Journal
/
化学
/
Effekten af annodisering parametre på aluminiumoxid dielektriske lag af tyndfilm transistorer
JoVE 杂志
化学
Author Produced
需要订阅 JoVE 才能查看此.  登录或开始免费试用。
JoVE 杂志 化学
The Effect of Anodization Parameters on the Aluminum Oxide Dielectric Layer of Thin-Film Transistors

Effekten af annodisering parametre på aluminiumoxid dielektriske lag af tyndfilm transistorer

DOI:
10.3791/60798-v

•

12:32 min

•

May 24, 2020

•

, , , ,
1School of Technology and Sciences,São Paulo State University – UNESP, 2Scholl of Electronic Engineering,Bangor University, 3Institute of Geosciences and Exact Sciences,São Paulo State University – UNESP

Chapters

  • 00:00Introduction
  • 02:48Preparation of the Electrolytic Solution
  • 03:55Substrate Cleaning
  • 05:24Al Gate Electrode Evaporation
  • 06:31Anodization of the Al Layer
  • 07:41ZnO Active Layer Deposition
  • 08:38Drain and Source Electrodes Deposition
  • 09:36TFT Electrical Characterization
  • 10:09Results
  • 11:22Conclusion

Summary

自动翻译

自动翻译

Annodiseringsparametre for vækst af aluminiumoxiddielektrisk lag af zinkoxid tyndfilmstransistorer (TFTs) er varierede for at bestemme virkningerne på de elektriske parameterreaktioner. Analyse af varians (ANOVA) anvendes på en Plackett-Burman design af eksperimenter (DOE) for at bestemme de produktionsforhold, der resulterer i optimeret enhed ydeevne.

Tags

Aluminum OxideAnodizationThin-film TransistorsDielectric LayerElectrolytic SolutionSubstrate CleaningAluminum Electrode DepositionAnodization ProcessElectrical CharacterizationPlackett-Burman Design Of Experiments

Article

Embed

添加到播放列表

Usage Statistics

Related Videos

Fotokemiske oxidative Vækst af Iridium Oxide Nanopartikler på CdSe @ CdS nanorods

Epitaksial dyrkning af Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition

Virkningen af ​​grænseoverskridende kemisk binding i TiO<sub> 2</sub> -SiO<sub> 2</sub> Kompositter på deres fotokatalytiske NOx-abatementpræstation

Kemisk syntese af porøse Barium Titanate tynd Film og termisk stabilisering af Ferroelectric fase af porøsitet-induceret stamme

Effekten af opladning og afladning Lithium Iron fosfat-grafit celler ved forskellige temperaturer på nedbrydning

Virkningen af Ultraviolet stråling på kemiske bad Deposition af Bis(thiourea) Cadmium chlorid krystaller og den efterfølgende cd'er opnår

Solvothermal syntese af MIL-96 og UiO-66-NH2 på atomare lag deponeret metaloxid belægninger på Fiber måtter

Forberedelse af Polyoxometalate-baseret foto-responderende membraner til foto-aktivering af mangan oxid katalysatorer

Ekstraktion af Lignin med højt indhold af β-O-4 ved Mild Ethanol udvinding og dens virkning på Depolymerization udbyttet

Elektrokemisk Skruening af tynde film platin makro og Mikroelektroder

Read Article