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Fabbricazione di sistemi microelettromeccanici a carbonio 3D (C-MEMS)
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Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)
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Fabbricazione di sistemi microelettromeccanici a carbonio 3D (C-MEMS)

11,956 Views

•

08:01 min

•

June 17, 2017

DOI:

10.3791/55649-v

DOI:
10.3791/55649-v

•

08:01 min
June 17, 2017

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1School of Engineering and Sciences,Tecnologico de Monterrey, 2Department of Mechanical and Aerospace Engineering,University of California, 3BBB Inc

Summary

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Le microfibre di carbonio vetroso lungo e cavo sono state fabbricate sulla base della pirolisi di un prodotto naturale, capelli umani. Le due fasi di fabbricazione di sistemi microelettromeccanici e di nanoelettromeccanici in carbonio, o C-MEMS e C-NEMS, sono: (i) la fotolitografia di un precursore polimerico ricco di carbonio e (ii) la pirolisi del precursore polimerico modellato.

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Pramanick, B., Martinez-Chapa, S. O., Madou, M., Hwang, H. Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS). J. Vis. Exp. (124), e55649, doi:10.3791/55649 (2017).

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