We demonstrate the use of the Laser-induced forward transfer technique (LIFT) for the printing of high-viscosity Ag paste. This technique offers a simple, low temperature, robust process for non-lithographically printing microscale 2D and 3D structures.
Durante la última década, ha habido un gran desarrollo de métodos no litográficas 1-3 para la impresión de tintas metálicas u otros materiales funcionales. Muchos de estos procesos, tales como inyección de tinta 3 y inducida por láser de transferencia directa (LIFT) 4 se han convertido en cada vez más popular como el interés en la electrónica imprimible y patrones sin máscara ha crecido. Estos procesos de fabricación aditivas son de bajo costo, el medio ambiente, y muy adecuado para el prototipado rápido, en comparación con las técnicas de procesamiento de semiconductores más tradicionales. Aunque la mayoría de los procesos de lectura-escritura directa se limitan a las estructuras bidimensionales y no pueden manejar materiales con alta viscosidad (en especial de inyección de tinta), LIFT puede trascender limitaciones tanto si se realiza correctamente. Transferencia congruente de tres píxeles tridimensionales (llamados voxels), también conocido como transferencia de la etiqueta láser (LDT) 5-9, recientemente se ha demostrado con la técnica de levantamiento usando altamente viscoso nanopast Ages para fabricar interconexiones Autosoportados, formas voxel complejos y estructuras de relación de aspecto alta. En este trabajo se demuestra un proceso sencillo pero versátil para la fabricación de una variedad de estructuras Ag micro y macroescala. Las etiquetas incluyen formas simples que permiten definir motivos contactos eléctricos, puentes y estructuras en voladizo, estructuras de relación de aspecto de alta y de un solo tiro, grandes transferencias de zona utilizando un chip comercial dispositivo digital (DMD).
Aditivos técnicas de impresión son de considerable interés para el patrón de materiales funcionales sobre una variedad de sustratos. Estos llamados "procesos de escritura directa", incluyendo micropen 10, el montaje directo de escritura 11, de inyección de tinta 12, y ascensor 4, son muy adecuadas para la fabricación de una variedad de tamaños de las características que van desde sub-micra a macroescala 1,2 . Las principales ventajas de estas técnicas son de bajo costo, respeto al medio ambiente, y la vuelta rápida del concepto al prototipo. De hecho, el prototipado rápido es un uso principal de este tipo de procesos. Los materiales utilizados por estos procesos generalmente consisten en una suspensión de nanopartículas en un disolvente, y generalmente requieren un horno etapa de curado después de la deposición con el fin de darse cuenta de sus propiedades funcionales. Aunque micropen y montaje-escritura directa son relativamente fáciles de poner en práctica, ambos se basan en un contacto de filamento continuo con el sustrato de recepcióndurante la dispensación. Aunque inyección de tinta es un método sin contacto simple, de escritura directa, que normalmente se limita a la transferencia de baja viscosidad, suspensiones de nanopartículas químicamente benignos con el fin de evitar la obstrucción y / o corrosión de las boquillas de dispensación. Además, los patrones de impresión con características de bordes bien definidos por inyección de tinta es muy difícil dado el comportamiento de la variable de fluidos en diferentes superficies y su inestabilidad resultante debido a los efectos humectantes 13. Independientemente, de inyección de tinta ha disfrutado de la mayor atención de los investigadores hasta el momento.
LIFT, por otro lado, es un proceso aditivo libre de la boquilla sin contacto, que es capaz de transferir la pasta de alta viscosidad con bordes bien definidos. En este proceso, cantidades controladas de materiales complejos se transfieren desde un sustrato donante (o "cinta") a un sustrato receptor mediante el uso de pulsos de láser 4 como se muestra esquemáticamente en la Figura 1. Cuando se utiliza la pasta de alta viscosidad, es POSSIble para el voxel impreso para que coincida con el tamaño y forma de la sección transversal del pulso de láser incidente 5. Este proceso ha sido denominado como transferencia de la etiqueta láser (LDT), y ofrece un enfoque único para directo de escritura en el que la forma y tamaño de vóxel son fácilmente parámetros controlables, permitiendo la generación no litográfica de estructuras para una amplia gama de aplicaciones tales como reparación del circuito 14, los metamateriales 7, 8, interconexiones y estructuras al aire libre 15. La capacidad de depositar formas complejas en una etapa de transferencia reduce en gran medida el tiempo de procesamiento y evita problemas relacionados con la fusión de múltiples voxels, un problema común en la mayoría de las técnicas de impresión digitales. La capacidad de ajustar dinámicamente el perfil espacial de pulsos de láser individuales 17 sirve para aumentar la velocidad de escritura de LDT en comparación con las técnicas de escritura directa de otro láser (LDW). Como resultado de estas ventajas de procesamiento, nos referimos al proceso de LDT como"Parcialmente paralelizado", ya que permite la combinación de múltiples etapas de escritura en serie en una sola paralelo. El grado de paralelización depende en última instancia la capacidad de alterar rápidamente el perfil de sección transversal de láser, y por lo tanto la forma de la voxel resultante, y de la velocidad por la que la cinta y el sustrato pueden ser traducidos.
Para ayudar a visualizar el proceso, el comportamiento de un material durante el proceso de elevación se representa esquemáticamente en las figuras 2A, 2C y 2E para tres diferentes viscosidades de pasta. Para tintas de baja viscosidad (Figura 2A) 9, el proceso de transferencia sigue chorro de comportamiento, lo que resulta en la formación de, voxels hemisféricas redondeadas (Figura 2B) 18. Figura 2C representa la transferencia de las suspensiones de viscosidad muy altos, en el que el voxel expulsado experimenta fragmentación similar a lo que es observado con ascensor de por locapas de cerámica de la tapa 19. La Figura 2E muestra la transferencia de LDT nanopasta con una, la viscosidad intermedio adecuado, en el que el voxel liberado no está sujeta a dar forma a la deformación debida a la superficie efectos de la tensión y alcanza el sustrato receptor intacto. El efecto de la viscosidad en la forma de los voxels transferidos se muestra en las imágenes de microscopía de fuerza atómica (AFM) en las Figuras 2B, 2D, 2F y. Como demuestra la Figura 2F, es posible obtener los voxels bien definidos y bien definidos para una adecuada gama de viscosidades, por lo general ~ 100 Pa · s durante 5 Ag nanopasta.
En general, ha habido pocos informes de métodos que combinan impresión sin contacto con el potencial de estructuras 3D de resolución de micras. El método LDT ofrece un proceso de forma libre capaz de fabricar interconexiones con capacidades de unión terreno de juego ultra-finas. Una serie de aplicaciones, incluyendo dispositivos electrónicos delicados, la electrónica orgánicaY sistemas microelectromecánicos (MEMS) podrían beneficiarse de un procedimiento de este tipo. Aquí se demuestra un proceso de no-contacto, la impresión en tres dimensiones, así como de un solo disparo láser, impresión de gran superficie (a través de chip DMD) de alta viscosidad Ag nanopasta.
En el presente trabajo, hemos demostrado un proceso de no contacto, la impresión en tres dimensiones, así como de un solo disparo láser, impresión de gran superficie (a través de chip DMD) de alta viscosidad Ag nanopasta. A diferencia de otras técnicas de escritura directa, tales como inyección de tinta, la técnica de LDT descrito aquí permite la impresión de formas complejas vóxel con un solo pulso del láser, es decir, en un solo paso. Mientras que muchos aspectos del procedimiento pueden parecer sencillo, hay varios pasos que requieren pruebas iterativo con el fin de optimizar. En primer lugar, la sequedad de pasta y de la viscosidad son los factores más importantes para la transferencia exitosa. A pesar de estos puntos ya se han hecho hincapié en repetidas ocasiones en el texto, debemos reiterar aquí para subrayar la importancia. Si la viscosidad de la tinta es demasiado bajo, entonces será imposible imprimir, formas voxel bien definidos afilados. Una señal de que la viscosidad de la tinta es demasiado baja se produce al intentar expulsar un voxel. Cuando se dispara el impulso de láser, lavoxel aparecerá para expulsar momentáneamente, pero la tinta se llena de nuevo rápidamente en el hueco dejado en el sustrato donante. En este caso, el usuario debe dejar de disparar el láser y la tinta debe ser tratada adicionalmente como se indica en los pasos 3.1 y 3.2. Si la viscosidad de la tinta es demasiado alta, el proceso de transferencia voxel aparecerá éxito en la cinta. Sin embargo, al examinar los voxels en el sustrato receptor, habrá lagrimeo significativo, fractura, o residuos. En este caso, el usuario tiene que disponer de la cinta actual y realizar una nueva cinta como se indica en la sección 2. Optimización de la viscosidad de la tinta y el tiempo de secado debe llevarse a cabo mediante la evaluación de la calidad de los intentos de transferencia voxel. No se recomienda tratar de medir la viscosidad de la pasta en cualquier punto. En segundo lugar, la fluencia del láser es casi tan importante como la viscosidad de la tinta y cambios muy pequeños en la fluencia puede tener un efecto significativo en el proceso. Debe quedar muy claro cuando la energía es demasiado bajo – el voxelno se expulsará desde el sustrato donante. Se recomienda comenzar con la gama de fluencia se sugiere en el paso 4.4, y luego aumentar gradualmente el valor muy. El más bajo de energía que se traduce en una transferencia completa se denomina "fluencia de umbral". A menudo es la mejor manera de operar en o cerca del umbral de fluencia, porque los valores de fluencia mayores tenderán a fracturar o romper los voxels. Finalmente, dependiendo de la variedad de láser utilizado para el proceso, podría haber puntos calientes en el perfil láser. Esto puede requerir un ajuste de la abertura a la muestra una región más homogénea de la viga. Si la forma del voxel eyectado está deformado o mal coincide con la forma de la sección transversal de la viga, puntos de acceso láser o espesor de la capa de tinta o la uniformidad podría ser responsable.
Más allá de la resolución de problemas, hay algunas limitaciones en la técnica. El paso final del horno de curado hace que sea difícil o imposible de lograr voxels con las propiedades funcionales deseadas en no-alta-tEMPERATURA sustratos compatibles. Generalmente, el nanopasta Ag utilizado en este manuscrito requiere una temperatura de curado de al menos 150 ° C a fin de obtener los valores de conductividad razonables. La fabricación de la capa de tinta sobre el sustrato de donantes debe optimizarse aún más para mejorar la uniformidad de espesor, la cobertura de área y tiempo de procesamiento. El espesor de capa de tinta tiene un efecto dramático en la fluencia de umbral y calidad de la transferencia, y el espesor no homogéneo puede hacer que el proceso de transferencia difícil, especialmente cuando la transferencia de voxels de menos de 20 micras x 20 micras. El diseño actual para el sustrato donante hace que sea difícil crear cintas más grandes que 10s de cm, lo que limita el rendimiento de gran superficie. Por lo tanto, el desarrollo de diseños de sustrato donantes alternativos, como carrete a carrete o disco giratorio, se requeriría de una mayor automatización y mayor procesamiento área.
La fuerza de la técnica LDT reside en la capacidad para transferir fluidos con altoviscosidades que otras técnicas drop-on-demand no puede manejar. Las ventajas de LDT se pueden separar en dos situaciones en las que, en primer lugar, la pasta de impresión de alta viscosidad ofrece una mejora en la calidad o velocidad sobre la impresión de pasta de baja viscosidad y en segundo lugar, en situaciones donde la impresión con pasta de alta viscosidad permite estructuras que no son accesibles a la impresión de baja viscosidad . Los ejemplos de las ventajas de la primera categoría son: mínima variabilidad del voxel de los efectos humectantes, alto grado de control sobre la forma y el tamaño de voxel, contracción mínima durante el curado y la energía láser de baja en comparación con otros procesos de elevación (y por lo tanto baja velocidad de transferencia). Los ejemplos de la segunda categoría son: la impresión de estructuras de relación de aspecto alta, las estructuras de puente, voladizos, y cualquier otra estructura que requiere una buena voxel-retención de la forma. Al combinar el proceso LDT con el chip DMD, la impresión paralela de formas y patrones complejos está habilitado, lo que acelera enormemente el proceso global. Además, tl uso de un DMD para dar forma a los diseños voxels permite que se actualicen entre pulsos de láser, lo que permite una rápida impresión de voxels dinámicamente reconfigurables. En términos generales, la frecuencia de actualización de la DMD (33 kHz) es ligeramente más lento que la tasa de repetición máxima del láser (100 kHz o superior), pero la tasa de factor limitante para la velocidad de impresión es la traducción en el escenario.
Las principales vías de ascenso con el sistema LDT son el continuo desarrollo de materiales adicionales, mejorando el proceso de fabricación de la cinta, y continuando a ampliar el proceso a través de la integración de la tecnología de procesamiento digital de luz (DLP), tales como el chip DMD. Aunque los materiales metálicos y aislantes se han transferido con éxito a través de este proceso, se han desarrollado unos materiales activos. La posibilidad de imprimir los materiales piezoeléctricos, magnéticos o optoelectrónicos con el proceso de LDT podría abrir enormes posibilidades tecnológicas. En su forma actual, la geometría del donante substlímites de la frecuencia escalabilidad. El desarrollo de carrete-a-carrete giratorio o sustratos donantes disco simplificaría considerablemente los procesos. Por último, la combinación de LDT con la tecnología DLP es un desarrollo potencialmente perjudicial para el campo de la fabricación digital, convirtiendo un proceso previamente en serie en un proceso altamente paralelo. Un desafío clave para lograr esta meta es la posibilidad de imprimir los voxels con buena resolución característica en múltiples escalas. Es decir, los voxels con dimensiones laterales del orden de 10 segundos o 100 segundos de características micras que contiene del orden de 1 a 5 micras. Tomados en conjunto, estos desarrollos ofrecen oportunidades significativas para gran área de fabricación aditiva de los componentes electrónicos.
The authors have nothing to disclose.
This work was funded by the Office of Naval Research (ONR) through the Naval Research Laboratory Basic Research Program.
Silver Nano-paste for Screen Printing | Harima Chemicals Group, http://www.harima.co.jp/en/ | NPS Type HP | Store at 10 C, do not allow to freeze; before using, wait 1 hour for paste to reach room temperature |
Buffered HF Solution | http://transene.com/sio2/ | BUFFER HF IMPROVED | Etch rate may vary depending on material structure |