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Croissance épitaxiale de perovskite Strontium Titanate sur Germanium via Atomic Layer Deposition
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09:45 min
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July 26, 2016
DOI:
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Ce travail détaille les procédures pour la croissance et la caractérisation de SrTiO cristalline 3 directement sur des substrats de germanium par dépôt de couches atomiques. La procédure illustre la capacité d'un procédé de croissance de tous les produits chimiques pour intégrer monolithiquement sur des oxydes semi-conducteurs pour des dispositifs à semiconducteurs métal-oxyde.
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Lin, E. L., Edmondson, B. I., Hu, S., Ekerdt, J. G. Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition. J. Vis. Exp. (113), e54268, doi:10.3791/54268 (2016).
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