JoVE
JoVE
教师资源中心
科研
行为学
生物化学
生物学
生物工程
癌症研究
化学
发育生物学
工程学
环境科学
遗传学
免疫与感染
医学
神经科学
JoVE 杂志
JoVE 实验百科全书
JoVE Chrome Extension
教育
生物学
化学
Clinical
工程学
环境科学
Pharmacology
物理学
心理学
统计学
JoVE 核
JoVE 科学教育
JoVE 实验室手册
JoVE Quiz
JoVE Business
Videos Mapped to your Course
发表
图书馆员
高中
关于
Sign-In
登录
联系我们
科研
JoVE 杂志
JoVE 实验百科全书
教育
JoVE 核
JoVE 科学教育
JoVE 实验室手册
高中
CN
EN - English
CN - 中文
DE - Deutsch
ES - Español
KR - 한국어
IT - Italiano
FR - Français
PT - Português
CN
EN - English
CN - 中文
DE - Deutsch
ES - Español
KR - 한국어
IT - Italiano
FR - Français
PT - Português
Close
科研
行为学
生物化学
生物工程
生物学
癌症研究
化学
发育生物学
工程学
环境科学
遗传学
免疫与感染
医学
神经科学
Products
JoVE 杂志
JoVE 实验百科全书
教育
生物学
化学
Clinical
工程学
环境科学
Pharmacology
物理学
心理学
统计学
Products
JoVE 核
JoVE 科学教育
JoVE 实验室手册
JoVE Quiz
JoVE Business
与您的课程匹配的视频资源
Teacher Resources
Get in Touch
Instant Trial
Log In
CN
EN - English
CN - 中文
DE - Deutsch
ES - Español
KR - 한국어
IT - Italiano
FR - Français
PT - Português
Journal
/
工程学
/
Parallel Active Cantilever Arrays in AFMS to Enable High-Throughput Inspections
/
Author Spotlight: Introduction to Active Probe Atomic Force Microscopy with Quattro-Parallel Cantilever Arrays
JoVE 杂志
工程学
需要订阅 J
o
VE 才能查看此.
登录或开始免费试用。
JoVE 杂志
工程学
Active Probe Atomic Force Microscopy with Quattro-Parallel Cantilever Arrays for High-Throughput Large-Scale Sample Inspection
Author Spotlight: Introduction to Active Probe Atomic Force Microscopy with Quattro-Parallel Cantilever Arrays
Parallel Active Cantilever Arrays in AFMS to Enable High-Throughput Inspections
DOI:
10.3791/65210-v
•
01:24 min
•
June 13, 2023
•
Fangzhou Xia
,
Kamal Youcef-Toumi
,
Thomas Sattel
,
Eberhard Manske
,
Ivo W. Rangelow
5
1
Mechatronics Research Lab, Department of Mechanical Engineering
,
Massachusetts Institute of Technology
,
2
Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering
,
Ilmenau University of Technology
,
3
Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology
,
Ilmenau University of Technology
,
4
Nanoscale Systems Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology
,
Ilmenau University of Technology
,
5
nano analytik GmbH
Tags
Active Probe
Atomic Force Microscopy
Cantilever Arrays
High-throughput
Large-scale Sample Inspection
Scanning Probe Microscopy
MEMS Probes
Piezoresistive Sensors
Thermomechanical Actuators
Parallel SPM Imaging
High-speed Multichannel Electronics
Nanoscale Surface Studies
Nanofabricated Structures
Semiconductor Wafers
Data-driven Post-processing
Defect Detection
Embed
添加到播放列表
Usage Statistics
Related Videos
Author Spotlight: Introduction to Active Probe Atomic Force Microscopy with Quattro-Parallel Cantilever Arrays
Instrument Calibration, Experimental Setup, and Parameter Tuning for Semiconductor Wafer Topography Imaging with AFM
Read Article