Journal
/
Engenharia
/
Real-Time DC-динамичный Смещение Метод коммутации Улучшение времени в строго Underdamped окантовкой поля электростатических MEMS приводов
JoVE Journal
Engenharia
É necessária uma assinatura da JoVE para visualizar este conteúdo.  Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
JoVE Journal Engenharia
Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Real-Time DC-динамичный Смещение Метод коммутации Улучшение времени в строго Underdamped окантовкой поля электростатических MEMS приводов

DOI:
10.3791/51251-v

•

11:44 min

•

August 15, 2014

•

, , , ,
1Department of Electrical and Computer Engineering,University of California, Davis, 2Digital Light Projection (DLP) Technology Development,Texas Instruments, 3Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering,Purdue University

Capítulos

  • 00:05Título
  • 01:08Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams
  • 08:28Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing
  • 10:23Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge
  • 11:16Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

Прочная конструкция устройства окантовка-полевых электростатических MEMS приводы результатов в своей сути низких сжатие пленок условиях затухания и долго времени установления при выполнении переключений с помощью обычной стадии смещения. Переключение улучшение времени с DC-динамических сигналов в реальном времени уменьшает осаждения время окантовки поля МЭМС приводов при переходе между до-до-вниз и вниз-к-до государств.

Tags

Real-time DC-dynamic BiasingSwitching Time ImprovementUnderdamped Fringing-field Electrostatic MEMS ActuatorsFast Switching OperationSettling TimeTransient Applied Bias WaveformsMechanical Quality FactorSubstrate RemovalReliabilityStictionCharge PumpCMOS ProcessingExperimental ValidationSwitching Time Improvement

Article

Embed

ADICIONAR À PLAYLIST

Usage Statistics

Vídeos Relacionados

Изготовление Процесс силиконовой основе диэлектрических эластомеров приводов

Компактный объектив менее цифровой голографический микроскоп для MEMS осмотра и определения характеристик

Свободной формы Легкие Приводы - изготовление и контроль Срабатывание в микроскопическом масштабе

Изготовление трехмерных углеродных микроэлектромеханических систем (C-MEMS)

Проектирование и характеристика методологии для эффективного широкий диапазон МЭМС Перестраиваемые фильтры

Рост и электростатической/химические свойства металлов/LaAlO3/SrTiO3 гетероструктурах

Изготовление мягких пневмосети приводы с наклонной камеры

Оптимизированный процесс уплотнения и мониторинг в режиме реального времени структур уплотнения стекло-металл

Быстрое производство тонких мягких пневматических актуаторов и роботов

В Situ передачи электронной микроскопии с смещения и изготовление асимметричных перекладин на основе смешанных фаз -VOх

Read Article