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白色光干渉法による表面改質のキャラクタリゼーション：イオンスパッタリング、レーザーアブレーション法、およびトライボロジー実験における応用
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Characterization of Surface Modifications by White Light Interferometry: Applications in Ion Sputtering, Laser Ablation, and Tribology Experiments
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白色光干渉法による表面改質のキャラクタリゼーション：イオンスパッタリング、レーザーアブレーション法、およびトライボロジー実験における応用

DOI:
10.3791/50260-v

•

11:47 min

•

February 27, 2013

•

, , , , ,
1Materials Science Division,Argonne National Laboratory, 2Energy Systems Division,Argonne National Laboratory, 3MassThink LLC

Capítulos

  • 00:05Título
  • 02:42Measurement of Wear Scar Volume using Optical Interferometry
  • 07:07Volume Analysis: Line Wear Scar
  • 08:53Volume Analysis: Ion Sputter Crater
  • 10:45Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

白色光干渉顕微鏡は、表面のトポグラフィーを測定するための光学、非接触で迅速な方法です。材料科学にイオンビームスパッタ法やレーザーアブレーション量や深さを決定するために、それはメソッドが着用トライボロジー試験試料に傷が分析され、機械的な摩耗の解析に向けてどのように適用できるかを示しています。

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Keywords: White Light InterferometryOptical ProfilometrySurface TopographyIon SputteringLaser AblationTribologySurface RoughnessWearDepth ProfilingMaterials Characterization

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