Journal
/
Engenharia
/
Real-Time DC-dynamiska Polarisering Metod för Växlingstid Förbättring Svårt underdämpat Frans-fält Elektro MEMS ställdon
JoVE Journal
Engenharia
É necessária uma assinatura da JoVE para visualizar este conteúdo.  Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
JoVE Journal Engenharia
Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Real-Time DC-dynamiska Polarisering Metod för Växlingstid Förbättring Svårt underdämpat Frans-fält Elektro MEMS ställdon

DOI:
10.3791/51251-v

•

11:44 min

•

August 15, 2014

•

, , , ,
1Department of Electrical and Computer Engineering,University of California, Davis, 2Digital Light Projection (DLP) Technology Development,Texas Instruments, 3Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering,Purdue University

Capítulos

  • 00:05Título
  • 01:08Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams
  • 08:28Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing
  • 10:23Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge
  • 11:16Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

Den robusta enheten design plym-fältelektro MEMS ställdon resultat i sig låga squeeze-film dämpningsförhållanden och långa lösa tider när du utför omkopplingar som använder konventionell steg polarisering. Realtids tid för att byta förbättring med DC-dynamiska vågformer reducerar inställningstid för plym-fältet MEMS ställdon vid övergången mellan dig ner och ner-till-up stater.

Tags

Real-time DC-dynamic BiasingSwitching Time ImprovementUnderdamped Fringing-field Electrostatic MEMS ActuatorsFast Switching OperationSettling TimeTransient Applied Bias WaveformsMechanical Quality FactorSubstrate RemovalReliabilityStictionCharge PumpCMOS ProcessingExperimental ValidationSwitching Time Improvement

Article

Embed

ADICIONAR À PLAYLIST

Usage Statistics

Vídeos Relacionados

Tillverkningsprocessen av silikon-baserade dielektriska Elastomer ställdon

Kompakt Lens mindre Digital Holographic Mikroskop för MEMS inspektion och karakterisering

Fritt formulerade Ljus Ställdon - Fabrication och kontroll av aktivering i mikroskopisk skala

Tillverkning av 3D-kol-mikroelektromekaniska system (C-MEMS)

Design och karakterisering metod för effektiv Wide Range avstämbara MEMS filter

Tillväxt och elektrostatisk och kemiska egenskaper av metall/LaAlO3/SrTiO3 Halvledareheterostructures

Tillverkning av mjuka pneumatiska nätverk ställdon med sneda Chambers

Optimerad tätnings process och Real tidsövervakning av tätnings strukturer av glas till metall

Snabb tillverkning av tunna mjuka pneumatiska manöverdon och robotar

In Situ Transmission ElectronMikroskopi med förspänning och tillverkning av asymmetriska tvärstänger baserade på blandade faser a-VOx

Read Article