Aquí, presentamos un protocolo para realizar experimentos in situ de reacción de gas de célula cerrada TEM mientras se detallan varios métodos de preparación de muestras de uso común.
Las reacciones de gas estudiadas por microscopía electrónica in situ se pueden utilizar para capturar las transformaciones morfológicas y microquímicas en tiempo real de los materiales a escalas de longitud hasta el nivel atómico. Los estudios in situ de reacción de gas de células cerradas (CCGR) realizados utilizando microscopía electrónica de transmisión (STEM) (de barrido) pueden separar e identificar reacciones dinámicas localizadas, que son extremadamente difíciles de capturar utilizando otras técnicas de caracterización. Para estos experimentos, utilizamos un soporte CCGR que utiliza microchips de calefacción basados en sistemas microelectromecánicos (MEMS) (en lo sucesivo denominados “E-chips”). El protocolo experimental descrito aquí detalla el método para realizar reacciones de gas in situ en gases secos y húmedos en un STEM corregido por aberración. Este método encuentra relevancia en muchos sistemas de materiales diferentes, como la catálisis y la oxidación a alta temperatura de materiales estructurales a presión atmosférica y en presencia de varios gases con o sin vapor de agua. Aquí, se describen varios métodos de preparación de muestras para varios factores de forma de materiales. Durante la reacción, los espectros de masas obtenidos con un sistema de analizador de gases residuales (RGA) con y sin vapor de agua validan aún más las condiciones de exposición al gas durante las reacciones. La integración de un RGA con un sistema CCGR-STEM in situ puede, por lo tanto, proporcionar información crítica para correlacionar la composición de gases con la evolución dinámica de la superficie de los materiales durante las reacciones. Losestudios insitu/operando que utilizan este enfoque permiten una investigación detallada de los mecanismos fundamentales de reacción y cinética que se producen en condiciones ambientales específicas (tiempo, temperatura, gas, presión), en tiempo real, y a alta resolución espacial.
Es necesario obtener información detallada sobre cómo un material sufre cambios estructurales y químicos bajo exposición reactiva a gases y a temperaturas elevadas. La microscopía electrónica de transmisión (STEM) de reacción de gas de celda cerrada in situ (CCGR) se desarrolló específicamente para estudiar los cambios dinámicos que ocurren en una amplia gama de sistemas de materiales (por ejemplo, catalizadores, materiales estructurales, nanotubos de carbono, etc.) cuando se someten a temperaturas elevadas, diferentes ambientes gaseosos y presiones desde el vacío hasta la presión atmosférica completa1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,11,12. Este enfoque puede ser beneficioso en varios casos, por ejemplo, en el desarrollo acelerado de catalizadores de próxima generación que son importantes para una serie de procesos de conversión industrial, como la conversión de un solo paso de etanol a n-butenos sobre Ag-ZrO2/SiO213,catalizadores para la reacción de reducción de oxígeno y la reacción de evolución del hidrógeno en aplicaciones de pilas de combustible14,15,hidrogenación catalítica de CO2 16,deshidrogenación de metanol a formaldehído o deshidratación a dimetil éter que utilizan catalizadores metálicos o nanotubos de carbono de paredes múltiples en una reacción de conversión de metanol en presencia de oxígeno17. Las aplicaciones recientes de esta técnica in situ para la investigación de catálisis1,2,7,8,10,11,12,18,19,20,21,22 han proporcionado una nueva visión de los cambios de forma dinámica del catalizador10,11,23,facetado7,crecimiento y movilidad8,20,24. Además, el CCGR-STEM in situ se puede utilizar para investigar el comportamiento de oxidación a alta temperatura de materiales estructurales que están expuestos a entornos agresivos, desde motores de turbinas de gas hasta reactores de fisión y fusión de próxima generación, donde no solo la resistencia, la tenacidad a la fractura, la soldabilidad o la radiación son importantes, sino también la resistencia a la oxidación a alta temperatura25,26,27,28,29. Específicos de las aleaciones estructurales, los experimentos CCGR-STEM in situ permiten el seguimiento dinámico de la migración de límites de grano inducida por difusión en condiciones de reducción9 y mediciones de cinética de oxidación a alta temperatura5,6,30. Durante varias décadas antes del reciente desarrollo de las tecnologías CCGR, los estudios de reacción de gas in situ se llevaron a cabo utilizando TEMs ambientales dedicados (E-TEMs). Anteriormente se ha abordado una comparación detallada de E-TEM y CCGR-STEM10; por lo tanto, las capacidades de E-TEM no se examinan más a fondo en el presente trabajo.
En este trabajo, se utilizó un sistema disponible comercialmente(Tabla de Materiales)que comprende un colector controlado por computadora (sistema de suministro de gas) y un soporte CCGR TEM especialmente diseñado que utiliza un par de dispositivos de microchip de silicio basados en microelectromecánicos (MEMS) (por ejemplo, chip espaciador y calentador “E-chip”(Tabla de materiales)). Cada E-chip soporta una membrana amorfa, transparente a electrón SixNy. El chip espaciador tiene una membrana SixNy de 50 nm de espesor con un área de visualización de 300 x 300μm 2 y contactos “espaciadores” fotorresistes a base de epoxi (SU-8) de 5 μm de espesor que son microfabricados para proporcionar una ruta de flujo de gas y mantener un desplazamiento físico entre los dos microchips emparejados(Figura 1A). Una porción del E-chip está cubierta con una membrana cerámica de SiC de baja conductividad de ~ 100 nm; la membrana tiene una matriz de 3 x 2 de agujeros grabados de 8 μm de diámetro superpuestos por una membrana amorfa de SixNy de ~30 nm de espesor (área de visualización de SixNy) (Figura 1A y Figura 2D), a través de la cual se graban imágenes. El E-chip cumple una doble función como soporte de la muestra y calentador6. Los contactos Au se microfabrican en el E-chip para permitir el calentamiento resistivo de la membrana de SiC. Cada E-chip está calibrado utilizando métodos de imagen de radiación infrarroja (IR)(Tabla de Materiales)2 y se ha demostrado que es preciso dentro de ±5%31. La calibración de la temperatura es independiente de la composición y la presión del gas, lo que proporciona un control independiente sobre las temperaturas de reacción en cualquier condición de gas elegida. La ventaja de un calentador de película delgada es que se pueden alcanzar temperaturas de hasta 1.000 °C en milisegundos. Para realizar la reacción, el E-chip se coloca en la parte superior del chip espaciador, creando el “sándwich” de celda cerrada que aísla el ambiente alrededor de la muestra del alto vacío de la columna TEM. La ventaja de esta configuración es que las reacciones se pueden realizar desde bajas presiones hasta presión atmosférica (760 Torr) con gases únicos o mixtos y en condiciones estáticas o de flujo. Los dispositivos MEMS están asegurados con una abrazadera (Figura 1B) que permite insertar el soporte dentro del espacio del tamaño de un milímetro de la pieza del polo de la lente objetivo en un instrumento S/TEM corregido por aberración (Tabla de Materiales) ( Figura1C). Los soportes S/TEM in situ modernos incluyen tubos micro-fluídicos integrados (capilares) que están conectados a la tubería externa de acero inoxidable, que a su vez está conectada al sistema de suministro de gas (colector). Un sistema de control electrónico permite la entrega controlada y el flujo de gas reactivo a través de la celda de gas. El flujo de gas y la temperatura son operados por un paquete de software personalizado basado en el flujo de trabajo proporcionado por el fabricante(Tabla de materiales)10,32. El software controla tres líneas de entrada de gas, dos tanques internos de suministro de gas experimental y un tanque receptor para el flujo de gas que regresa de la celda durante el experimento (Figura 1D).
Debido a la variabilidad de los materiales y su factor de forma, primero nos centramos en varios métodos de deposición de muestras en el E-chip, luego esbozamos protocolos para realizar experimentos cuantitativos in situ/operando con temperatura controlada, mezcla de gases y flujo.
En el presente trabajo, se demuestra un enfoque para realizar reacciones STEM in situ con y sin vapor de agua. El paso crítico dentro del protocolo es la preparación del chip E y el mantenimiento de su integridad durante el procedimiento de carga. La limitación de la técnica es (a) el tamaño de la muestra y su geometría para ajustarse a la brecha nominal de 5 μm entre los dispositivos de microchip de silicio emparejados (MEMS) basados en (b), así como (b) una presión total utilizada en los experimentos …
The authors have nothing to disclose.
Esta investigación fue patrocinada principalmente por el Programa de Investigación y Desarrollo Dirigido por Laboratorio del Laboratorio Nacional Oak Ridge (ORNL), administrado por UT-Battelle LLC, para el Departamento de Energía de los Estados Unidos (DOE). Parte del desarrollo para introducir vapor de agua en la celda de gas in situ fue patrocinado por el DOE de los Estados Unidos, la Oficina de Eficiencia Energética y Energía Renovable, la Oficina de Tecnologías de Bioenergía, bajo el contrato DE-AC05-00OR22725 (ORNL) con UT-Battle, LLC, y en colaboración con el Consorcio de Catálisis Química para bioenergía (ChemCatBio), miembro de la Red de Materiales Energéticos (REM). Este trabajo fue escrito en parte por el Laboratorio Nacional de Energía Renovable, operado por Alliance for Sustainable Energy, LLC, para el DOE de los Estados Unidos bajo el Contrato No. DE-AC36-08GO28308. Parte de la microscopía se llevó a cabo en el Centro de Ciencias de Materiales de Nanofase (CNMS), que es una instalación de usuario de la Oficina de Ciencia del DOE. El desarrollo temprano de capacidades STEM in situ fue patrocinado por el Programa de Materiales de Propulsión, Oficina de Tecnologías de Vehículos, DOE de EE. UU. Agradecemos al Dr. John Damiano, Protochips Inc., por sus útiles discusiones técnicas. Los autores agradecen a Rosemary Walker y Kase Clapp, equipo de producción de ORNL, por su apoyo con la producción de películas. Las opiniones expresadas en este artículo no representan necesariamente las opiniones del Departamento de Trabajo o del Gobierno de los Estados Unidos. El Gobierno de los Estados Unidos retiene y el editor, al aceptar el artículo para su publicación, reconoce que el Gobierno de los Estados Unidos conserva una licencia mundial no exclusiva, pagada, irrevocable y no exclusiva para publicar o reproducir la forma publicada de esta obra, o permitir que otros lo hagan, para fines del Gobierno de los Estados Unidos.
Atmosphere Clarity Software | Protochips | 6.5.14 | |
Atmosphere Large Heating E-chips, 300 x 300 window, no spacer | Protochips | EAT-33AA-10 | microchip device |
Atmosphere Small E-chips, 300 x 300 micron window, 5 micron SU-8 spacer | Protochips | EAB-33W-10 | microchip device |
JEOL 2200FS | JEOL | microscope | |
M-bond 610 | Electron Microscopy Sciences | 50410-30 | cyanoacrylate (CA) glue |
Mikron M9103 IR camera | Micron | This is used by Protochips/ not available | |
Protochips “Fusion” E-chips | Protochips | spacer chip with removed SixNy membrane | |
Protochips Atmosphere 200 | Protochips | prototype | software |
Residual Gas Analyzer R100 (RGA) | Stanford Research Systems | R100 SRS |