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Design und Charakterisierung Methodik für effiziente Weitbereichs-abstimmbaren MEMS-Filter
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Design und Charakterisierung Methodik für effiziente Weitbereichs-abstimmbaren MEMS-Filter
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15:25 min
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February 04, 2018
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Ein Protokoll für eine feste-feste Strahl-Design mit einem Laser Doppler Vibrometer (LDV), einschließlich der Messung der Frequenz tuning, Modifikation des Tunings-Fähigkeit und Vermeidung von Geräteausfall und Stiction, wird vorgestellt. Die Überlegenheit der LDV-Methode über die Netzwerk-Analyzer ist aufgrund seiner höheren Modus Fähigkeit unter Beweis gestellt.
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Goktas, H. Design and Characterization Methodology for Efficient Wide Range Tunable MEMS Filters. J. Vis. Exp. (132), e56371, doi:10.3791/56371 (2018).
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