Journal
/
Engenharia
/
Real-Time DC-dynamisk Biasing metoden for veksling Tid Bedring i Alvorlig Underdamped Fringing-feltet Elektro MEMS Aktuatorer
JoVE Journal
Engenharia
É necessária uma assinatura da JoVE para visualizar este conteúdo.  Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
JoVE Journal Engenharia
Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators

Real-Time DC-dynamisk Biasing metoden for veksling Tid Bedring i Alvorlig Underdamped Fringing-feltet Elektro MEMS Aktuatorer

DOI:
10.3791/51251-v

•

11:44 min

•

August 15, 2014

•

, , , ,
1Department of Electrical and Computer Engineering,University of California, Davis, 2Digital Light Projection (DLP) Technology Development,Texas Instruments, 3Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering,Purdue University

Capítulos

  • 00:05Título
  • 01:08Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams
  • 08:28Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing
  • 10:23Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge
  • 11:16Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

Den robuste enhet utforming av fringing-feltelektro MEMS aktuatorer resultater i iboende lave klemme-film demping forhold og lang settling ganger når du utfører bytte operasjoner ved hjelp av konvensjonelle skritt vekting. Sanntids skiftetid forbedring med DC-dynamiske kurver reduserer innsovningstid av fringing-feltet MEMS aktuatorer når overgangen mellom up-to-ned og down-to-up stater.

Tags

Real-time DC-dynamic BiasingSwitching Time ImprovementUnderdamped Fringing-field Electrostatic MEMS ActuatorsFast Switching OperationSettling TimeTransient Applied Bias WaveformsMechanical Quality FactorSubstrate RemovalReliabilityStictionCharge PumpCMOS ProcessingExperimental ValidationSwitching Time Improvement

Article

Embed

ADICIONAR À PLAYLIST

Usage Statistics

Vídeos Relacionados

Fabrikasjon Process av silikon-baserte Transformator Elastomer Aktuatorer

Kompakt Lens-mindre Digital Holografisk mikroskop for MEMS inspeksjon og karakterisering

Frihånds Lys Aktuatorer - Fabrikasjon og kontroll av aktivering i Mikroskopisk Scale

Fremstilling av 3D-karbon mikroelektromekaniske systemer (C-MEMS)

Design og karakterisering metodikk for effektiv bredt spekter Tunable MEMS filtre

Vekst og elektrostatiske/kjemiske egenskaper av metall/LaAlO3/SrTiO3 Heterostructures

Fabrikasjon av myke pneumatiske nettverk aktuatorer med skrå Chambers

Optimert tetting forarbeide og virkelig-tid avlytting av glass-å-metallisk sel strukturer

Rask fremstilling av tynne, myke pneumatiske aktuatorer og roboter

In Situ Transmission Electron Mikroskopi med biasing og fabrikasjon av asymmetriske tverrligger basert på blandet faset a-VOx

Read Article