We demonstrate the use of the Laser-induced forward transfer technique (LIFT) for the printing of high-viscosity Ag paste. This technique offers a simple, low temperature, robust process for non-lithographically printing microscale 2D and 3D structures.
In het afgelopen decennium is er veel ontwikkeling van niet-lithografische methoden 1-3 voor het afdrukken van metallic inkten of andere functionele materialen geweest. Veel van deze processen, zoals inkjet 3 en laser-induced forward overdracht (LIFT) 4 steeds populairder als rente in printbare elektronica en maskerloze patroonvorming is gegroeid geworden. Deze additieve productieprocessen zijn goedkoop, milieuvriendelijk, en geschikt voor rapid prototyping, in vergelijking met meer traditionele halfgeleider technieken. Terwijl de meest directe-write processen beperkt tot tweedimensionale structuren en kan geen materialen met een hoge viscositeit (in het bijzonder inkjet), kan LIFT beide beperkingen overschrijden indien correct uitgevoerd. Congruent overdracht van driedimensionele pixels (voxels genoemd), ook wel laser decal overdracht (LDT) 5-9, is onlangs aangetoond met LIFT techniek met hoogviskeuze Ag nanopastes naar vrijstaande interconnects, complexe voxel vormen, en high-aspect ratio structuren te fabriceren. In dit artikel laten we zien een eenvoudige maar veelzijdige proces voor het vervaardigen van een verscheidenheid van micro- en macroschaal Ag structuren. Structuren omvatten eenvoudige vormen voor de patroonvorming van elektrische contacten, het overbruggen en cantilever structuren, high-aspect ratio structuren, en single-shot, groot gebied transfers met behulp van een commercieel digitaal microspiegeltjes (DMD) chip.
Additieve druktechnieken zijn van groot belang voor de patroonvorming van functionele materialen op verschillende substraten. Deze zogenaamde "directe schrijven" processen, waaronder MicroPen 10, direct-write samenstel 11, 12 inkjet en LIFT 4, zijn geschikt voor de vervaardiging van verschillende functie maten variëren van sub-micron tot 1,2 macroschaal . De belangrijkste voordelen van deze technieken zijn lage kosten, milieuvriendelijkheid, en een korte doorlooptijd van concept tot prototype. Inderdaad, rapid prototyping is een primaire gebruik voor dergelijke werkwijzen. De materialen gebruikt door deze processen gewoonlijk uit een nanodeeltje suspensie in een oplosmiddel, en vereisen in het algemeen een oven uithardingsstap na afzetting om hun functionele eigenschappen te realiseren. Hoewel MicroPen en directe-write assemblage zijn relatief eenvoudig te implementeren, zowel rekenen op een continue filament contact met het ontvangende substraattijdens het afgeven. Hoewel inkjet is een eenvoudige, contactloze directe schrijfmethode wordt meestal beperkt tot de overdracht van lage viscositeit, chemisch goedaardige nanodeeltjes suspensies ter voorkoming van verstopping en / of corrosie van de spuitmonden. Bovendien drukpatronen met goed gedefinieerde randkenmerken van inkjet zeer moeilijk gezien de variabele gedrag van vloeistoffen op verschillende oppervlakken en hun resulterende instabiliteit door bevochtiging effecten 13. Ongeacht, is inkjet de meeste aandacht van onderzoekers tot nu toe genoten.
LIFT, daarentegen, is een contactloze, nozzle-vrije additieve werkwijze die staat is om zeer viskeuze pasta met goed gedefinieerde randen. In dit proces worden gecontroleerde hoeveelheden complexe materialen overgebracht van een donor substraat (of "ribbon") naar een ontvangend substraat met laserpulsen 4 zoals schematisch weergegeven in figuur 1. Bij gebruik van hoogviskeuze pasta is possbaar voor de afgedrukte voxel om de grootte en vorm van de invallende laserpuls doorsnede 5 passen. Dit proces is bedoeld als laser sticker overdracht (LDT), en biedt een unieke benadering van direct-schrijven waarin voxel vorm en grootte zijn gemakkelijk regelbaar parameters, waardoor de niet-lithografische generatie van de structuren voor een breed scala van toepassingen, zoals circuit reparatie 14, metamaterialen 7, 8 interconnects, en vrijstaande structuren 15. Het vermogen om complexe vormen in een transferstap deponeren reduceert de verwerkingstijd en voorkomt problemen bij het samenvoegen van meerdere voxels, een veel voorkomend probleem bij de meeste digitale druktechnieken. De mogelijkheid om de ruimtelijke profiel van afzonderlijke laserpulsen 17 dynamisch aanpassen dient voor de schrijfsnelheid van LDT verhogen ten opzichte van andere laser direct schrijven (LDW) technieken. Als gevolg van deze verwerking voordelen, verwijzen we naar de LDT proces als"Gedeeltelijk geparalleliseerd" aangezien deze een combinatie van meerdere seriële schrijven stappen in een parallel. De mate van parallellisatie hangt uiteindelijk af van de mogelijkheid om de laser dwarsdoorsnedeprofiel snel veranderen, en dus de vorm van de resulterende voxel, en de snelheid waarmee de band en het substraat kan worden vertaald.
Om visualiseren het proces wordt het gedrag van een materiaal tijdens het proces LIFT schematisch weergegeven in Figuren 2A, 2C en 2E drie verschillende plakken viscositeiten. Voor lage viscositeit inkten (Figuur 2A) 9, het overdrachtproces volgt jetting gedrag, wat resulteert in de vorming van ronde, halfbolvormige voxels (figuur 2B) 18. Figuur 2C toont de overdracht zeer hoge viscositeit suspensies, waarbij de uitgestoten voxel ervaart fragmentatie vergelijkbaar met wat waargenomen met LIFT of zodeksel keramische lagen 19. Figuur 2E toont de LDT overdracht van nanopaste met een geschikt tussenproduct viscositeit, waarbij het vrijgegeven voxel niet onder vorm vervorming als gevolg van spanningen effecten oppervlakte en bereikt het ontvangende substraat intact. Het effect van de viscositeit van de vorm van de voxels overgedragen wordt in de atomic force microscopie (AFM) beelden in figuren 2B, 2D en 2F. Zoals figuur 2F demonstreert, is het mogelijk om scherpe, goed gedefinieerde voxels te verkrijgen voor een passende reeks viscositeiten, meestal ~ 100 Pa · sec voor Ag nanopaste 5.
Overall, zijn er enkele gevallen van methoden die contactloos drukken combineren met een mogelijke micron resolutie 3D structuren geweest. De LDT methode biedt een freeform proces in staat is het vervaardigen van interconnects met ultra-fine pitch bonding mogelijkheden. Een aantal toepassingen, waaronder gevoelige elektronische apparaten, organische elektronicaEn micro-elektromechanisch systeem (MEMS) zouden baat hebben bij een dergelijke werkwijze. Hier laten we een werkwijze voor contactloze, driedimensionaal afdrukken en enkele laser shot, groot oppervlak printen (via DMD chip) van hoge viscositeit Ag nanopaste.
In dit document, hebben wij een werkwijze voor contactloze, driedimensionaal afdrukken en enkele laser shot, groot oppervlak printen (via DMD chip) van hoge viscositeit Ag nanopaste aangetoond. In tegenstelling tot andere direct-write technieken, zoals inkjet, LDT de techniek beschreven maakt het afdrukken van complexe voxel vormen met een laserpuls, dat wil zeggen in één enkele stap. Terwijl vele aspecten van de procedure eenvoudig lijkt, zijn er meerdere stappen iteratief beproeving ter optimalisatie vereisen. Ten eerste, pasta droogte en viscositeit zijn de belangrijkste factoren voor een succesvolle overdracht. Hoewel deze punten zijn al meerdere malen in de tekst benadrukt, herhalen we het hier om het belang te onderstrepen. Als de inkt viscositeit te laag, dan is het onmogelijk om scherpe, goed gedefinieerde vormen voxel drukken. Een veelbetekenende teken dat de inkt viscositeit te laag treedt op bij een poging om een voxel uit te werpen. Wanneer de laserpuls wordt afgevuurd, devoxel zal verschijnen om even uit te werpen, maar de inkt zal snel te vullen terug in het gat achtergelaten in de donor substraat. In dit geval moet de gebruiker stopt het afvuren van de laser en de inkt verder worden behandeld zoals beschreven in stappen 3,1 en 3,2. Als de inkt viscositeit te hoog is, zal de voxel overdrachtsproces succesvol op het lint weergegeven. Echter, bij het onderzoek van de voxels op de ontvanger substraat, zal er significante scheuren, breken, of vuil zijn. In dit geval moet de gebruiker beschikken over de lopende band en een nieuwe kenmerken als beschreven in punt 2. Optimalisatie van inktviscositeit en droogtijd worden bereikt door evaluatie van het voxel verzendpogingen. We raden niet aan het proberen om de viscositeit van de pasta te meten op elk punt. Ten tweede, de laser fluentie bijna even belangrijk als inktviscositeit en zeer kleine veranderingen in fluentie kan een significant effect op het proces. Het moet heel duidelijk zijn als de energie te laag is – de voxelzal niet uitwerpen van de donor substraat. Het wordt aanbevolen om te beginnen met de Fluence bereik in stap 4.4 voorgesteld, en dan heel stapsgewijs verhogen van de waarde. De laagste energie die resulteert in een volledige overdracht wordt de "drempel fluentie". Het is vaak het beste om zoveel mogelijk bij de drempel fluentie omdat hogere fluentie waarden de neiging hebben de voxels breken of scheuren. Tenslotte, afhankelijk van de soort van de gebruikte laser voor de werkwijze, kunnen er hot spots in de laser profiel. Dit kan een aanpassing van de opening nodig om een homogene gebied van de bundel proeven. Als de vorm van de uitgestoten voxel vervormd of slecht overeenkomt met de vorm van de doorsnede bundeldoorsnede kan laser- hotspots of inktlaag dikte uniformiteit verantwoordelijk.
Voorbij oplossen, zijn er een aantal beperkingen aan deze techniek. De laatste hardingsstap oven maakt het moeilijk of onmogelijk voxels met de gewenste functionele eigenschappen van niet-hoge-t verwezenlijkenemperature compatibele substraten. In het algemeen, de Ag nanopaste in dit manuscript vereist een uithardingstemperatuur van ten minste 150 ° C om redelijke geleidbaarheid te verkrijgen. Het vervaardigen van de inktlaag op het donorsubstraat verder worden geoptimaliseerd om uniformiteit van dikte, areal dekking en verwerkingstijd verbeteren. De inkt laagdikte heeft een dramatisch effect op de drempel fluentie en overdracht kwaliteit en homogene dikte kan het overdrachtsproces bemoeilijken, vooral bij het overdragen voxels kleiner dan 20 urn x 20 urn. Het huidige ontwerp van de donorsubstraat bemoeilijkt linten groter dan 10s van cm, die groot oppervlak throughput beperkt creëren. Daarom is de ontwikkeling van alternatieve donorsubstraat ontwerpen, zoals reel-to-reel of roterende schijf nodig zou zijn voor verbeterde automatisering en groter oppervlak verwerking.
De sterkte van de LDT techniek ligt in het vermogen om vloeistoffen met highviscositeiten dat andere drop-on-demand technieken niet aankan. De voordelen van LDT kan worden gescheiden in twee situaties waarin enerzijds afdrukken hoogviskeuze pasta biedt kwaliteitsverbetering of snelheid gedurende bedrukt lage viscositeit plakken en anderzijds in situaties waar drukken met hoge viscositeit pasta maakt structuren die niet toegankelijk zijn voor lage viscositeit afdrukken . Voorbeelden van voordelen in de eerste categorie zijn: minimaal voxel variabiliteit van het bevochtigen van effecten, een hoge mate van controle over voxel vorm en grootte, minimale krimp tijdens het uitharden en lage laser-energie in vergelijking met andere LIFT processen (en dus lage overdracht snelheid). Voorbeelden van de tweede categorie zijn: printen van high-aspect ratio structuren, het overbruggen van structuren, cantilevers, en andere structuren die goede voxel-vorm-retentie vereist. Door de LDT proces de DMD-chip, wordt parallel afdrukken van complexe vormen en patronen mogelijk, die sterk versnelt het totale proces. Verder thij gebruik van een DMD voxels vorm zorgt ontwerpen worden bijgewerkt tussen laserpulsen, waardoor hoge afdruksnelheden dynamisch herconfigureerbare voxels. In het algemeen, de verversingssnelheid van de DMD (33 kHz) is iets lager dan de maximale herhalingsfrequentie van de laser (100 kHz of hoger), maar de snelheidsbeperkende factor afdruksnelheid is de fase vertaling.
De primaire wegen voor vooruitgang met de LDT systeem zijn de verdere ontwikkeling van extra materialen, het verbeteren van het lint fabricageproces, en de voortzetting van opschalen van het proces door middel van de integratie van Digital Light Processing (DLP) technologie, zoals de DMD-chip. Hoewel metallische en isolerende materialen met succes zijn overgebracht door dit proces, hebben weinig actieve stoffen ontwikkeld. De mogelijkheid om piëzo-elektrische, magnetische of opto-elektronische materialen af te drukken met de LDT proces zou kunnen openen enorme technologische mogelijkheden. Zoals het er nu, de geometrie van de donor substrate grenzen schaalbaarheid. De ontwikkeling van reel-to-reel of roterende schijf donor substraten zouden de processen aanzienlijk stroomlijnen. Tenslotte combinatie LDT DLP-technologie is een potentieel verstorende ontwikkeling voor het gebied van digitale fabricage, het draaien van een vooraf serieel proces tot een zeer parallel proces. Een belangrijke uitdaging in de richting van dit doel te bereiken is de mogelijkheid om voxels met een goede eigenschap resolutie op verschillende schalen te drukken. Dat wil zeggen, voxels met laterale afmetingen in de orde van 10 sec en 100 sec urn die functies in de orde van 1-5 urn. Tezamen bieden deze ontwikkelingen bieden significante mogelijkheden voor grote oppervlakte additive manufacturing van elektronische componenten.
The authors have nothing to disclose.
This work was funded by the Office of Naval Research (ONR) through the Naval Research Laboratory Basic Research Program.
Silver Nano-paste for Screen Printing | Harima Chemicals Group, http://www.harima.co.jp/en/ | NPS Type HP | Store at 10 C, do not allow to freeze; before using, wait 1 hour for paste to reach room temperature |
Buffered HF Solution | http://transene.com/sio2/ | BUFFER HF IMPROVED | Etch rate may vary depending on material structure |