This work describes fabrication and characterization of anisotropic leaky mode modulators for holographic video.
Holovideo displays are based on light-bending spatial light modulators. One such spatial light modulator is the anisotropic leaky mode modulator. This modulator is particularly well suited for holographic video experimentation as it is relatively simple and inexpensive to fabricate1-3. Some additional advantages of leaky mode devices include: large aggregate bandwidth, polarization separation of signal light from noise, large angular deflection and frequency control of color1. In order to realize these advantages, it is necessary to be able to adequately characterize these devices as their operation is strongly dependent on waveguide and transducer parameters4. To characterize the modulators, the authors use a commercial prism coupler as well as a custom characterization apparatus to identify guided modes, calculate waveguide thickness and finally to map the device’s frequency input and angular output of leaky mode modulators. This work gives a detailed description of the measurement and characterization of leaky mode modulators suitable for full-color holographic video.
La mayoría de las tecnologías de pantallas holográficas, tales como válvulas de luz pixelada así como los dispositivos MEMS y moduladores acústico-ópticos de onda mayor, son demasiado complejos para permitir una amplia participación en su desarrollo. Moduladores pixelados, especialmente aquellos con capas de filtro y planos traseros activas pueden requerir docenas de pasos de modelado para construir 5 y puede ser limitado por fan-out 6. Cuanto mayor es el número de patrones pasos cuanto mayor es la complejidad del dispositivo, y cuanto más apretado el protocolo de fabricación debe ser lograr un rendimiento razonable dispositivo 7. Moduladores acústico-ópticos de onda mayor no se prestan a la oblea procesos basados 8,9. Anisotrópicas modo que gotea moduladores, sin embargo, requieren sólo dos pasos de modelado para fabricar y utilizar técnicas de microfabricación relativamente estándar 10,11. La accesibilidad de estos procesos hacen posible que cualquier institución a instalaciones de fabricación modestos para participar en el desarrollo de hLa tecnología de visualización de vídeo ológrafo 12.
La simplicidad de la fabricación del dispositivo puede ser seductora, sin embargo, como el correcto funcionamiento de los dispositivos es fuertemente dependiente de las guías de ondas que deben ser cuidadosamente medido y ajustado para conseguir las características deseadas del dispositivo. Por ejemplo, si la guía de onda es demasiado profundo, ancho de banda operativo del dispositivo se reducirá 13. Si la guía de onda es demasiado bajo, el dispositivo no puede trabajar para iluminación roja. Si la guía de ondas es recocido demasiado largo, la forma del perfil de profundidad de la guía de ondas será distorsionada, y las transiciones de color rojo, verde y azul no puede sentarse adyacente en el dominio de la frecuencia 14. En este trabajo los autores presentan las herramientas y técnicas para realizar esta caracterización.
El modulador de modo que gotea se compone de un protón intercambió guía de ondas indiffused en la superficie de un piezoeléctrico, X-Cut sustrato de niobato de litio 15,16. En un extremode la guía de ondas es un transductor interdigital de aluminio, véase la figura 1. La luz se introduce en la guía de ondas usando un acoplador de prisma 17. El transductor entonces lanza ondas acústicas que interactúan contralinearly con la luz en la guía de ondas a lo largo del eje y la superficie. Esta interacción parejas guiadas luz en un modo de fugas que se escapa de la guía de ondas en la masa y, finalmente, sale del sustrato desde el borde de la cara 18,19. Esta interacción también gira la polarización de la luz guiada TE polarizado de luz polarizada TM modo de fugas. El patrón de ondas acústicas de superficie es el holograma, y es capaz de escanear y la configuración de la luz de salida para formar una imagen holográfica.
La guía de onda es creada por intercambio de protones. En primer lugar, el aluminio se deposita sobre el sustrato. A continuación, el aluminio es el modelo foto-litografía y grabado para exponer regiones del sustrato a ser canales de guía de ondas. El aluminio restante actúa como un discomáscara. El sustrato se sumerge en una masa fundida de ácido benzoico que altera el índice de superficie en las regiones expuestas. El dispositivo se retira, se limpia y recocida en un horno de mufla. La profundidad final de la guía de onda determina el número de transiciones de modo que gotean. La profundidad de la guía de ondas también determina la frecuencia de cada transiciones guiadas a modo para cada color 4.
Los transductores de aluminio se forman por el despegue. Después se forman las guías de ondas, un E-beam resistir se hila sobre el sustrato. Un transductor interdigital se modela con un haz de electrones para formar un transductor modulada pulsada diseñado para responder a la banda de 200 MHz responsable de controlar el color en los dispositivos de guía de ondas. El período de dedo se determina por Λƒ = v donde, Λ, es el período de dedo, v, es la velocidad del sonido en el sustrato y, ƒ, es la frecuencia de radio (RF). El transductor tendrá una impedancia que debe ser igualada a 75 ohmios para un funcionamiento eficiente 20.
<clase p = "jove_content"> El guiado a la interacción con fugas modo se produce a diferentes frecuencias para diferentes longitudes de onda de luz de iluminación y como resultado la luz roja, verde y azul puede ser controlado en el dominio de la frecuencia. El patrón de onda acústica de superficie es generada por una señal de RF enviado al transductor interdigital. La RF de la señal de entrada se traducen en frecuencias espaciales en el patrón de onda acústica de superficie. La guía de ondas puede ser fabricado de manera que las señales de baja frecuencia de control del barrido angular y la amplitud de la luz roja, mientras que las frecuencias medias de control de luz verde y altas frecuencias de control de luz azul. Los autores han identificado un conjunto de parámetros de guía de ondas que permiten a los tres de estas interacciones deberán estar separados y adyacentes en el dominio de la frecuencia para que los tres colores se pueden controlar con una sola señal de 200 MHz, que es el ancho de banda máximo de unidades de procesamiento gráfico de los productos básicos ( GPU).Haciendo coincidir el ancho de banda de un canal de GPUa la de un modulador de modo que gotea, el sistema se vuelve completamente paralelo y altamente escalable. Mediante la adición de pares emparejados de ancho de banda de las GPU y los canales de modo modulador con fugas, se puede construir pantallas holográficas de tamaño arbitrario.
Después de crear el dispositivo, se caracteriza cuidadosamente para verificar que las frecuencias para transición de modo guiado a fugas son apropiados para el control de frecuencia de color. En primer lugar, la ubicación de los modos guiados están determinados por un acoplador de prisma comercial para confirmar que la guía de ondas tiene la profundidad apropiada y el número correcto de modos guiados. Entonces, después de que los dispositivos están montados y empaquetados, se colocan en un acoplador de prisma costumbre que los mapas de las frecuencias de entrada de la luz de salida escaneada. Los datos resultantes da la respuesta de frecuencia de entrada y salida de la respuesta angular para la luz roja, verde y azul para el dispositivo que desea probar. Si el dispositivo ha sido fabricado correctamente, la respuesta del dispositivo de entrada se separa enla frecuencia y la respuesta de salida serán solapamiento en ángulo. Cuando esto se confirma, el dispositivo está listo para su uso en una pantalla de vídeo holográfico.
Las primeras mediciones se llevan a cabo antes de que el dispositivo ha sido empaquetado. La profundidad de la guía de onda está determinada por un acoplador de prisma comercial. Esto se puede lograr con una sola longitud de onda de iluminación (típicamente 632 nm rojo) pero los autores han modificado su acoplador de prisma comercial para permitir que reúnen información del modo para la luz roja, verde y azul. Después de envasado, el dispositivo se somete a una segunda medición en un acoplador de prisma de encargo que registra la luz de salida desviada como una función de RF de entrada. Una descripción detallada de estas mediciones sigue. también se dan pasos de fabricación.
El diseño de cada dispositivo tiene dos pasos críticos, intercambio de protones y de desarrollo de la LOR. De los dos, el tiempo de intercambio de protones determina la profundidad de la guía de ondas, que a su vez determina el número de transiciones guiada a fugas modo, el ancho de banda de frecuencia controlable, y todos los parámetros clave de diseño para cada color de la luz. se desean dos modos guiados en rojo. Si más existe, entonces se sacrifica ancho de banda. Si existen menos entonces no guiado a modo de…
The authors have nothing to disclose.
Los autores agradecen el apoyo financiero del Air Force Research Laboratory contrato FA8650-14-C-6571 y desde DAQRI LLC.
X-Cut Lithium Niobate | Gooch and Housego | 99-00630-01 | Lithium Niobate 3″ Diameter X-CUT Wafer 1mm Polish/Polish |
Positive Photo Resist 1 | EMD Performance Materials | AZ 3330 F Photoresist | Used in the creation of the proton exchange mask. |
Photoresist Developer | EMD Performance Materials | AZ MIF 300 | Develops AZ3330 and LOR 3A |
Aluminium | International Advanced Materials | AL13 | 99.999% Pure |
Aluminium Etch | Transene | Type A Aluminum Etchant | |
Benzoic Acid | Sigma Aldrich | 109479-500G | 99% Pure |
Acetone | Fisher Chemical | UN1009 | |
IPA | Fisher Chemical | UN1219 | 99.5% pure Isopropyl Alcohol |
Acidic Piranha etch | Cyantek Corperation | Nanostrip | |
Under Layer Resist | Micro Chem | LOR 3A | Bottom layer used for liftoff. |
Positive Photo Resist | Micro Chem | 950 PMMA A9 | Top layer used for liftoff |
Anisole | Micro Chem | A Thinner | |
Conductive polymer aqueous solution | Mitsubishi Rayon Company | AquaSAVE | |
MIBK (4-Methyl-2-pentanone) | Sigma Aldrich | 360511 | Develops PMMA |
NMP (1-methyl-2-pyrrolidone) | Sigma Aldrich | 328634 | Used for liftoff |
Name of the Equipment | Company | Catalog Number | Comments/ Description |
E-beam Evaporator | Denton Vacuum | Integrity 20 | Any equivalent equipment would suffice. |
Thin Film Spinner | Laurell Technologies Corporation | WS-400A-6NPP-LITE | Any equivalent equipment would suffice. |
Mask Aligner | Karl Suss America Inc. | MA 150 CC | Any equivalent equipment would suffice. |
Automatic Dicing Saw | Disco Corperation | Disco Dad 320 | Any equivalent equipment would suffice. |
Muffle Furnace | Thermo Scientific | FB1415M | Any equivalent equipment would suffice. |
Electron Microscope | FEI | XL30 ESEM | Any equivalent equipment would suffice. |
Dehydration Oven | Lab-Line Instruments | Ultra-Clean 100 (3497M-3) | Any equivalent equipment would suffice. |
Hot Plate | Thermo Scientific | SP131325 | Any equivalent equipment would suffice. |
Polisher | Ultra Tec Mfg., Inc. | Ultrapol End & Edge Polisher | Any equivalent equipment would suffice. |
Class IIIb 12V RBG Lasers: Wavelengths(nm): 638, 532, and 445 | Bought second-hand. Probably pulled from a laser projector. Any equivalent equipment would suffice. | ||
Signal Generator | Agilent | 8648D | Now found at Keysight. Obsolete. Any equivalent equipment would suffice. Needed Frequency sweep 9 KHz-1000 MHz. |
Signal Amplifier | Mini-Circuits | TB-17 | Necessary only to overcome the limitations of the signal generator. |
Power Meter Controller | ThorLabs | PM100D | With power meter model S130C. Any equivalent equipment would suffice. Needed sensitivity 500pW |
Linear Actuator Controller | Newport | ESP7000 | With linear actuator model MFN25PP. Any equivalent equipment would suffice. Needs 0.1mm accuracy. |
AutomatedDeviceCharacterization.vi | LabView | Experimental Control Software by BYU | Found in the appendix |
CompareWDMmodes.m | MATLab | Analytical Software by BYU | Found in the appendix |