Summary

Caratterizzazione di anisotropi Leaky modalità modulatori per Holovideo

Published: March 19, 2016
doi:

Summary

This work describes fabrication and characterization of anisotropic leaky mode modulators for holographic video.

Abstract

Holovideo displays are based on light-bending spatial light modulators. One such spatial light modulator is the anisotropic leaky mode modulator. This modulator is particularly well suited for holographic video experimentation as it is relatively simple and inexpensive to fabricate1-3. Some additional advantages of leaky mode devices include: large aggregate bandwidth, polarization separation of signal light from noise, large angular deflection and frequency control of color1. In order to realize these advantages, it is necessary to be able to adequately characterize these devices as their operation is strongly dependent on waveguide and transducer parameters4. To characterize the modulators, the authors use a commercial prism coupler as well as a custom characterization apparatus to identify guided modes, calculate waveguide thickness and finally to map the device’s frequency input and angular output of leaky mode modulators. This work gives a detailed description of the measurement and characterization of leaky mode modulators suitable for full-color holographic video.

Introduction

La maggior parte delle tecnologie di visualizzazione olografiche, come le valvole di luce pixelated così come i dispositivi MEMS e onda di massa modulatori acusto-ottica, sono troppo complessi per consentire un'ampia partecipazione nel loro sviluppo. Modulatori Pixellato, in particolare quelli con strati filtranti e aerei schiena attivi possono richiedere decine di passaggi di patterning per costruire 5 e possono essere limitati da fan-out 6. Maggiore è il numero di patterning i passaggi più alto è il dispositivo di complessità, ed il più stretto il protocollo di fabbricazione deve essere quello di ottenere ragionevoli resa dispositivo 7. Bulk-onda modulatori acustico-ottico non si prestano a wafer processi basati 8,9. Anisotrope modulatori modalità che perde, tuttavia, richiedono solo due passi patterning per fabbricare e utilizzare tecniche di microfabbricazione relativamente standard di 10,11. L'accessibilità di questi processi rendono possibile per qualsiasi istituzione con impianti di fabbricazione modesti di partecipare allo sviluppo di hDisplay tecnologia video olografica 12.

La semplicità di fabbricazione di dispositivi può essere accattivante, tuttavia, come il corretto funzionamento dei dispositivi dipende fortemente guide d'onda che deve essere accuratamente misurati e regolata per ottenere le caratteristiche desiderate del dispositivo. Ad esempio, se la guida d'onda è troppo profonda, banda operativa del dispositivo verrà ridotto 13. Se la guida d'onda è troppo poco profonda, il dispositivo potrebbe non funzionare per illuminazione rossa. Se la guida d'onda viene ricotto troppo lungo, la forma del profilo di profondità della guida d'onda sarà distorto, e le transizioni rosso, verde e blu non può sedersi adiacente nel dominio della frequenza 14. In questo lavoro gli autori presentano gli strumenti e le tecniche per eseguire questa caratterizzazione.

La modalità modulatore leaky costituito da un protone scambiata guida d'onda indiffused sulla superficie di un piezoelettrico, x-cut niobato di litio substrato 15,16. Ad un'estremitàdella guida d'onda è un trasduttore interdigitale alluminio, vedi Figura 1. La luce viene introdotto nella guida d'onda utilizzando un prisma accoppiatore 17. Il trasduttore poi lancia superficie onde acustiche che interagiscono contralinearly con luce di guida d'onda lungo l'asse y. Questa interazione coppie guidate luce in un modo che perde, che trapela della guida d'onda in massa e, infine, esce il substrato dal bordo affrontano 18,19. Questa interazione ruota anche la polarizzazione da TE luce polarizzata guidata a TM luce polarizzata modo che perde. Il modello onda acustica di superficie è l'ologramma, ed è in grado di acquisire e modellare la luce di uscita per formare una immagine olografica.

La guida d'onda è creato da scambio protonico. Innanzitutto, l'alluminio viene depositato sul substrato. Poi l'alluminio è modellato foto-litografica e inciso per esporre regioni del substrato di diventare canali guida d'onda. L'alluminio restante agisce come un hardmaschera. Il substrato viene immerso in una colata di acido benzoico che altera l'indice superficiale nelle regioni esposte. Il dispositivo viene rimosso, pulito e ricotto in forno a muffola. La profondità finale della guida d'onda determina il numero di transizioni modo leaky. La profondità guida d'onda determina anche la frequenza di ogni transizioni guidate-to-mode per ogni colore 4.

I trasduttori di alluminio sono formate da decollo. Dopo guide d'onda sono formate, una E-beam resist viene filata sul substrato. Un trasduttore interdigitale è modellato con un fascio di elettroni per formare un trasduttore chirped progettato per rispondere alla banda 200 MHz responsabile per il controllo del colore in dispositivi di guida d'onda. Il periodo dito è determinata da Λƒ = v dove, Λ, è il periodo barretta, v è la velocità del suono nel substrato e, ƒ, è la frequenza radio (RF). Il trasduttore avrà una impedenza che deve corrispondere a 75 ohm per il funzionamento efficiente 20.

<p class = "jove_content"> L'guidato all'interazione modo leaky avviene a frequenze diverse per le diverse lunghezze d'onda della luce di illuminazione e di conseguenza luce rossa, verde e blu può essere controllato nel dominio della frequenza. Il modello d'onda acustica di superficie è generato da un segnale RF trasmesso al trasduttore interdigitale. La RF del segnale di ingresso si traducono in frequenze spaziali sul modello d'onda acustica di superficie. La guida d'onda può essere fabbricato in modo che i segnali a bassa frequenza controllano lo sweep angolare e l'ampiezza di luce rossa, mentre le frequenze medie controllare la luce verde e alte frequenze di controllo della luce blu. Gli autori hanno individuato una serie di parametri di guida d'onda che permettono tutte e tre queste interazioni è separato e adiacente nel dominio della frequenza in modo che tutti i tre colori possono essere controllati con un singolo segnale 200 MHz che è la larghezza di banda massima di unità di elaborazione grafica delle materie prime ( GPU).

Abbinando la larghezza di banda di un canale GPUa quella di una modalità modulatore leaky, il sistema diventa completamente parallelo e altamente scalabile. Con l'aggiunta di larghezza di banda abbinato coppie di GPU e canali modalità modulatore che perde, si può costruire schermi olografici di dimensione arbitraria.

Dopo aver creato il dispositivo, è attentamente caratterizzato per verificare che le frequenze di transizione modo guidato da leaky sono appropriati per il controllo della frequenza di colore. Innanzitutto, la posizione dei modi guidati sono determinati mediante un accoppiatore a prisma commerciale per confermare che la guida d'onda ha la profondità appropriata e il corretto numero di modi guidati. Poi, dopo che i dispositivi sono montati e confezionati, essi sono posti in un accoppiatore a prisma personalizzato che mappa le frequenze di ingresso della luce di uscita digitalizzato. I dati risultanti fornisce la risposta in frequenza di ingresso e la risposta di uscita angolare per luce rossa, verde e blu per il dispositivo da testare. Se il dispositivo è stato fabbricato in modo corretto, la risposta di ingresso dispositivo sarà separato infrequenza e la risposta in uscita saranno sovrapposte in angolo. Quando questo viene confermata, il dispositivo è pronto per l'uso in un display video olografico.

Le prime misure hanno luogo prima che il dispositivo è stato confezionato. La profondità guida d'onda è determinata da un accoppiatore a prisma commerciale. Questo può essere realizzato con una sola lunghezza d'onda di illuminazione (tipicamente 632 nm rosso) ma autori hanno modificato il loro accoppiatore prisma commerciale per permettere di raccogliere informazioni modalità per la luce rossa, verde e blu. Dopo confezione, il dispositivo subisce una seconda misurazione in un accoppiatore a prisma personalizzato che registra la luce di uscita devia in funzione di ingresso RF. Una descrizione dettagliata di tali misurazioni segue. sono anche dato fasi di fabbricazione.

Protocol

1. Preparazione iniziale Nota: Inizia con una nuova niobato di litio di wafer X-cut. Dovrebbe essere grado ottico, spessore di 1 mm, pulita, con niente depositato sulla superficie, entrambi i lati lucidati, e il lato superiore assegnati. Utilizzando un Electron Beam evaporatore o macchina equivalente ad un vuoto di 50 μTorr, evaporare 200 nm alluminio sul wafer a 5 Å / sec. Per replicare i risultati presentati, posizionare la costellazione di wafer di 65 cm sopra il crogiolo di alluminio. …

Representative Results

I principali risultati del protocollo di cui sopra sono la misura modo guidato dal copulante prisma commerciale mostrato in figura 2, la singola frequenza, dati di ingresso grezzi / uscita raccolti dal copulante prisma misura mostrati in Figura 8 e le curve multicolore mostrati in figura 9. nei paragrafi che seguono si discute il informazioni fruibili prodotte da ciascuna di queste uscite. <p class="jove_content" fo:keep-together.wit…

Discussion

La progettazione di ogni dispositivo è dotato di due passaggi critici, scambio protonico e lo sviluppo della LOR. Dei due, tempo di scambio protonico determina la profondità della guida d'onda, che a sua volta determina il numero di transizioni guidata perde modalità, la banda di frequenza controllabile, e ogni parametro di progetto chiave per ogni colore della luce. Due modi guidati in rosso è desiderato. Se esistono più quindi la larghezza di banda è sacrificato. Se meno esiste, non ha guidato la transizione…

Disclosures

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Gli autori ringraziano il sostegno finanziario Air Force Research Laboratory contratto FA8650-14-C-6571 e da DAQRI LLC.

Materials

X-Cut Lithium Niobate Gooch and Housego 99-00630-01 Lithium Niobate 3″ Diameter X-CUT Wafer 1mm Polish/Polish
Positive Photo Resist 1 EMD Performance Materials AZ 3330 F Photoresist Used in the creation of the proton exchange mask.
Photoresist Developer EMD Performance Materials AZ MIF 300 Develops AZ3330 and LOR 3A
Aluminium International Advanced Materials AL13 99.999% Pure
Aluminium Etch Transene Type A Aluminum Etchant
Benzoic Acid Sigma Aldrich 109479-500G 99% Pure
Acetone Fisher Chemical UN1009
IPA Fisher Chemical UN1219 99.5% pure Isopropyl Alcohol
Acidic Piranha etch Cyantek Corperation Nanostrip
Under Layer Resist Micro Chem LOR 3A Bottom layer used for liftoff.
Positive Photo Resist Micro Chem 950 PMMA A9 Top layer used for liftoff
Anisole Micro Chem A Thinner
Conductive polymer aqueous solution Mitsubishi Rayon Company AquaSAVE
MIBK (4-Methyl-2-pentanone) Sigma Aldrich 360511 Develops PMMA
NMP (1-methyl-2-pyrrolidone) Sigma Aldrich 328634 Used for liftoff
Name of the Equipment Company Catalog Number Comments/ Description
E-beam Evaporator  Denton Vacuum  Integrity 20 Any equivalent equipment would suffice.
Thin Film Spinner Laurell Technologies Corporation WS-400A-6NPP-LITE Any equivalent equipment would suffice.
Mask Aligner  Karl Suss America Inc. MA 150 CC Any equivalent equipment would suffice.
Automatic Dicing Saw  Disco Corperation Disco Dad 320 Any equivalent equipment would suffice.
Muffle Furnace Thermo Scientific FB1415M Any equivalent equipment would suffice.
Electron Microscope FEI XL30 ESEM Any equivalent equipment would suffice.
Dehydration Oven Lab-Line Instruments  Ultra-Clean 100  (3497M-3) Any equivalent equipment would suffice.
Hot Plate Thermo Scientific SP131325 Any equivalent equipment would suffice.
Polisher Ultra Tec Mfg., Inc. Ultrapol End & Edge Polisher Any equivalent equipment would suffice.
Class IIIb 12V RBG Lasers: Wavelengths(nm): 638, 532, and 445 Bought second-hand. Probably pulled from a laser projector. Any equivalent equipment would suffice.
Signal Generator Agilent 8648D Now found at Keysight. Obsolete. Any equivalent equipment would suffice. Needed Frequency sweep 9 KHz-1000 MHz.
Signal Amplifier Mini-Circuits TB-17 Necessary only to overcome the limitations of the signal generator.
Power Meter Controller ThorLabs PM100D With power meter model S130C. Any equivalent equipment would suffice. Needed sensitivity 500pW
Linear Actuator Controller Newport ESP7000 With linear actuator model MFN25PP. Any equivalent equipment would suffice. Needs 0.1mm accuracy.
AutomatedDeviceCharacterization.vi  LabView Experimental Control Software by BYU Found in the appendix
CompareWDMmodes.m MATLab Analytical Software by BYU Found in the appendix

References

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Cite This Article
Gneiting, S., Kimball, J., Henrie, A., McLaughlin, S., DeGraw, T., Smalley, D. Characterization of Anisotropic Leaky Mode Modulators for Holovideo. J. Vis. Exp. (109), e53889, doi:10.3791/53889 (2016).

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