Journal
/
/
Tillverkning av Surface Acoustic Wave-enheter på Litium Niobate
JoVE Journal
Ingenieurwesen
Zum Anzeigen dieser Inhalte ist ein JoVE-Abonnement erforderlich.  Melden Sie sich an oder starten Sie Ihre kostenlose Testversion.
JoVE Journal Ingenieurwesen
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
DOI:

07:55 min

June 18, 2020

, ,

Kapitel

  • 00:04Introduction
  • 00:28SAW Device Fabrication Via Lift-Off Method
  • 03:21SAW Device Fabrication Via Wet Etching Method
  • 05:59Results: SAW Devices Generate Surface Acoustic Waves
  • 07:18Conclusion

Summary

Automatische Übersetzung

Två tillverkningstekniker, lyft-off och våt etsning, beskrivs i att producera interdigital elektrod givare på en piezoelektrisk substrat, litium niobat, ofta används för att generera ytan akustiska vågor nu hitta bred nytta i mikro till nanoskala fluidik. De som produceras elektroder visas för att effektivt inducera megahertz beställa Rayleigh yta akustiska vågor.

Verwandte Videos

Read Article