Journal
/
化学
/
Эпитаксиального роста перовскита титаната стронция на германии с помощью атомного слоя осаждения
JoVE 杂志
化学
需要订阅 JoVE 才能查看此.  登录或开始免费试用。
JoVE 杂志 化学
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Эпитаксиального роста перовскита титаната стронция на германии с помощью атомного слоя осаждения

DOI:
10.3791/54268-v

•

09:45 min

•

July 26, 2016

•

, , ,
1McKetta Department of Chemical Engineering,The University of Texas at Austin

Chapters

  • 00:05Title
  • 01:20Cleaning the Germanium Substrate
  • 02:46Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
  • 04:30Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
  • 07:23Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
  • 08:41Conclusion

Summary

自动翻译

自动翻译

Эта работа подробно описываются процедуры для роста и характеристики кристаллического SrTiO 3 непосредственно на германиевых подложках путем осаждения атомных слоев. Процедура иллюстрирует способность все-химическим методом роста интеграции оксидов на монолитно полупроводников для полупроводниковых приборов металлооксидных.

Tags

Keywords: Epitaxial GrowthPerovskiteStrontium TitanateGermaniumAtomic Layer DepositionMicroelectronicsDielectricCrystalline OxidesInterface StatesManufacturingPrecursorsMolecular Beam EpitaxySubstrate CleaningUV Ozone CleaningVacuum System

Article

Embed

添加到播放列表

Usage Statistics

Related Videos

check_url/cn/54268?article_type=v

Подготовка гидрофобные Металл-органических структур через плазмостимулированного отложение химического пара перфторалканов для удаления аммиака
check_url/cn/54268?article_type=v

Атомно шаблонов, для эпитаксиального роста сложного оксида тонких пленок
check_url/cn/54268?article_type=v

Синтез и реакции химии наноразмерных Monosodium титаната
check_url/cn/54268?article_type=v

Слой за слоем Синтез и передачи Корпусная сопряженных микропористых полимерных наномембран
check_url/cn/54268?article_type=v

Улучшение качества Гетеропереход в Cu<sub> 2</sub> O на основе солнечных батарей за счет оптимизации атмосферного давления пространственного атомного слоя Деп<br /> Zn<sub> 1-х</sub> Mg<sub> х</sub> O
check_url/cn/54268?article_type=v

Подготовка МАКРОПОРИСТОГО эпитаксиальных пленок кварца на кремнии химический раствор осаждения
check_url/cn/54268?article_type=v

Влияние гибридных методов перовскита на пленке Изготовление формирования, электронная структура и производительность солнечных батарей
check_url/cn/54268?article_type=v

Реактивная парофазное осаждение конъюгированных полимерных пленок на произвольные подложках
check_url/cn/54268?article_type=v

Осаждения пористых сорбентов на ткани опоры
check_url/cn/54268?article_type=v

Solvothermal синтез MIL-96 и UiO-66-NH2 атомного слоя на хранение окиси металла покрытия волокно коврики

Read Article