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Filmes nanoestruturados nanoestruturados de α-quartzo sobre silício: do material aos novos dispositivos
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Filmes nanoestruturados nanoestruturados de α-quartzo sobre silício: do material aos novos dispositivos
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11:34 min
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October 06, 2020
DOI:
Summary
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Este trabalho apresenta um protocolo detalhado para a microfabização de cantilever nanoestruturado de α-quartzo em um substrato de tecnologia Silicon-On-Insulator (SOI) a partir do crescimento epitaxial do filme de quartzo com o método de revestimento de mergulho e, em seguida, nanoestruturação do filme fino através de litografia nanoimimprint.
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Jolly, C., Sanchez-Fuentes, D., Garcia-Bermejo, R., Cakiroglu, D., Carretero-Genevrier, A. Epitaxial Nanostructured α-Quartz Films on Silicon: From the Material to New Devices. J. Vis. Exp. (164), e61766, doi:10.3791/61766 (2020).
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