Journal
/
化学
/
Epitaxial Vekst av Perovskite strontium titanate på Germanium via Atomic Layer Nedfall
JoVE 杂志
化学
需要订阅 JoVE 才能查看此.  登录或开始免费试用。
JoVE 杂志 化学
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition

Epitaxial Vekst av Perovskite strontium titanate på Germanium via Atomic Layer Nedfall

DOI:
10.3791/54268-v

•

09:45 min

•

July 26, 2016

•

, , ,
1McKetta Department of Chemical Engineering,The University of Texas at Austin

Chapters

  • 00:05Title
  • 01:20Cleaning the Germanium Substrate
  • 02:46Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
  • 04:30Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
  • 07:23Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
  • 08:41Conclusion

Summary

自动翻译

自动翻译

Dette arbeidet detaljer prosedyrene for vekst og karakterisering av krystallinsk SrTiO tre direkte på germanium underlag ved atom lag deponering. Fremgangsmåten viser evnen til en all-kjemisk vekst metode for å integrere oksyder monolittisk på halvledere for metall-oksyd-halvlederkomponenter.

Tags

Keywords: Epitaxial GrowthPerovskiteStrontium TitanateGermaniumAtomic Layer DepositionMicroelectronicsDielectricCrystalline OxidesInterface StatesManufacturingPrecursorsMolecular Beam EpitaxySubstrate CleaningUV Ozone CleaningVacuum System

Article

Embed

添加到播放列表

Usage Statistics

Related Videos

check_url/cn/54268?article_type=v

Utarbeidelse av hydrofobe Metal-Organic Frameworks via Plasma Enhanced Chemical Vapor Nedfall av Perfluoroalkanes for fjerning av ammoniakk
check_url/cn/54268?article_type=v

Atomically Definerte Maler for epitaksiale Vekst av Complex Oxide Thin Films
check_url/cn/54268?article_type=v

Syntese og reaksjon Kjemi til nanosize Monosodium titanate
check_url/cn/54268?article_type=v

Lag-på-lag Syntese og overføring av Frittstående Conjugated mikroporøse Polymer Nanomembranes
check_url/cn/54268?article_type=v

Forbedret hetero Kvalitet i Cu<sub> 2</sub> O-baserte solceller gjennom optimalisering av Atmosfærisk trykk Spatial Atomic Layer Deponert<br /> Zn<sub> 1-x</sub> Mg<sub> x</sub> O
check_url/cn/54268?article_type=v

Utarbeidelse av macroporous epitaxial Quartz Spillefilmer på Silicon ved kjemisk løsning Nedfall
check_url/cn/54268?article_type=v

Påvirkning av Hybrid perovskitt fabrikasjon metoder på filmdannelse, Elektronisk struktur og Solar Cell Ytelse
check_url/cn/54268?article_type=v

Reaktiv damp deponering av konjugert Polymer filmer på vilkårlig underlag
check_url/cn/54268?article_type=v

Deponering av porøse Sorbents på stoff støtter
check_url/cn/54268?article_type=v

Solvothermal syntese av MIL-96 og UiO-66-NH2 på Atomic lag avsatt metalloksid belegg på Fiber Mats

Read Article