рисунок 1А). Эффективная плавичная капиллярная начинка и слив жидкости путем активации SAW демонстрируют действительность как наноосвещенной измышления, так и производительности SAW в таком наномасштабном канале. Наш подход предлагает нано-ацустофлюйдипическую систему, позволяющую иссмотреть различные физические проблемы и биологические применения.

Protocol

1. Препарат маски канала Nano-высоты Фотолитография: С рисунком, описывающим нужную форму нановысотных каналов(рисунок 1B), используйте нормальную фотолитографию и процедуры подъема для производства нановысотных вафелок в вафле LN. Эти депрессии станут нанов…

Representative Results

Мы выполняем жидкую капиллярную подачу и слив жидкости SAW в нано-высотных разрезах LN после успешного изготовления и склеивания интегрированных нанофлюядических устройств SAW. Поверхностные акустические волны генерируются IDTs, действием усиленного синусоидального сигнала на резонансн?…

Discussion

Связь комнатно-температурного оборудования является ключом к изготовлению сав-интегрированных нанослитных устройств. Необходимо рассмотреть пять аспектов, обеспечивающих успешную связь и достаточную прочность связи.

Время и мощность для активации поверхности пл…

Divulgaciones

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Авторы признательны Калифорнийскому университету и объекту NANO3 в Калифорнийском университете в Сан-Диего за предоставление средств и средств для поддержки этой работы. Эта работа была выполнена в частности, в Сан-Диего нанотехнологии инфраструктуры (SDNI) UCSD, член Национальной нанотехнологии скоординированной инфраструктуры, которая поддерживается Национальным научным фондом (Grant ECCS-1542148). Представленная здесь работа была щедро поддержана исследовательским грантом Фонда В.М. Кека. Авторы также благодарны за поддержку этой работы Управления военно-морских исследований (через Грант 12368098).

Materials

Absorber Dragon Skin, Smooth-On, Inc., Macungie, PA, USA Dragon Skin 10 MEDIUM
Amplifier Mini-Circuits, Brooklyn, NY, USA ZHL–1–2W–S+
Camera Nikon, Minato, Tokyo, Japan D5300
Developer Futurrex, NJ, USA RD6
Diamond tip engraving pen Malco, Memphis, TN, USA Malco A50 USA Made Carbide Tipped Scribe
Dicing saw Disco, Tokyo, Japan Disco Automatic Dicing Saw 3220
Heating oven Carbolite, Hope Valley, UK HTCR 6/28 High Temperature Clean Room Oven – HTCR
Hole driller Dremel, Mount Prospect, Illinois Model #4000 4000 High Performance Variable Speed Rotary
Inverted microscope Amscope, Irvine, CA, USA IN480TC-FL-MF603
Lithium niobate substrate PMOptics, Burlington, MA, USA PWLN-431232 4" double-side polished 0.5 mm thick 128° Y-rotated cut lithium niobate
Mask aligner Heidelberg Instruments, Heidelberg, Germany MLA150
Nano3 cleanroom facility UCSD, La Jolla, CA, USA Fabrication process is performed in it.
Negative photoresist Futurrex, NJ, USA NR9-1500PY
Oscilloscope Keysight Technologies, Santa Rosa, CA, USA InfiniiVision 2000 X-Series
Plasma surface activation PVA TePla, Corona, CA, USA PS100 Tepla Asher
Polarizer sheet Edmund Optics, Barrington, NJ, USA #86-182
RIE etcher Oxford Instruments, Abingdon, UK Plasmalab 100
Signal generator NF Corporation, Yokohama, Japan WF1967 multifunction generator
Sputter deposition Denton Vacuum, NJ, USA Denton 18 Denton Discovery 18 Sputter System
Teflon wafer dipper ShapeMaster, Ogden, IL, USA SM4WD1 Wafer Dipper 4"

Referencias

  1. Eijkel, J. C., Van Den Berg, A. Nanofluidics: what is it and what can we expect from it?. Microfluidics and Nanofluidics. 1 (3), 249-267 (2005).
  2. Longhurst, M. J., Quirke, N. Temperature-driven pumping of fluid through single-walled carbon nanotubes. Nano Letters. 7 (11), 3324-3328 (2007).
  3. Wang, B., Král, P. Coulombic dragging of molecules on surfaces induced by separately flowing liquids. Journal of the American Chemical Society. 128 (50), 15984-15985 (2006).
  4. Insepov, Z., Wolf, D., Hassanein, A. Nanopumping using carbon nanotubes. Nano Letters. 6 (9), 1893-1895 (2006).
  5. Gong, X., et al. A charge-driven molecular water pump. Nature Nanotechnology. 2 (11), 709 (2007).
  6. Joseph, S., Aluru, N. R. Pumping of confined water in carbon nanotubes by rotation-translation coupling. Physical Review Letters. 101 (6), 064502 (2008).
  7. Rinne, K. F., Gekle, S., Bonthuis, D. J., Netz, R. R. Nanoscale pumping of water by AC electric fields. Nano Letters. 12 (4), 1780-1783 (2012).
  8. Eslamian, M., Saghir, M. Z. Novel thermophoretic particle separators: numerical analysis and simulation. Applied Thermal Engineering. 59 (1-2), 527-534 (2013).
  9. Miansari, M., Friend, J. R. Acoustic Nanofluidics via Room-Temperature Lithium Niobate Bonding: A Platform for Actuation and Manipulation of Nanoconfined Fluids and Particles. Advanced Functional Materials. 26 (43), 7861-7872 (2016).
  10. Minzioni, P., et al. Roadmap for optofluidics. Journal of Optics. 19 (9), 093003 (2017).
  11. Connacher, W., et al. Micro/nano acoustofluidics: materials, phenomena, design, devices, and applications. Lab on a Chip. 18 (14), 1952-1996 (2018).
  12. Ren, Z., et al. Etching characteristics of LiNbO3 in reactive ion etching and inductively coupled plasma. Journal of Applied Physics. 103 (3), 034109 (2008).
  13. Winnall, S., Winderbaum, S. Lithium niobate reactive ion etching. Defence Science and Technology Organization. , (2000).
  14. Hu, H., Ricken, R., Sohler, W. Etching of lithium niobate: micro-and nanometer structures for integrated optics. Topical Meeting Photorefractive Materials, Effects, and Devices-Control of Light and Matter, Bad Honnef. , (2009).
  15. Jackel, J. L., Howard, R. E., Hu, E. L., Lyman, S. P. Reactive ion etching of LiNbO3. Applied Physics Letters. 38 (11), 907-909 (1981).
  16. Smith, S. E. . Investigation of nanoscale etching and poling of lithium niobate. , (2014).
  17. Tomita, Y., Sugimoto, M., Eda, K. Direct bonding of LiNbO3 single crystals for optical waveguides. Applied Physics Letters. 66 (12), 1484-1485 (1995).
  18. Howlader, M. M. R., Suga, T., Kim, M. J. Room temperature bonding of silicon and lithium niobate. Applied Physics Letters. 89 (3), 031914 (2006).
  19. Chang, C. M., et al. A parametric study of ICP-RIE etching on a lithium niobate substrate. 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems. , 485-486 (2015).
  20. Queste, S., et al. Deep reactive ion etching of quartz, lithium niobate and lead titanate. JNTE (Journées Nationales sur les Technologies) Proceedings. , (2008).
  21. Xu, J., Wang, C., Tian, Y., Wu, B., Wang, S., Zhang, H. Glass-on-LiNbO3 heterostructure formed via a two-step plasma activated low-temperature direct bonding method. Applied Surface Science. 459, 621-629 (2018).
  22. Tulli, D., Janner, D., Pruneri, V. Room temperature direct bonding of LiNbO3 crystal layers and its application to high-voltage optical sensing. Journal of Micromechanics and Microengineering. 21 (8), 085025 (2011).
  23. Sridhar, M., Maurya, D. K., Friend, J. R., Yeo, L. Y. Focused ion beam milling of microchannels in lithium niobate. Biomicrofluidics. 6 (012819), (2012).

Play Video

Citar este artículo
Zhang, N., Friend, J. Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics. J. Vis. Exp. (156), e60648, doi:10.3791/60648 (2020).

View Video