需要订阅 JoVE 才能查看此. 登录或开始免费试用。
Crecimiento epitaxial de perovskita del titanato de estroncio en el germanio a través de deposición de capas atómicas
12,119 Views
•
09:45 min
•
July 26, 2016
DOI:
Summary
Automatically generated
Este trabajo detalla los procedimientos para el crecimiento y caracterización de SrTiO cristalina 3 directamente sobre sustratos de germanio por deposición de capas atómicas. El procedimiento ilustra la capacidad de un método de crecimiento de todos los productos químicos para integrar óxidos monolíticamente en semiconductores para dispositivos semiconductores de óxido de metal.
Read Article
Cite this Article
Lin, E. L., Edmondson, B. I., Hu, S., Ekerdt, J. G. Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition. J. Vis. Exp. (113), e54268, doi:10.3791/54268 (2016).
Copy