We describe a method for the fabrication of large-area (up to 13 cm diameter) and ultrathin (as thin as 8 nm) polymer films. Instead of using a sacrificial interlayer to delaminate the film from its substrate, we use a self-limiting surface treatment suitable for arbitrarily large areas.
This procedure describes a method for the fabrication of large-area and ultrathin free-standing polymer films. Typically, ultrathin films are prepared using either sacrificial layers, which may damage the film or affect its mechanical properties, or they are made on freshly cleaved mica, a substrate that is difficult to scale. Further, the size of ultrathin film is typically limited to a few square millimeters. In this method, we modify a surface with a polyelectrolyte that alters the strength of adhesion between polymer and deposition substrate. The polyelectrolyte can be shown to remain on the wafer using spectroscopy, and a treated wafer can be used to produce multiple films, indicating that at best minimal amounts of the polyelectrolyte are added to the film. The process has thus far been shown to be limited in scalability only by the size of the coating equipment, and is expected to be readily scalable to industrial processes. In this study, the protocol for making the solutions, preparing the deposition surface, and producing the films is described.
Autoportante películas poliméricas delgadas se utilizan en una variedad de aplicaciones, incluyendo sensores, 1-3 MEM, la catálisis o filtración, 4 y la ingeniería de tejidos. 8.5 También se utilizan para estudios fundamentales que exploran el comportamiento de los polímeros en un espacio limitado. 9- 13 Una película independiente es uno que está soportado sobre un sustrato no continuo, tal como un anillo anular o aro en contraposición a una oblea de silicio o portaobjetos de vidrio. Este trabajo describe un procedimiento sencillo y repetible para la fabricación de películas de polímeros ultrafinos exentas que es adecuado para películas de gran superficie o la producción de alto rendimiento. Es compatible con una variedad de diferentes polímeros, incluyendo poli (vinil formal), poliestireno y poli (metacrilato de metilo). Se puede utilizar para fabricar películas de pie libres que son tan grandes como 13 cm de diámetro o tan delgado como 10 nm.
La fabricación de polímeros exentas consiste en tres pasos básicos: 1) deposition de película de polímero sobre un sustrato tradicional tal como una oblea o diapositiva, 2) la liberación o el despegue de la película del sustrato, y 3) la captura de la película resultante sobre un soporte. En este trabajo se detalla un procedimiento que se informó en un estudio anterior sobre diversos métodos de liberación. 14
La deposición se puede lograr por cualquier número de tecnologías de película de polímero finas básicas tales como spin-revestimiento, deposición de vapor, o recubrimiento por inmersión. En este trabajo, utilizamos técnicas spin-revestimiento estándar.
El "flotar fuera del ascensor en" técnica es el método más común para la liberación de una película ultrafina de su sustrato. 15 En esta técnica, la película y el sustrato se sumergen en un baño de disolvente adecuado. El disolvente se hincha la película e induce la delaminación espontánea, la liberación de la película y permitiendo que flote a la parte superior de la bañera. El espesor mínimo de película que puedeser liberados mediante ascensor fuera de flotador en está determinada por el equilibrio de la energía peeling interfacial con la energía de deformación inducida por la inflamación-: 16
(1)
Donde L es el espesor de la película, ν f es la relación de la película de Poisson, E es el módulo de Young de la película, ξ es la relación de hinchamiento de la película, y γ es la energía interfacial de pelar. La forma típica de eludir la limitación impuesta por la ecuación (1) es depositar una capa intermedia sacrificial entre la película y el sustrato de deposición. 17-20 Cuando esta capa intermedia se disuelve en un baño de disolvente, la película se libera y puede ser capturada sobre un soporte . Un método relacionado es el método sobrecapa sacrificial, que utiliza pelado mecánico de la película sobre una capa de sacrificio prIOR a la disolución. 21
El uso de materiales de sacrificio tiene varios inconvenientes principales. En primer lugar, la adición de un material de proceso adicional y paso puede requerir un compromiso entre las condiciones de fabricación de película óptimas y condiciones de procesamiento material de sacrificio. En segundo lugar, los materiales de sacrificio pueden ser difíciles de depósito sin afectar a las propiedades mecánicas o la pureza de la película independiente final. En tercer lugar, el proceso para depositar el material de sacrificio debe ser optimizado y monitoreado por la calidad como una operación en la fabricación total de la película de independiente. 14
En este trabajo se describe una técnica de modificación de la superficie que disminuye la energía interfacial pelado, lo que permite el ascensor fuera de flotador en la técnica que se utiliza para las películas ultrafinas. El sustrato de deposición es modificado por el montaje de un autolimitada, la auto-optimización casi monocapa del cloruro polydiallyldiammonium policatión (PDAC). Debido a lafuerza de la unión entre el policatión y el sustrato, esta modificación de la superficie es robusto a pasos de proceso subsiguientes. La naturaleza autolimitante y la auto-optimización de la formación cercana a la monocapa requiere prácticamente nula optimización y es fácilmente escalable a grandes áreas.
Después de la retirada, la película flota en la superficie del baño de disolvente en el que se captura en un soporte de aro. Si bien no se da mucha atención en la literatura existente, en este trabajo vamos a describir las técnicas para la captura de películas de gran superficie sobre soportes que reducen la probabilidad de romper o dañar de otro modo la película.
El tratamiento sustrato PDAC se basa en las interacciones electrostáticas auto-limitación, es decir, los sustratos de cualquier tamaño pueden ser tratados siempre con facilidad que tienen carga negativa (por ejemplo, silicio o vidrio). Figuras 1-2 muestra muy grandes películas delgadas (hasta 13 cm de diámetro) fabricados utilizando este protocolo, con el único cambio es el volumen de los reactivos utilizados. El tamaño final alcanzable parece estar limitada sólo por el equipo de deposi…
The authors have nothing to disclose.
Este trabajo realizado bajo los auspicios del Departamento de Energía de Estados Unidos por el Laboratorio Nacional Lawrence Livermore bajo contrato DE-AC52-07NA27344.
Vinylec E | SPI | ||
ethyl lactate, >98%, FCC, FG, | Sigma-Aldrich | W244007-1KG-K | |
4" silicon wafers <100>, Single side polished | International Wafer Service | ||
sulfuric acid, 98%, ACS reagent grade | Sigma-Aldrich | 320501-6X500ML | |
hydrogen peroxide, 30%, semiconductor grade | Sigma-Aldrich | 316989-3.7L | |
isopropanol, ACS grade, 4 L | Fisher Scientific | A464-4 | |
dichloromethane, ACS grade | Alfa-Aesar | 22917 | |
deionized water , distilled | |||
PDAC reagent (Sigma-Aldrich 409014) | Sigma-Aldrich | 409014 | |
Spin Coater | Laurell Technologies | WS-650-23 | |
Barnstead/Thermolyne Super Nuova explosion-proof hot plate | |||
explosion-proof forced air oven | VWR | 1330 FMS | |
balance with a range of 1 mg to 1020 g | Mettler Toledo | MS1003S | |
reflectance spectrometer | Filmetrics | F20-UV | |
manipulator consisting of a Klinger tilt stage, a Brinkman rack-and-pinion and a lab jack | |||
Cutting tool/template, LLNL-built, no drawings | |||
straight edge, LLNL, no drawings | |||
Tent hoop, LLNL | |||
culture dish 190 mm x 100 mm, Pyrex | VWR | ||
20 ml beaker, Pyrex | VWR | ||
250 ml beaker, Pyrex | VWR | ||
1000 ml beaker, Pyrex | VWR | ||
60 ml glass vial with plastic stopper | VWR | ||
petri dish, 150 mm diameter x2, Pyrex | VWR | ||
600 ml beaker x2, Pyrex | VWR | ||
tweezers, stainless steel | |||
cutting blade | Exacto | ||
clean room wipes | Contec | PNHS-99 | |
polyester knit 9/91 IPA/DI water wipes | Contec | Prosat | |
Fluoroware wafer trays | Ted Pella | 1395-40 | |
Nylon Micro fiber (camel hair) | |||
Disposable BD 3-mL plastic syringe | VWR | ||
0.2 um Luer-lock PTFE filters | Acrodisc | ||
0.45 um Luer-lock PTFE filters | Acrodisc |