هنا ، ونحن وصف بروتوكول لخلق النانو غير العضوية منفصلة ودقيقه علي ركائز باستخدام الاشكال اوريغامي الحمض النووي كقوالب التوجيهية. ويتجلى هذا الأسلوب من خلال خلق الذهب plasmonic هوائيات علي شكل bowtie علي ركيزة شفافة (الياقوت).
توفر تكنولوجيا النانو الهيكلية للحمض النووي طريقا صالحا للبناء من أسفل إلى اعلي باستخدام الحمض النووي كمواد البناء. ويسمي تقنيه nanofabrication الحمض النووي الأكثر شيوعا اوريغامي الحمض النووي ، وانه يسمح تخليق عاليه الانتاجيه من الهياكل الدقيقة وتنوعا للغاية مع دقه نانومتر مستوي. هنا ، فانه يظهر كيف يمكن نقل المعلومات المكانية من الحمض النووي اوريغامي إلى النانو المعدنية من خلال الجمع بين الحمض النووي من أسفل إلى اعلي اوريغامي مع نهج الطباعة الحجرية من اعلي إلى أسفل المستخدمة تقليديا. وهذا يسمح تلفيق المليارات من النانو صغيره في خطوه واحده علي ركائز مختاره. ويتجلى هذا الأسلوب باستخدام القوس الحمض النووي اوريغامي لإنشاء هياكل هوائي علي شكل ربطه المعدنية علي نيرايد السيليكون أو ركائز الياقوت. يعتمد الأسلوب علي النمو الانتقائي لطبقه أكسيد السيليكون علي راس الركيزة ترسب اوريغامي ، مما ادي إلى قناع زخرفه للخطوات الحجرية التالية. ويمكن استخدام هذه الأسطح المجهزة بالنانو كاجهزه استشعار جزيئيه (علي سبيل المثال ، الطيفي المحسن لسطح رامان) وفي مختلف التطبيقات البصرية الأخرى في نطاق الطول الموجي المرئي نظرا لاحجام المعالم الصغيرة (الفرعية 10 نانومتر). ويمكن توسيع نطاق هذه التقنية لتشمل مواد أخرى من خلال التعديلات المنهجية ؛ ولذلك ، فان الأسطح النشطة بصريا الناتجة قد تجد استخدامها في تطوير ميتاماتيريالس و metasurfaces.
وقد تطورت تكنولوجيا النانو الهيكلية الحمض النووي بسرعة خلال العقد الأخير1،2، والتنمية الأكثر تاثيرا في هذا المجال يمكن القول ان اختراع الحمض النووي اوريغامي3،4. تقنيه اوريغامي الحمض النووي يسمح تلفيق تقريبا اي نانوشكل مع الميزات الهيكلية دقيقه3,4. ويمكن استخدام هذه الطريقة القوية في (sub) نانومتر-الترتيب المكاني دقيقه ورسو الكائنات النانو الأخرى ، مثل الأنابيب النانويه الكربونية5، النانويه المعدنية6،7،8، 9، الانزيمات/البروتينات10،11،12،13 والمواد العلاجية14،15،16،17 . والاهم من ذلك ان هذه الهياكل ليست جامده فحسب ، ولكن يمكن برمجتها أيضا للعمل بطريقه ديناميكية18و19. التطبيقات التي لا تعد ولا تحصي من الحمض النووي اوريغامي نطاق من تسليم المخدرات20،21،22 إلى الكترونيات الجزيئية/plasmonics5،23،24، 25 ومن [متريلس] علم26,27 إلى رواية تصوير ومعايره تقنيات28.
والي جانب التطبيقات المذكورة أعلاه ، يمكن تسخير الدقة المكانية المتطرفة من الاشكال اوريغامي الحمض النووي في نانوباتيرنينج وحساسة الطباعة الحجرية النانو29،30. يصف هذا البروتوكول أسلوب الطباعة الحجرية لإنشاء النانو غير العضوية المنفصلة والدقيقة علي ركائز باستخدام قوالب اوريغامي الحمض النووي. هذه القوالب يمكن ان تنتج بكفاءة في مختلف الاشكال وبكميات كبيره31، وأودعت جهد علي ركائز مختاره علي نطاقات واسعه32. هذه الخصائص تسمح تلفيق موازيه للغاية من المليارات من النانو في خطوه واحده بدلا من استخدامها بشكل شائع ولكن بطيئه بالأحرى الطباعة الحجرية شعاع الكترون أو غيرها من تقنيات nanofabrication المسح القائم.
هنا ، يتم التدليل علي عمليه التصنيع من خلال إنشاء هياكل الذهب علي شكل bowtie علي نيرايد السيليكون وركائز الياقوت. وبعبارة أخرى ، يتم نقل المعلومات المكانية من الحمض النووي اوريغامي إلى النانو المعدنية تماما. كما نوقشت هنا ، لا تقتصر هذه التقنية علي هيكل اوريغامي المحددة الحمض النووي لان الطريقة تمكن من استخدام اي شكل من اشكال اوريغامي الحمض النووي تقريبا. وعلاوة علي ذلك ، مع التعديلات المنهجية ، ويمكن توسيع هذه التقنية إلى مختلف المعادن وركائز تمهيد الطريق نحو تصنيع metasurfaces33.
السطوح منقوشة مع الحمض النووي اوريغامي–بوساطة تلفيق قد تكون بمثابه أجهزه استشعار متعددة الاستخدامات. علي سبيل المثال ، فانها يمكن ان تستخدم في تحسين السطح الطيفي رامان (الموزعين). ونتيجة للابعاد الصغيرة لاشكال النانو الفردية ، قد تجد الأسطح التي تم إنشاؤها استخدامات في التطبيقات البصرية والبلازما في نطاق الطول الموجي المرئي.
البروتوكول يوفر حريه كبيره ودقه في شكل النانو المنتجة. عن طريق تغيير تصميم اوريغامي الحمض النووي ، يمكن التحكم في شكل النانو المعدنية. يتم تحديد الشكل النهائي والدقيق للهياكل المعدنية بالاضافه إلى ذلك عن طريق خطوه النمو قناع (الخطوة 9) والي درجه اقل من النقش قناع (الخطوة 10) ينبغي ان لا يكون متباين الخواص. إذا تم تمديد الوقت قناع النمو بما فيه الكفاية ، فان الثقوب في القناع تبدا في النمو إغلاق. ويمكن استخدام هذا لحذف الميزات أنحف من بعض الهياكل والتحكم في احجام الفجوة ، كما هو موضح في شن وآخرون34 مع مثلثات مفصوله من اوريغامي ربطه (الاشكال 5b). وعلي العكس من ذلك ، يمكن الحفاظ علي الاشكال ارق أفضل من خلال تقصير وقت النمو أكسيد. وهذا يعني انه من الممكن لضبط الخصائص البصرية المعروضة في الشكل 6، وليس فقط عن طريق تغيير تصميم اوريغامي المستخدمة ، ولكن أيضا عن طريق ضبط النمو السينمائي سيو2 .
إذا تم تغيير سمك قناع بشكل ملحوظ ، يجب ان ينعكس هذا التغيير أيضا في الخطوة SiO2 RIE. فقط طبقه رقيقه جدا من سيو2 يجب ان تكون محفورة (2-5 nm) لاختراق بالبالكاد من خلال ثقوب القناع. هذا هو الجزء الأكثر حساسية وحاسمه من العملية برمتها. منذ النقش الوقت قصيرة للغاية ، فقط 10-20 s ، يجب تحديد الإعدادات الدقيقة بالتجربة عند محاولة لأول مره مع المعدات الجديدة. وهذا ينطبق أيضا علي الخطوة 10.4 كما تم محفورا بعض سيو2 خلال النقش ا-Si. يتم تحديد مدي المحفورة سيو2 من قبل انتقائية من المعلمات المستخدمة ا-Si حفر ، والمعدات وحتى معايره المعدات الفردية. وينبغي الحرص علي عدم الحفر بعيدا عن كامل الطبقةالثانية خلال هاتين العمليتين.
خطوه حساسة أخرى هي النمو سيو2 . عمليه النمو تعتمد علي كل من الرطوبة الغرفة والنشاط الحالي لل TEOS المستخدمة. TEOS يحط كما انه يمتص المياه من الهواء ، مما تسبب في ان تصبح اقل فعاليه مع التقدم في السن. ويمكن ان يظهر هذا المعدل بشكل إبطا بكثير ، واقل تحكما في النمو في غضون أشهر حتى مع التخزين السليم لهذه المادة الكيميائية. 34 إذا كانت طبقه سيو2 الناتجة ارق من المقصود ، فان هذا يمكن ان يشير إلى وجود مشكله في teos بدلا من رطوبة الغرفة. في حين ان انخفاض الرطوبة يمكن ان يؤدي أيضا إلى انخفاض معدل النمو وارق الفيلم ، يجب ان يكون الفيلم الناتج أيضا أكثر سلاسة من المعتاد. وفي الوقت نفسه الخشنة الحبيبات وطبقه خشنه علي العكس تشير إلى وجود مشكله مع ارتفاع نسبه الرطوبة.
ومن الممكن أيضا لتنفيذ هذا البروتوكول علي اي الركيزة الأخرى المختارة بحريه مع اثنين من المتطلبات: يجب ان تتسامح مع كل النقش HF (الخطوة 12) ودرجات الحرارة 200-300 °C من PECVD (الخطوة 6). ويمكن خفض درجه الحرارة بأمان إلى 100 درجه مئوية لل PECVD من ا-Si إذا تم استخدام ركيزة أكثر حساسية ، ولكن لا يمكن تجنب HF إذا تم اتباع البروتوكول بالبالضبط كما هو موضح. وللالتفاف علي التردد الHF ، سيلزم تطبيق طبقه اضافيه من الذبيحة. إذا تمت أزاله متطلبات النقش HF ، وهذا البروتوكول تصبح متوافقة مع مجموعه أوسع من المواد الركيزة والمعادن.
وبما ان هذا البروتوكول يتكون من العمليات الصغرى والقوية التي يشيع استخدامها ، فانه يمكن دمجها مع اي عدد من بروتوكولات التصنيع المجهري الأخرى التي ترغب فيها احجام الميزات الصغيرة والاشكال المعدنية المعقدة. في المستقبل القريب ، وخاصه مع مجيء منخفضه التكلفة الحمض النووي اوريغامي الكتلة الإنتاج31، وهناك احتمال لهذا الأسلوب لتسهيل كل من الاستخدام العام والانتاجيه العالية نانوباتيرنينج للنانوفوتونيكس القائم علي واجهه والبلازما55 .
The authors have nothing to disclose.
وقد حظي هذا العمل بدعم اكاديميه فنلندا (المشاريع 286845 ، 308578 ، 303804 ، 267497) ، ومؤسسه جين واياتوس ايركو ، ومؤسسه سايغريد جوييوس. وقد تم القيام بهذا العمل في اطار برنامج اكاديميه مراكز التميز في فنلندا (2014 – 2019). ونحن نعترف بتوفير المرافق والدعم التقني من قبل جامعه Aalto مرافق الاقتصاد الحيوي و OtaNano-مركز نانوميكروسكوبي (التو-السيد) ومركز ميكرونوفا Nanofabrication.
Acetone | Honeywell | 40289H | Semiconductor grade ULSI, ≥ 99.5 % |
Agarose | Fisher Bioreagents | 1036603 | Low-EEO, multi-purpose and molecular biology grade |
Ammonium hydroxide | Fisher Chemical | 10652251 | 25 % ammonia solution, Certified AR for Analysis, d = 0.91 |
BRANSON 5510 | Branson | Ultrasonic bath | |
Dimension Icon | Bruker | Atomic force microscope | |
Electron-beam evaporator IM-9912 | Instrumentti Mattila | Evaporator for PVD | |
Ethidium bromide | Sigma Aldrich | E8751 | Fluorescent dye for DNA staining |
Eon Microplate spectrophotometer | BioTek | UV/Vis spectrophotometer used for DNA origami concentration measurements | |
Gel Doc XR+ Documentation System | BioRad | Gel imaging system | |
Gel Loading Dye, Blue (6×) | New England Biolabs | B7021S | Bromophenol blue-based loading dye for agarose gel electrophoresis |
G-storm GS1 Thermal cycler | Gene Technologies | ||
HBR 4 | IKA | Heating bath | |
Hydrofluoric acid | Honeywell | 40213H | Semiconductor grade, 49.5-50.5 % |
Isopropanol | Honeywell | 40301H | Semiconductor grade VLSI, ≥ 99.8 % |
Magnesium chloride | Sigma Aldrich | M8266 | Anhydrous, ≥ 98 % |
Mini-Sub Cell GT Horizontal Electrophoresis System | BioRad | ||
Plasmalab 80+ PECVD | Oxford Instruments | PECVD system | |
Plasmalab 80+ RIE | Oxford Instruments | RIE system | |
Poly(ethylene glycol) | Sigma Aldrich | 89510 | BioUltra, 8,000 |
PowerPac HC High-Current Power Supply | BioRad | ||
Sapphire substrate (Al2O3) | University Wafer | Thickness: 430 μm, Polish: DSP, Size: 50.8 mm | |
Sigma VP | Zeiss | Scanning electron microscope | |
Silica gel | Merck | 1019691000 | With indicator (orange gel), granulate ~1-3 mm |
Single-stranded Scaffold DNA, type p7249 | Tilibit Nanosystems | At 100 nM concentration | |
Sodium chloride | Sigma Aldrich | S9888 | ACS reagent, ≥ 99.0 % |
Staple strands (oligonucleotides) | Integrated DNA Technologies | Sequences can be ordered e.g. at 100 micromolar in Rnase-free water | |
TAE buffer (50×) pH 8.0 | VWR Chemicals | 444125D | Electran Electrophoresis grade |
Take3 micro-volume plate | BioTek | Used for DNA origami concentration measurements | |
Tetraethyl orthosilicate | Sigma Aldrich | 86578 | ≥ 99.0 % (GC) |