Summary

İmalat ve fotonik termometreler test

Published: October 24, 2018
doi:

Summary

İmalat süreci ve fotonik termometreler test açıklanmaktadır.

Abstract

Son yıllarda, telekomünikasyon için roman silikon fotonik aygıtlar geliştirmek için bir itme şimdi sofistike fotonik sensörleri geliştirmek için kaldıraçlı varlık büyük bir Bilgi Bankası üretti. Silikon fotonik sensörler değişiklikler fiziksel durumuna değişimler rezonans frekansı transduce için güçlü doğumdan nano-dalga kılavuzu ışık yararlanmak isteyin. Thermometry söz konusu olduğunda, fotonik cihazın sıcaklık ile drift için bir Bragg ızgara gibi rezonans frekansı termo-optik katsayısı, Yani, kırılma indisi sıcaklık, nedeniyle değişiklikler neden olur. A maiyet-in çok çeşitli kontrollü laboratuvar değişen ayarları dağıtılabilir düşük maliyetli fotonik sıcaklık sensörleri imal etmek Telekom uyumlu ışık kaynakları son gelişmeler kaldıraç fotonik aygıtlar gelişmekte olan koşullar, gürültülü ortamlarda bir fabrikada ya da bir konut için. Bu makale, fabrikasyon ve fotonik termometreler test için bizim Protokolü ayrıntı.

Introduction

Sıcaklık Metroloji, platin direnç termometre için altın standart ilk efendim Siemens tarafından 1871 yılında 1890 yılında ilk aygıt geliştirme Callender1 önerilmiş. O zamandan beri tasarımına ve üretimine termometreler artımlı devam eden geniş bir sıcaklık ölçüm çözümleri vermiştir. Standart platin direnç termometre (SPRT) Uluslararası sıcaklık ölçeği (ITS-90) ve direnç thermometry kullanarak kendi yayılması için interpolating bir araçtır. Bugün, bir yüzyıldan daha sonra onun buluşu direnç thermometry önemli bir rol Sanayi ve her gün teknoloji Biyomedikal işlem denetimi imalat, enerji üretimi ve tüketimi arasında değişen çeşitli yönleriyle oynar. Her ne kadar iyi kalibre edilmiş endüstriyel direnç termometre sıcaklık belirsizlikler 10’a kadar küçük ölçebilirsiniz mK, onlar hassas mekanik şok, termal stres ve nem ve kimyasal kirleticiler gibi ortam değişkenleri vardır. Sonuç olarak, direnç termometreler periyodik (ve pahalı) devre dışı kalibrasyonu gerektirir. Direnç thermometry bu temel sınırlamalar benzer daha iyi ölçüm yetenekleri whislt mekanik darbelere karşı daha güçlü olmak için sunabilirsiniz fotonik sıcaklık sensörleri2 gelişmekte olan büyük ilgi doğurmuştur . Böyle bir devcie ulusal ve endüstriyel laboratuarları ve uzun vadeli izleme nerede enstrüman drift olumsuz verimlilik etkisi olabilir bu ilgi beğenisini kazanacak.

Son yıllarda zengin çeşitte romanı fotonik termometreler önerdi ışığa duyarlı boyalar3, Galeri modu rezonatör4, fiber optik sensörler5,6fısıldayan uyarlanan sapphire mikrodalga dahil olmak üzere, 7ve üstünde-küçük parça silikon nano-fotonik sensörler8,9,10. NIST gelişmekte olan düşük maliyetli, kolayca konuşlandırılabilir, roman sıcaklık sensörleri ve kolayca CMOS uyumlu üretim gibi varolan teknolojileri kullanılarak üretilmektedir standartları çabalarımızı hedefleniyor. Belirli bir odak silikon fotonik aygıtlar gelişme olmuştur. Bu cihazlar sıcaklığı-40 ° C ila 80 ° C ve 5 ° C-165 ° C eski aygıtları8‘ e karşılaştırılabilir belirsizlikler aralıklarına üzerinden ölçmek için kullanılabilir göstermiştir. Ayrıca, bizim sonuçları daha iyi bir süreç kontrol cihazı ile değiştirilebilirlik 0.1 ° C belirsizlik sırasına ulaşılabilir olduğunu göstermektedir (yani nominal katsayıları değil kalibrasyon kullanarak sıcaklık ölçüm belirsizliği belirlenen katsayıları ).

Protocol

1. cihaz imalat Not: silikon fotonik aygıtlar silikon-Tarih-yalıtkan (SOI) kullanarak sahte olduğu uygulanan geleneksel CMOS teknoloji ile fotoğraf – gofret veya elektron ışını litografi endüktif plazma reaktif iyon tarafından takip etch (ICP RIE) 220 nm-kalın en üstteki silikon katman. ICP RIE etch sonra aygıtları üst-kaplama bir ince polimer film veya SiO2 koruyucu tabaka olabilir. SOI fotonik aygıtlar imalatı’nın adımlarında ana aşağıdadır. 10 dk…

Representative Results

Yüzük rezonatör iletim spectra Şekil 2′ de gösterildiği gibi rezonans durumuna karşılık gelen iletim dar bir dalış gösterir. Rezonans saçak sıcaklık 5 ° C artışlarla 105 ° c 20 ° C’den arttıkça daha uzun dalga boylarında geçer. İletim spektrum tepe merkezi ayıkladığınız polinom bir işleve donatılmıştır. Polinom uygun bir Lorentzian veya Gauss uyum daha hataları ofset eğilimli yapabilirsiniz eğimli bir temel varlığında …

Discussion

Bu denemenin amacı fotonik bir termometre sıcaklık bağımlı tepki ölçmek için yapıldı. Sıcaklık nicel ölçümler Metroloji sınıf, küçük hacimli sensörler, kuyu ve sensör arasında iyi termal temas sağlamak ve ısı en aza indirmek derin kuru çevreye kaybeder gibi istikrarlı ısı kaynağı kullanmak akıllıca olur. Bu gereksinimleri kolayca optik lifler çip için bağ tarafından yerine getirilmesi, etkili bir şekilde paketlenmiş bir aygıt oluşturma derin Metroloji sıcaklık de indirdi. Bak?…

Disclosures

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Yazarlar kadar deneyler ayarlama konusunda yardım almak için silikon fotonik sıcaklık sensörleri ve Wyatt Miller ve Dawn haç imal için fırsat sağlamak için NIST/CNST NanoFab tesis etmiş oluyorsunuz.

Materials

Packaging process
6-axis stage PI instruments
video cameras
epoxy dispensation system
Fiber array
Temperature Measurement
Metrology Well Fluke 9170 Dry well stable to better than .01 K
Laser Newport TLB6700 1520-1570 nm tunable laser
Wavemeter HighFinesse WS/7 100 Hz wavemeter
Power meter Newport 1936-R power meter with broad range

References

  1. Price, R. The Platinum resistance Thermometer. Platinum Metals Review. 3 (3), 78-87 (1959).
  2. Xu, H., et al. Ultra-Sensitive Chip-Based Photonic Temperature Sensor Using Ring Resonator Structures. Optics Express. 22, 3098-3104 (2014).
  3. Donner, J. S., Thompson, S. A., Kreuzer, M. P., Baffou, G., Quidant, R. Mapping Intracellular Temperatrure Using Green Flurorescent Protein. Nano Letters. 12 (4), 2107-2111 (2012).
  4. Ahmed, Z., et al. Towards Photonics Enabled Quantum Metrology of Temperature, Pressure and Vacuum. arXiv:1603.07690 [physics.optics]. , (2016).
  5. Ahmed, Z., Filla, J., Guthrie, W., Quintavall, J. Fiber Bragg Gratings Based Thermometry. NCSL International Measure. 10, 24-27 (2015).
  6. Hill, K. O., Meltz, G. Fiber Bragg Grating Technology Fundamental and Overview. J. of Lightwave Technology. 15, 1263-1275 (1997).
  7. Liacouras, P. C., Grant, G., Choudhry, K., Strouse, G. F., Ahmed, Z. Fiber Bragg Gratings Embedded in 3D-printed Scaffolds. NCSL International Measure. 10 (2), 50-52 (2015).
  8. Klimov, N. N., Mittal, S., Berger, M., Ahmed, Z. On-chip silicon waveguide Bragg grating photonic temperature sensor. Optical Letters. 40 (17), 3934-3936 (2015).
  9. Klimov, N. N., Purdy, T., Ahmed, Z. On-Chip Silicon Photonic Thermometers: from Waveguide Bragg Grating to Ring Resonators sensors. Proceedings. , (2015).
  10. Kim, G. D., et al. Silicon photonic temperature sensor employing a ring resonator manufactured using a standard CMOS process. Optical Express. 18 (21), 22215-22221 (2010).
  11. Purdy, T., et al. Thermometry with Optomechanical Cavities. , STu1H.2 (2016).

Play Video

Cite This Article
Klimov, N. N., Ahmed, Z. Fabrication and Testing of Photonic Thermometers. J. Vis. Exp. (140), e55807, doi:10.3791/55807 (2018).

View Video