/
/
Fabrication de dispositifs d’ondes acoustiques de surface sur lithium niobate
Zum Anzeigen dieser Inhalte ist ein JoVE-Abonnement erforderlich. Melden Sie sich an oder starten Sie Ihre kostenlose Testversion.
Kapitel
- 00:04Introduction
- 00:28SAW Device Fabrication Via Lift-Off Method
- 03:21SAW Device Fabrication Via Wet Etching Method
- 05:59Results: SAW Devices Generate Surface Acoustic Waves
- 07:18Conclusion
Deux techniques de fabrication, le décollage et la gravure humide, sont décrites dans la production de transducteurs d’électrodes internumériques sur un substrat piézoélectrique, le niobate de lithium, largement utilisé pour générer des ondes acoustiques de surface qui trouvent maintenant une large utilité dans les fluides micro à nanométriques. Les électrodes produites sont montrées pour induire efficacement les mégahertz commandent des ondes acoustiques de surface de Rayleigh.
