Summary

Gelijktijdige meerdere oppervlakte Anodizations en trap-achtige omgekeerde vertekeningen detachement van Anodic aluminium stikstofoxiden in zwavelzuur en oxaalzuur elektrolyt

Published: October 05, 2017
doi:

Summary

Een protocol voor het fabriceren van nanoporeuze anodic aluminium stikstofoxiden via gelijktijdig meerdere oppervlakken anodisatie gevolgd door trap-achtige omgekeerde vertekeningen detachementen wordt gepresenteerd. Het kan herhaaldelijk worden toegepast op de dezelfde aluminium substraat, een facile tentoonstellen, hoge opbrengst en ecologisch schoon strategie.

Abstract

Na rapportage over de twee stappen anodisatie, nanoporeuze anodic aluminium stikstofoxiden (AAOs) hebben grote schaal gebruikt in het veelzijdige gebied van fundamentele wetenschappen en industriële toepassingen als gevolg van hun periodieke regeling van nanopores met relatief hoge hoogte-breedteverhouding. Echter de technieken tot nu toe gerapporteerd die kon worden alleen geldig voor mono-oppervlak anodisatie, Toon kritische nadelen, dat wil zeggen, tijdrovende evenals ingewikkelde procedures, te verplichten op giftige chemische stoffen, en verspilling van waardevolle natuurlijke hulpbronnen . In deze paper tonen we een facile, efficiënte en milieuvriendelijke schone methode om te fabriceren nanoporeuze AAOs in zwavelzuur en oxaalzuur zure elektrolyten, die kunnen overwinnen van de beperkingen die voortvloeien uit conventionele AAO fabriceren van methoden. Eerste, meervoud AAOs worden geproduceerd op een bepaald moment door gelijktijdige meerdere oppervlakken anodisatie (SMSA), met vermelding van de mass-producibility van de AAOs met vergelijkbare kwaliteiten. Ten tweede, deze AAOs kunnen worden gescheiden van het substraat aluminium (Al) door trap-achtige omgekeerde vooroordelen (SRBs) toe te passen in de dezelfde elektrolyt gebruikt voor de SMSAs, eenvoud en groen technologische kenmerken impliceren. Tot slot kan een reeks van de eenheid die bestaat uit de SMSAs opeenvolgend gecombineerd met SRBs gebaseerde detachement herhaaldelijk worden toegepast op de dezelfde Al substraat, die de voordelen van deze strategie versterkt en ook garandeert het efficiënt gebruik van natuurlijke hulpbronnen.

Introduction

AAOs die werden gevormd door het anodiseren Al substraat in een zure elektrolyt, hebben grote belangstelling in diverse fundamentele wetenschap en industrie, bijvoorbeeld hard sjablonen voor nanotubes/nanowires1,2,3 , 4 , 5, energie-opslag apparaten6,7,8,9, bio-sensing10,11, filteren van toepassingen12,13 , 14, maskers voor verdamping en/of etsen15,16,17, en capacitieve vochtigheid sensoren18,19,20,21 ,22, als gevolg van hun zelf bestelde honingraatstructuur, hoge hoogte-breedteverhouding van nanopores en superieure mechanische eigenschappen23. Zij moeten voor de toepassing van de nanoporeuze AAOs om deze verschillende toepassingen, vrijstaande vormen met een sterk en lange-afstands geordende matrix van nanopores. In dit verband strategieën voor het verkrijgen van AAOs moeten rekening houden met zowel de vorming (anodiseren) en de scheiding (losmaken) procedures.

In het gezichtspunt van de AAO-formatie was milde anodisatie (hierna genoemd als MA) goed ingeburgerd onder fosforzuur, zwavelzuur en oxaalzuur zure elektrolyten23,24,25,26 ,27. Echter, MA processen tentoongesteld laag-opbrengsten van AAO fabricage vanwege hun trage groei afhankelijk van relatief lage intensiteiten van anodic spanningen, die verder door middel van een proces van twee stappen MA verslechteren zou voor de verbetering van de periodiciteit van de nanopores’28 ,29. Dus werden harde anodisatie (HA) technieken voorgesteld als alternatieven voor MA door toepassen van hogere anodic spanningen (oxaalzuur/zwavelzuur zuur elektrolyt) of het gebruik van meer geconcentreerde elektrolyt (fosforzuur)30,31, 32,33,34,35,,36,,37,38,39,40. HA tonen processen verschillende verbeteringen van groeicijfers, alsmede periodieke regelingen, overwegende dat als gevolg AAOs werd meer kwetsbaar, en de dichtheid van nanopores waren verlaagd30. Bovendien, is een dure koelsysteem vereist voor het absorberen van Joule verwarming veroorzaakt door hoge stroomdichtheid31. Deze resultaten beperken de mogelijke toepasbaarheid van de AAOs via HA processen.

Voor een AAO scheiden van het betreffende oppervlak van de plaat Al, werd selectieve chemische etsen van de resterende Al substraat wijdst gebruikt in zowel de MA en HA processen met behulp van giftige chemische stoffen, zoals koper chloride35,39 ,41,42 of kwik chloride16,17,43,44,45,46, 47 , 48 , 49. echter, deze methode induceert nadelige bijwerkingen, bijvoorbeeld, een langere reactietijd evenredig zijn aan de resterende dikte van het Al, verontreiniging van AAO door zware metaal ionen, schadelijke residuen aan menselijke lichaam/natuurlijke omgevingen , en het inefficiënt gebruik van waardevolle hulpbronnen. Daarom zijn veel pogingen zijn gedaan voor het realiseren van directe detachement van een AAO. Hoewel zowel kathodische spanning delaminatie50,51 en anodic spanning pulse detachement7,41,42,52, 53,54,55 presenteren een verdienste dat de resterende Al substraat kan worden hergebruikt, de voormalige techniek duurt bijna vergelijkbaar met die in chemische etsen methoden50. Ondanks een duidelijke vermindering van de verwerkingstijd, werden schadelijk en zeer reactieve chemicaliën, voor voorbeelden Butaandion en/of perchloorzuur, gebruikt als loskoppelen van elektrolyten in de laatste technieken55, waar een extra reiniging procedure is nodig vanwege de veranderende elektrolyt tussen de procedure anodiseren en ontkoppelen. Vooral beïnvloeden het ontkoppelen gedrag en de kwaliteit van de vrijstaande AAOs ernstig de dikte. In het geval van de AAO met relatief dunner dikte bevatten de vrijstaande één scheuren en/of openingen.

De experimentele benaderingen die hierboven vermeld zijn vereffend met een “single-oppervlakte” van het Al-model, met uitzondering van de oppervlakte bescherming/engineering doeleinden, en deze functie van de conventionele technologieën exposities kritische beperkingen van de AAO fabricage in termen van rendement evenals de processibility, die ook van invloed op de mogelijke toepasbaarheid van de AAOs56,57.

Om te voldoen aan de toenemende eisen op het gebied van AAO-gerelateerde in termen van facile, hoge opbrengst en groene technologische benaderingen, meldden we eerder op SMSA en directe detachement via SRBs onder zwavelzuur56 en oxaalzuur57 zuur elektrolyt, respectievelijk. Het is een bekend feit dat meervoud AAOs op meerdere oppervlakken van het substraat van de Al ondergedompeld in zure elektrolyten kunnen worden gevormd. Echter de SRBs, een belangrijk onderscheid van onze methoden, het losmaken van deze AAOs van de bijbehorende multi oppervlakken van het substraat van de Al in de dezelfde zure elektrolyt gebruikt voor de SMSAs met vermelding van de massaproductie, eenvoud en groen technologische inschakelen kenmerken. Wij willen erop wijzen dat SRBs gebaseerde detachement een optimale strategie voor meervoud AAOs vervaardigd door SMSAs56,57 en zelfs geldig voor relatief dunnere diktes van AAOs57 in vergelijking is met kathodische delaminatie (d.w.z., constante omgekeerde bias) op single-oppervlakf “> 51. Tot slot, een opeenvolging van de eenheid die bestaat uit de SMSAs opeenvolgend gecombineerd met SRBs gebaseerde detachement herhaaldelijk kan worden toegepast op de dezelfde Al substraat, vermijden van ingewikkelde procedures en giftig/reactieve chemicaliën, die versterkt de voordelen van onze strategieën en garandeert ook het efficiënte gebruik van natuurlijke hulpbronnen.

Protocol

Wees u ervan bewust van alle de verwante materialen veiligheidsinformatiebladen (MSDS) voordat u begint. Ondanks het milieuvriendelijke karakter van dit protocol, worden een paar zuren en oxidatiemiddelen gebruikt in de bijbehorende procedures. Ook gebruik maken van alle de juiste persoonlijke beschermingsmiddelen (laboratoriumjas, handschoenen, veiligheidsbril, enz.). 1. bereiding van de oplossing Opmerking: na volledige afdichting oplossing bevattende ve…

Representative Results

Stroomdiagram van nth AAO reeks voornamelijk bestaande uit twee stappen SMSAs, SRBs-detachement, fabriceren en verwante chemische etsen werd schematisch voorgesteld in Figuur 1a. Elke inzet een Scannende Elektronen Microscoop (SEM) afbeelding van de overeenkomstige oppervlakte morfologie bij elke afzonderlijke procedure en een foto genomen onmiddellijk na SRBs-detachement weergeven. Een schematische afbeelding nadat de totale 5th</sup…

Discussion

In deze paper, we succesvol gebleken een facile, hoge opbrengst en ecologisch schoon methode te fabriceren nanoporeuze AAOs via SMSA en SRBs-detachement, die kan worden herhaald op de dezelfde Al substraat voor het aanzienlijk verbeteren van mass-producibility als goed als bruikbaarheid van schaarse natuurlijke hulpbron. Zoals aangetoond in het stroomschema van Figuur 1a, is onze AAO vervaardigen strategie gebaseerd op de anodisatie van conventionele in twee stappen, die is bewerkt op meerde…

Disclosures

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

De auteurs hebben niets te onthullen.

Materials

Sulfuric Acid >98% DUKSAN reagent 5950
Oxalic Acid Anhydrous, 99.5-100.2% KANTO chemical 31045-73
Phosphoric Acid, 85% SAMCHUN chemical P0463
Perchloric Acid, 60% SAMCHUN chemical P0181 Highly Reactive
Chromium(VI) Oxide Sigma Aldrich 232653 Strong Oxidizer
Ethanol, 95% SAMCHUN chemical E0219
Absolute Ethanol, 99.9% SAMCHUN chemical E1320
Double Jacket Beaker iNexus 27-00292-05
Low Temperature Bath Circulator JEIO TECH AAH57052K
Programmable DC Power Supply PNCYS EDP-3001 
Aluminum Plate, >99.99% Goodfellow
Platinum Cylinder Whatman 444685
Pure & Ultra Pure Water System (Deionized Water) Human Science Pwer II & HIQ II

References

  1. Hong, Y. K., et al. Tuning and enhancing photoluminescence of light-emitting polymer nanotubes through electron-beam irradiation. Adv. Funct. Mater. 19 (4), 567-572 (2009).
  2. Hong, Y. K., et al. Fine Characteristics Tailoring of Organic and Inorganic Nanowires Using Focused Electron-Beam Irradiation. Angew. Chem. Int. Ed. 50 (16), 3734-3738 (2011).
  3. Lee, J. H., et al. Iron-gold barcode nanowires. Angew. Chem. Int. Ed. 46 (20), 3663-3667 (2007).
  4. Qin, L., Banholzer, M. J., Millstone, J. E., Mirkin, C. A. Nanodisk codes. Nano Lett. 7 (12), 3849-3853 (2007).
  5. Park, D. H., Kim, M. S., Joo, J. Hybrid nanostructures using π-conjugated polymers and nanoscale metals: synthesis, characteristics, and optoelectronic applications. Chem. Soc. Rev. 39 (7), 2439-2452 (2010).
  6. Ahn, Y. K., et al. Enhanced electrochemical capabilities of lithium ion batteries by structurally ideal AAO separator. J. Mater. Chem. A. 3 (20), 10715-10719 (2015).
  7. Chen, J., Wang, S., Ding, L., Jiang, Y., Wang, H. Performance of through-hole anodic aluminum oxide membrane as a separator for lithium-ion battery. J. Membr. Sci. 461, 22-27 (2014).
  8. Gao, Y., et al. Three-dimensional nanotube electrode arrays for hierarchical tubular structured high-performance pseudocapacitors. Nanoscale. 8 (27), 13280-13287 (2016).
  9. Hu, J., et al. Dual-template ordered mesoporous carbon/Fe2O3 nanowires as lithium-ion battery anodes. Nanoscale. 8 (26), 12958-12969 (2016).
  10. Kim, K., et al. Externally controlled drug release using a gold nanorod contained composite membrane. Nanoscale. 8 (23), 11949-11955 (2016).
  11. Poplausks, R., et al. Electrochemically etched sharp aluminium probes with nanoporous aluminium oxide coatings: Demonstration of addressed DNA delivery. RSC Adv. 4 (89), 48480-48485 (2014).
  12. Chen, X., Qiu, M., Ding, H., Fu, K., Fan, Y. A reduced graphene oxide nanofiltration membrane intercalated by well-dispersed carbon nanotubes for drinking water purification. Nanoscale. 8 (10), 5696-5705 (2016).
  13. Dervin, S., Dionysiou, D. D., Pillai, S. C. 2D nanostructures for water purification: graphene and beyond. Nanoscale. 8 (33), 15115-15131 (2016).
  14. Han, K., Heng, L., Wen, L., Jiang, L. Biomimetic heterogeneous multiple ion channels: a honeycomb structure composite film generated by breath figures. Nanoscale. 8 (24), 12318-12323 (2016).
  15. Kim, J., Kim, Y. H., Choi, S. H., Lee, W. Curved Silicon Nanowires with Ribbon-like Cross Sections by Metal-Assisted Chemical Etching. ACS Nano. 5 (6), 5242-5248 (2011).
  16. Zeng, Z., et al. Fabrication of Graphene Nanomesh by Using an Anodic Aluminum Oxide Membrane as a Template. Adv. Mater. 24 (30), 4138-4142 (2012).
  17. Lim, N., et al. A tunable sub-100 nm silicon nanopore array with an AAO membrane mask: reducing unwanted surface etching by introducing a PMMA interlayer. Nanoscale. 7 (32), 13489-13494 (2015).
  18. Zhang, J., Liu, X., Neri, G., Pinna, N. Nanostructured Materials for Room-Temperature Gas Sensors. Adv. Mater. 28 (5), 795-831 (2016).
  19. Blank, T. A., Eksperiandova, L. P., Belikov, K. N. Recent trends of ceramic humidity sensors development: A review. Sens. Actuators B. 228, 416-442 (2016).
  20. Kim, Y., et al. Capacitive humidity sensor design based on anodic aluminum oxide. Sens. Actuators B. 141 (2), 441-446 (2009).
  21. Mahboob, M. R., Zargar, Z. H., Islam, T. A sensitive and highly linear capacitive thin film sensor for trace moisture measurement in gases. Sens. Actuators B. 228, 658-664 (2016).
  22. Sharma, K., Islam, S. S. Optimization of porous anodic alumina nanostructure for ultra high sensitive humidity sensor. Sens. Actuators B. 237, 443-451 (2016).
  23. Lee, W., Park , S. J. Porous Anodic Aluminum Oxide: Anodization and Templated Synthesis of Functional Nanostructures. Chem. Rev. 114 (15), 7487-7556 (2014).
  24. Keller, F., Hunter, M., Robinson, D. Structural features of oxide coatings on aluminum. J. Electrochem. Soc. 100 (9), 411-419 (1953).
  25. Diggle, J. W., Downie, T. C., Goulding, C. W. Anodic oxide films on aluminum. Chem. Rev. 69 (3), 365-405 (1969).
  26. O’Sullivan, J. P., Wood, G. C. The Morphology and Mechanism of Formation of Porous Anodic Films on Aluminium. Proc. R. Soc. London A. 317 (1531), 511-543 (1970).
  27. Thompson, G. E., Wood, G. C. Porous anodic film formation on aluminium. Nature. 290 (5803), 230-232 (1981).
  28. Masuda, H., Fukuda, K. Ordered Metal Nanohole Arrays Made by a Two-Step Replication of Honeycomb Structures of Anodic Alumina. Science. 268 (5216), 1466-1468 (1995).
  29. Masuda, H., Satoh, M. Fabrication of Gold Nanodot Array Using Anodic Porous Alumina as an Evaporation Mask. Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1B), L126-L129 (1996).
  30. Chu, S. Z., Wada, K., Inoue, S., Isogai, M., Yasumori, A. Fabrication of Ideally Ordered Nanoporous Alumina Films and Integrated Alumina Nanotubule Arrays by High-Field Anodization. Adv. Mater. 17 (17), 2115-2119 (2005).
  31. Lee, W., Ji, R., Gösele, U., Nielsch, K. Fast fabrication of long-range ordered porous alumina membranes by hard anodization. Nature Mater. 5 (9), 741-747 (2006).
  32. Li, Y., Zheng, M., Ma, L., Shen, W. Fabrication of highly ordered nanoporous alumina films by stable high-field anodization. Nanotechnology. 17 (20), 5101-5105 (2006).
  33. Li, Y. B., Zheng, M. J., MA, L. High-speed growth and photoluminescence of porous anodic alumina films with controllable interpore distances over a large range. Appl. Phys. Lett. 91 (7), 073109 (2007).
  34. Lee, W., et al. Structural engineering of nanoporous anodic aluminium oxide by pulse anodization of aluminium. Nature Nanotech. 3 (4), 234-239 (2008).
  35. Li, Y., Ling, Z. Y., Chen, S. S., Wang, J. C. Fabrication of novel porous anodic alumina membranes by two-step hard anodization. Nanotechnology. 19 (22), 225604 (2008).
  36. Schwirn, K., et al. Self-Ordered Anodic Aluminum Oxide Formed by H2SO4 Hard Anodization. ACS Nano. 2 (2), 302-310 (2008).
  37. Yao, Z., Zheng, M., MA, L., Shen, W. The fabrication of ordered nanoporous metal films based on high field anodic alumina and their selected transmission enhancement. Nanotechnology. 19 (46), 465705 (2008).
  38. Lee, W., Kim, J. C., Cösele, U. Spontaneous Current Oscillations during Hard Anodization of Aluminum under Potentiostatic Conditions. Adv. Funct. Mater. 20 (1), 21-27 (2010).
  39. Yi, L., Zhiyuan, L., Shuoshuo, C., Xing, H., Xinhua , H. Novel AAO films and hollow nanostructures fabricated by ultra-high voltage hard anodization. Chem. Commun. 46 (2), 309-311 (2010).
  40. Kim, M., Ha, Y. C., Nguyen, T. N., Choi, H. Y., Kim, D. Extended self-ordering regime in hard anodization and its application to make asymmetric AAO membranes for large pitch-distance nanostructures. Nanotechnology. 24 (50), 505304 (2013).
  41. Chen, W., Wu, J. S., Yuan, J. H., Xia, X. H., Lin, X. H. An environment-friendly electrochemical detachment method for porous anodic alumina. J. Electroanal. Chem. 600 (2), 257-264 (2007).
  42. Gao, L., Wang, P., Wu, X., Yang, S., Song, X. A new method detaching porous anodic alumina films from aluminum substrates. J. Electroceram. 21 (1-4 SPEC), 791-794 (2008).
  43. Asoh, H., Nishio, K., Nakao, M., Tamamura, T., Masuda, H. Conditions for Fabrication of Ideally Ordered Anodic Porous Alumina Using Pretextured Al. J. Electrochem. Soc. 148 (4), B152-B156 (2001).
  44. Wu, M. T., Hon Leu, I. C., H, M. Effect of polishing pretreatment on the fabrication of ordered nanopore arrays on aluminum foils by anodization. J. Vac. Sci. Technol., B. 20 (3), 776-782 (2002).
  45. Asoh, H., Ono, S., Hirose, T., Nakao, M., Masuda, H. Growth of anodic porous alumina with square cells. Electrochim. Acta. 48 (20-22), 3171-3174 (2003).
  46. Masuda, H., et al. Ordered Mosaic Nanocomposites in Anodic Porous Alumina. Adv. Mater. 15 (2), 161-164 (2003).
  47. Chu, S. Z., et al. Large-Scale Fabrication of Ordered Nanoporous Alumina Films with Arbitrary Pore Intervals by Critical-Potential Anodization. J. Electrochem. Soc. 153 (9), B384-B391 (2006).
  48. Byun, J., Lee, J. I., Kwon, S., Jeon, G., Kim, J. K. Highly Ordered Nanoporous Alumina on Conducting Substrates with Adhesion Enhanced by Surface Modification: Universal Templates for Ultrahigh-Density Arrays of Nanorods. Adv. Mater. 22 (18), 2028-2032 (2010).
  49. Gong, J., Butler, W. H., Zangari, G. Tailoring morphology in free-standing anodic aluminium oxide: Control of barrier layer opening down to the sub-10 nm diameter. Nanoscale. 2 (5), 778-785 (2010).
  50. Schneider, J. J., Engstler, J., Budna, K. P., Teichert, C., Franzka, S. Freestanding, highly flexible, large area, nanoporous alumina membranes with complete through-hole pore morphology. Eur. J. Inorg. Chem. 2005 (12), 2352-2359 (2005).
  51. Choudhary, E., Szalai, V. Two-step cycle for producing multiple anodic aluminum oxide (AAO) films with increasing long-range order. RSC Adv. 6 (72), 67992-67996 (2016).
  52. Yuan, J. H., He, F. Y., Sun, D. C., Xia, X. H. A Simple Method for Preparation of Through-Hole Porous Anodic Alumina Membrane. Chem. Mater. 16 (10), 1841-1844 (2004).
  53. Yuan, J. H., Chen, W., Hui, R. J., Hu, Y. L., Xia, X. H. Mechanism of one-step voltage pulse detachment of porous anodic alumina membranes. Electrochim. Acta. 51 (22), 4589-4595 (2006).
  54. Zhao, S., Chan, K., Yelon, A., Veres, T. Preparation of open-through anodized aluminium oxide films with a clean method. Nanotechnology. 18 (24), 245304 (2007).
  55. Brudzisz, A., Brzózka, A., Sulka, G. D. Effect of processing parameters on pore opening and mechanism of voltage pulse detachment of nanoporous anodic alumina. Electrochim. Acta. 178, 374-384 (2015).
  56. Hong, Y. K., Kim, B. H., Kim, D. I., Park, D. H., Joo, J. High-yield and environment-minded fabrication of nanoporous anodic aluminum oxide templates. RSC Adv. 5 (34), 26872-26877 (2015).
  57. Jeong, S. H., et al. Massive, eco-friendly, and facile fabrication of multi-functional anodic aluminum oxides: application to nanoporous templates and sensing platforms. RSC Adv. 7 (8), 4518-4530 (2017).
  58. Houser, J. E., Hebert, K. R. The role of viscous flow of oxide in the growth of self-ordered porous anodic alumina films. Nature Mater. 8 (5), 415-420 (2009).
  59. Jessensky, O., Müller, F., Gösele, U. Self-organized formation of hexagonal pore arrays in anodic alumina. Appl. Phys. Lett. 72 (10), 1173-1175 (1998).
  60. Li, F., Zhang, L., Metzger, R. M. On the Growth of Highly Ordered Pores in Anodized Aluminum Oxide. Chem. Mater. 10 (9), 2470-2480 (1998).
  61. Li, A. P., Müller, F., Bimer, A., Nielsch, K., Gösele, U. Hexagonal pore arrays with a 50-420 nm interpore distance formed by self-organization in anodic alumina. J. Appl. Phys. 84 (11), 6023-6026 (1998).
  62. Nielsch, K., Choi, J., Schwirn, K., Wehrspohn, R. B., Gösele, U. Self-ordering Regimes of Porous Alumina: The 10% Porosity Rule. Nano Lett. 2 (7), 677-680 (2002).
  63. Yanagishita, T., Masuda, H. High-Throughput Fabrication Process for Highly Ordered Through-Hole Porous Alumina Membranes Using Two-Layer Anodization. Electrochim. Acta. 184, 80-85 (2015).

Play Video

Cite This Article
Im, H., Jeong, S. H., Park, D. H., Kim, S., Hong, Y. K. Simultaneous Multi-surface Anodizations and Stair-like Reverse Biases Detachment of Anodic Aluminum Oxides in Sulfuric and Oxalic Acid Electrolyte. J. Vis. Exp. (128), e56432, doi:10.3791/56432 (2017).

View Video