1Mechatronics Research Lab, Department of Mechanical Engineering,Massachusetts Institute of Technology, 2Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering,Ilmenau University of Technology, 3Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology,Ilmenau University of Technology, 4Nanoscale Systems Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology,Ilmenau University of Technology, 5nano analytik GmbH
Grootschalige steekproefinspectie met nanoschaalresolutie heeft een breed scala aan toepassingen, met name voor nanogefabriceerde halfgeleiderwafers. Atoomkrachtmicroscopen kunnen hiervoor een geweldig hulpmiddel zijn, maar worden beperkt door hun beeldvormingssnelheid. Dit werk maakt gebruik van parallelle actieve cantilever-arrays in AFM’s om inspecties met een hoge doorvoer en op grote schaal mogelijk te maken.
