Journal
/
/
باستخدام السنكروترون الإشعاع مجهري المعنية بالتحقيق في نطاق متعدد الحزم الإلكترونية الدقيقة ثلاثي الأبعاد
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Using Synchrotron Radiation Microtomography to Investigate Multi-scale Three-dimensional Microelectronic Packages

باستخدام السنكروترون الإشعاع مجهري المعنية بالتحقيق في نطاق متعدد الحزم الإلكترونية الدقيقة ثلاثي الأبعاد

9,891 Views

08:46 min

April 13, 2016

DOI:

08:46 min
April 13, 2016

2 Views
, , , , , ,

Summary

Automatically generated

لهذه الدراسة أشعة السنكروترون الصغيرة التصوير المقطعي، وهي تقنية تصوير غير مدمرة ثلاثية الأبعاد، ويعمل على تحقيق حزمة إلكترونية دقيقة كاملة مع مساحة المقطع العرضي من 16 × 16 مم. بسبب تدفق عالية والسنكروترون وسطوع تم تصوير العينة في غضون 3 دقائق مع القرار المكانية 8.7 ميكرون.

Read Article