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Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
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Herstellung von Oberflächen-Akustikwellengeräten auf Lithium-Niobat

DOI:
10.3791/61013-v

•

07:55 min

•

June 18, 2020

•

, ,
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices and Instrumentation, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering and Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Kapitel

  • 00:04Introduction
  • 00:28SAW Device Fabrication Via Lift-Off Method
  • 03:21SAW Device Fabrication Via Wet Etching Method
  • 05:59Results: SAW Devices Generate Surface Acoustic Waves
  • 07:18Conclusion

Summary

Automatische Übersetzung

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Zwei Herstellungstechniken, Lift-off und Nassätzung, werden bei der Herstellung von interdigitalen Elektrodenwandlern auf einem piezoelektrischen Substrat beschrieben, Lithiumniobat, das weit verbreitet ist, um Oberflächen-Akustikwellen zu erzeugen, die jetzt einen breiten Nutzen in der Mikro- bis nanoskaligen Fluidik finden. Die produzierten Elektroden werden gezeigt, um effizient Megahertz-Ordnung Rayleigh Oberflächen-Akustikwellen zu induzieren.

Tags

Surface Acoustic WaveLithium NiobateFabricationPhotoresistSpin CoatingUV ExposureRD6 DeveloperSputteringChromiumAluminum

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