Journal
/
Ingenieurwesen
/
Fabricage van 3D Koolstof Micro-Elektromechanische Systemen (C-MEMS)
JoVE Journal
Ingenieurwesen
Zum Anzeigen dieser Inhalte ist ein JoVE-Abonnement erforderlich.  Melden Sie sich an oder starten Sie Ihre kostenlose Testversion.
JoVE Journal Ingenieurwesen
Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Fabricage van 3D Koolstof Micro-Elektromechanische Systemen (C-MEMS)

11,956 Views

•

08:01 min

•

June 17, 2017

DOI:

10.3791/55649-v

DOI:
10.3791/55649-v

•

08:01 min
June 17, 2017

•

2 Views
, , ,
1School of Engineering and Sciences,Tecnologico de Monterrey, 2Department of Mechanical and Aerospace Engineering,University of California, 3BBB Inc

Summary

Automatically generated

Lange en holle glasachtige koolstofmicrofibers werden vervaardigd op basis van de pyrolyse van een natuurlijk product, menselijk haar. De twee fabricage stappen van koolstofmicro-elektromechanische en koolstofnanoelectromechanische systemen, of C-MEMS en C-NEMS, zijn: (i) fotolithografie van een koolstofrijke polymeervoorloper en (ii) pyrolyse van de gevormde polymeervoorloper.

Explore More Videos

3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)Carbon Microelectromechanical SystemsPolymer PrecursorCarbon FabricationCarbon StructuresIsometric ShrinkageCarbon AllotropesGraphiticDiamond-likeGlassy CarbonPolymer Structure FabricationSpin CoatingPhotoresistPhotolithography

Read Article

Cite this Article

Pramanick, B., Martinez-Chapa, S. O., Madou, M., Hwang, H. Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS). J. Vis. Exp. (124), e55649, doi:10.3791/55649 (2017).

Download .ris file

Copy

Share Video

.

Copy